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一种氮化铝钛介质层低辐射薄膜及其制备工艺制造技术

技术编号:8100609 阅读:216 留言:0更新日期:2012-12-20 02:36
一种氮化铝钛介质层低辐射薄膜及其制备工艺,属于功能薄膜技术领域。本发明专利技术采用磁控溅射法制备一种氮化铝钛介质层低辐射薄膜,其膜层结构从衬底基片往上依次为:内层氮化铝钛介质层、银层、外层氮化铝钛介质层。该膜层可见光透过率高,红外辐射率低,拥有较长的使用寿命。本发明专利技术制备工艺简单,操作方便,生产成本较低,具有很好的工业化应用前景。可广泛应用于节能建筑玻璃、汽车玻璃等行业,降低玻璃热损,减少调控室温的能耗。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于功能薄膜
,具体涉及ー种氮化铝钛介质层低辐射薄膜及其制备エ艺。
技术介绍
低辐射玻璃是指表面镀制了一层低辐射薄膜的镀膜玻璃,低辐射薄膜一般采用银作为红外线反射层,能很好的阻止热辐射的透过,近年来已广泛应用于建筑、汽车等领域,起到了良好的节能作用。 常用的低辐射薄膜一般是用磁控溅射法来制备的。由于银层会造成透光性低、反光高,而且极易被腐蚀和受到机械磨损,所以需要在银层上下镀制介质膜层,其作用是通过光学干涉来提高透光率,降低反光率,改善外观色泽,并且可以提高耐化学腐蚀性和耐机械磨损性能。银层与衬底基片之间的介质层往往还可以起到増加界面结合能力的作用,改善银层成膜条件。通常单银层低辐射薄膜有两种结构。ー种为介质层/银层/介质层的三明治结构。如申请号为201110049715. 2的中国专利公开了ー种低辐射镀膜玻璃,其中低辐射薄膜结构为Ta205/Ag/Ta205,然而介质层由氧化物Ta2O5组成,在高温下其内部的氧会对银层进行氧化,从而使其红外透过率升高而可见光透过率降低,低辐射效果变差。另ー种为介质组合层/银层/介质组合层的类三明治结构。如申请号为201110381本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氮化铝钛介质层低辐射薄膜及其制备工艺,其特征在于膜层结构从衬底基片往上依次为内层氮化铝钛介质层/银层/外层氮化铝钛介质层的三明治结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄佳木尹军香承杰吴萌柳红东刘园园
申请(专利权)人:重庆大学
类型:发明
国别省市:

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