p型Zn0薄膜外排氮元素的溶胶-凝胶制备方法技术

一种ｐ型ＺｎＯ薄膜外排氮元素的溶胶－凝胶制备方法属制造ｐ型ＺｎＯ薄膜的方法，该方法是（１）将１ｍｏｌ　　Ｚｎ（ＮＯ↓［３］）↓［２］.６Ｈ↓［２］Ｏ溶于１升去离子水中，再加入等摩尔的乙二醇和柠檬酸，使其中Ｚｎ（ＮＯ↓［３］）↓［２］浓度为０．７ｍｏｌ／Ｌ。搅拌该混合物１～２小时，形成透明、匀质的溶胶；（２）将上述已配好的透明、匀质的Ｚｎ（ＮＯ↓［３］）↓［２］溶胶用滴管滴于石英玻璃衬底上，在８０～１００℃大气环境下晾干，再送入退火炉中热处理，从而获得ＺｎＯ薄膜。采用该方法制备的ｐ型ＺｎＯ薄膜不含其它杂质，迁移率高和载流子浓度高，且所用原料广泛，价格低廉，工艺简单，易于控制。

【技术实现步骤摘要】
p型ZnO薄膜外排氮元素的溶胶-凝胶制备方法一、
本专利技术为p型ZnO薄膜外排氮元素的溶胶-凝胶制备方法，属制造p型ZnO薄膜的方法。二、技术背景在以氮为掺杂剂制备p型ZnO的方法中，目前主要分为单掺杂和共掺杂两种。在单掺杂过程中，由于氮在ZnO中的溶解度较低，导致掺杂效率偏低，Jianguo Lu[Materials Letters，57：3311(2003)]和Xin-Li Guo[J Cryst Growth，223(1-2)：135(2001)]等人分别以NH3和N2O为氮源进行掺杂，得到的结果分别为：载流子浓度3.2×1017cm-3、3～6×1018cm-3，霍尔迁移率1.8cm2/vs、0.1～0.4 cm2/vs。为了提高载流子浓度，通常采用共掺杂方法来提高掺杂效率，M.Joseph[Jpn.J.Appl.Phys.38，L1205(1999)]和J.G.Lu[Appl Phys Lett.85，3134(2004)]等人以钙和铝与氮共掺杂，得到结果为：载流子浓度5.5×1019cm-3、2.52×1017cm-3，霍尔迁移率0.07cm2/vs、0.43cm本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ｐ型ＺｎＯ薄膜外排氮元素的溶胶－凝胶制备方法，其特征在于：（１）溶胶－凝胶的配制是以Ｚｎ（ＮＯ３）２.６Ｈ２Ｏ、乙二醇、柠檬酸为原料，将１ｍｏｌＺｎ（ＮＯ↓［３］）↓［２］.６Ｈ↓［２］Ｏ溶于１升去离子水中，再加入等摩尔的乙二醇和柠檬酸，使其中Ｚｎ（ＮＯ↓［３］）↓［２］浓度为０．７ｍｏｌ／Ｌ。搅拌该混合物１～２小时，形成透明、匀质的溶胶；（２）ＺｎＯ薄膜的制备是将上述已配好的透明、匀质的Ｚｎ（ＮＯ↓［３］）↓［２］溶胶用滴管滴于石英玻璃衬底上，在８０～１００℃大气环境下晾干，再送入退火炉中热处理，热处理程序如下：＊＊＊。

【技术特征摘要】
1、一种p型ZnO薄膜外排氮元素的溶胶-凝胶制备方法，其特征在于：(1)溶胶-凝胶的配制是以Zn(NO3)2·6H2O、乙二醇、柠檬酸为原料，将1mol Zn(NO3)2·6H2O溶于1升去离子水中，再加入等摩尔的乙二醇和柠檬酸，使其中Zn(N...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜晓红，宣凯，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]