一种板式PECVD机台的双面镀膜结构制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种板式PECVD机台的双面镀膜结构
本技术涉及太阳能电池制造领域，尤其涉及一种板式PECVD机台的双面镀膜结构。
技术介绍
常规的化石燃料日益消耗殆尽，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏电池，可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。太阳能发电装置的核心是电池片，目前绝大多数都采用硅片制成。光伏电池生产过程中，目前高效电池片的技术中PERC工艺已经得到广泛推广，PERC工艺技术需要沉积三次不同的膜层来完成正面和背面的钝化，即背面AL2O3、背面Si3N4、正面Si3N4。PERC工艺在量产技术中，又以微波激发等离子体和ALD为主流的两大技术，其中微波等离子体技术中，背面AL2O3和背面Si3N4在同一机台中完成，正面Si3N4在单独的PECVD镀膜机台中完成；而ALD技术中，先在ALD机台上沉积背面AL2O3，然后在PECVD机台上沉积背面Si3N4，最后还需在PECVD机台再次沉积正面Si3N4，此种方法需要分三步，分别完成正面和背面的镀膜，造成ALD技术的PERC电池成本偏高，而且在多次搬运的过程中，极易造成AL2O3膜层被损伤，影响钝化效果。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种板式PECVD机台的双面镀膜结构。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，包括石墨框及微波激发等离子体系统，所述石墨框水平布置，所述微波激发等离子体系统以所述石墨框为基准对称布置于石墨框的上方及下方。上述技术方案中，所述微波激发等离子...
【技术保护点】
一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，包括石墨框及微波激发等离子体系统，其特征在于：所述石墨框水平布置，所述微波激发等离子体系统以所述石墨框为基准对称布置于石墨框的上方及下方。
【技术特征摘要】
1.一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，包括石墨框及微波激发等离子体系统，其特征在于：所述石墨框水平布置，所述微波激发等离子体系统以所述石墨框为基准对称布置于石墨框的上方及下方。2.根据权利要求1所述的板式PECVD机台的双面镀膜结构，其特征在于：所述微波激发等离子体系统包括U型槽、磁铁及石英管，所述磁铁设于U型槽外侧，石英管设于U型槽内。3.根据权利要求2所述的板式PECVD机台的双面镀膜结构，其特征在于：所述U型槽的横截面为等腰梯形结构，等腰梯形的两个底边中，长的底边定义为下底，短的底边定义为上底，所述U型槽等腰梯形结构中的下底为敞口，该敞口朝向所述石墨框设置。4.根据权利要求3所述的板式PECVD机台的双面镀膜结...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁中存，党继东，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。