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涂覆装置制造方法及图纸

技术编号:7889677 阅读:129 留言:0更新日期:2012-10-22 22:35
一种涂覆装置,包括:液体储存槽,其中储存有要涂布至涂覆对象的涂覆液;以及膜形成体,具有环状并包括通过将膜形成体浸入储存在液体储存槽中的涂覆液而使得膜张紧于其上的开口。在涂覆装置中,相对于涂覆对象移动膜形成体,并且涂覆对象插入张紧有膜的开口,以将涂覆液涂布至涂覆对象的表面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及涂覆装置
具体地,本专利技术涉及利用具有涂覆液膜张紧于其上的开口的膜形成体,将涂覆液涂布在涂覆对象表面上以减少涂覆液的使用量的

技术介绍
存在将涂覆液涂布在诸如圆柱基材和板状基板的涂覆对象的表面以形成涂布膜(薄膜)的涂覆装置。作为这种涂覆装置,存在通过采用浸溃法将涂覆液涂布在涂覆对象上的装置。在采用浸溃法的涂覆装置中,涂覆对象整体浸入到储存在浸溃槽中的涂覆液中,并且相对于浸溃槽拉出涂覆对象以在涂覆对象的表面上形成涂布膜。 在采用浸溃法的这种涂覆装置中,涂覆对象整体浸入到涂覆液中,使得使用了大量的涂覆液。此外,浸溃槽的高度必须等于或大于涂覆对象,导致装置变得大型化。因此,公开了这种涂覆装置,其包括浸溃槽,在其底部具有用于插入涂覆对象的贯通孔,并且其内部储存有涂覆液;密封材料,用于防止涂覆液从涂覆对象和浸溃槽之间的间隙中泄漏等(例如,日本未审查专利申请公开第61-20044号和日本未审查专利申请公开第 2009-18268 号)。在这种涂覆装置中,涂覆对象被插入形成于浸溃槽上的贯通孔中,并且在密封材料与涂覆对象的外周面接触的状态下,拉出涂覆对象或者下拉浸溃槽。当移动涂覆对象或浸溃槽时,从涂覆对象的外周面的上侧至下侧顺次涂布有涂覆液,以形成涂布膜,从而成形感光体等。
技术实现思路
然而,在日本未审查专利申请公开第61-20044号和日本未审查专利申请公开第2009-18268号公开的涂覆装置中,相对于涂覆对象移动浸溃槽,以向涂覆对象的外周面顺次涂布储存在浸溃槽中的涂覆液,使得必须储存有足够量的将涂布至涂覆对象的整个外周面的涂覆液,或者从供给单元提供足够量的涂覆液。因此,涂覆液使用量较大且成形成本较高是极大的缺陷。尤其当涂覆液比较昂贵时,成形成本剧增。此外,在日本未审查专利申请公开第61-20044号和日本未审查专利申请公开第2009-18268号公开的涂覆装置中,涂覆对象插入形成在浸溃槽底部上的贯通孔中并且相对地拉出涂覆对象,使得必须设置用于防止涂覆液从涂覆对象和浸溃槽之间的间隙泄漏的构造,使得浸溃槽的构造等变得复杂。在根据本专利技术的实施方式的涂覆装置中,期望减少涂覆液的使用量并简化构造。一种涂覆装置,包括液体储存槽,其中储存有要涂布至涂覆对象的涂覆液;以及膜形成体,具有环状并包括通过将膜形成体浸入储存在液体储存槽中的涂覆液而使得膜张紧于其上的开口。在涂覆装置中,相对于涂覆对象移动膜形成体,并且涂覆对象插入张紧有膜的开口,以将涂覆液涂布至涂覆对象的表面。因此,在涂覆装置中,形成为环状并包括开口的膜形成体相对于涂覆对象移动,并且涂覆对象被插入其上张紧有涂覆液膜的开口,以将涂覆液涂布至涂覆对象的表面。在上述涂覆装置中,优选地,膜形成体包括形成为环状的外环部以及形成为环状、包括开口并从外环部的内周缘突出的内环部,并且内环部的前端缘定位在低于外环部的内周缘的位置处。因此,包括开口并从形成为环状的外环部的内围部突出的内环部的前端缘定位在低于外环部的内周缘的位置处,使得内环部比外环部更容易浸入涂覆液中。在上述涂覆装置中,优选地,内环部随着从外环部的内周缘靠近开口而相对于外环部倾斜,并且内环部的内周缘被定位在外环部的内周缘的内侧。 因此,内环部随着从外环部的内周缘靠近开口而相对于外环部倾斜,并且内环部的内周缘定位在外环部的内周缘的内侧。因此,外环部的内周缘与涂覆对象之间的间隙大于内环部的内周缘与涂覆对象之间的间隙。在上述涂覆装置中,优选地,在涂覆对象的下端部以及膜形成体的至少开口浸入储存在液体储存槽中的涂覆液的状态下,开始膜形成体的移动。因此,在涂覆对象的下端部以及膜形成体的至少开口浸入储存在液体储存槽中的涂覆液的状态下,开始膜形成体的移动。因此,在涂覆对象的外周面与膜形成体的内周缘之间形成膜。在上述涂覆装置中,优选地,在涂覆对象的位于膜形成体移动方向上的端部上,附接有被形成为在膜形成体移动方向上具有尖细形状的液体滴落防止体。因此,在涂覆对象的位于膜形成体移动方向上的端部上,附接有被形成为在膜形成体的移动方向上具有尖细形状的液体滴落防止体,使得在膜破裂的情况下,涂覆液的滴落发生在液体滴落防止体的表面上。在上述涂覆装置中,优选地,膜形成体相对于涂覆对象来回移动。因此,膜形成体相对于涂覆对象来回移动,使得涂覆液被反复地涂布至涂覆对象。优选地,上述涂覆装置还包括液体供给机构,被配置为向液体储存部提供涂覆液,并且在涂覆装置中,膜形成体包括用于储存涂覆液的液体储存部和将储存在液体储存部中的涂覆液输送至开口的输送部。因此,提供了被配置为向液体储存部供给涂覆液的液体供给机构,并且膜形成体包括用于储存涂覆液的液体储存部和将储存在液体储存部中的涂覆液输送至开口的输送部。因此,涂覆液被供给在膜形成体的开口上张紧的膜。在上述涂覆装置中,优选地,输送部被倾斜为随着靠近开口而向下位移。因此,输送部被倾斜为随着靠近开口而向下位移,使得利用重力将涂覆液从输送部输送至开口。在上述涂覆装置中,优选地,储存在液体储存部中的涂覆液利用毛细管现象从输送部输送至开口。因此,储存在液体储存部中的涂覆液利用毛细管现象从输送部输送至开口,使得将涂覆液从输送部输送至开口的特殊供给机构的使用变得不是必要的。根据本专利技术实施方式的涂覆装置包括液体储存槽,其中储存有将被涂布至涂覆对象的涂覆液;以及膜形成体,具有环状并包括通过将膜形成体浸入储存在液体储存槽中的涂覆液而使得膜张紧于其上的开口。在涂覆装置中,相对于涂覆对象移动膜形成体,并且涂覆对象被插入其上张紧有膜的开口,以将涂覆液涂布至涂覆对象的表面。因此,利用张紧在膜形成体的开口上的膜,将涂覆液涂布至涂覆对象的表面,从而能够减少涂覆液的使用量。此外,涂覆液不从膜形成体泄漏,使得不需要设置用于防止滴落的机构,从而能够简化装置的构造。在本专利技术的另一实施方式中,膜形成体包括被形成为环状的外环部和被形成为环状、包括开口并从外环部的内周缘突出的内环部,并且内环部的前端缘定位在低于外环部的内周缘的位置处。因此,即使在膜形成体相对于水平方向倾斜的情况下,外环部的内周缘也几乎不浸入涂覆液中,并且可以在膜形成体的开口上牢固地张紧膜。 在本专利技术的又一实施方式中,内环部随着从外环部的内周缘靠近开口而相对于外环部倾斜,并且内环部的内周缘被定位在外环部的内周缘的内侧。因此,外环部的内周缘与涂覆对象之间的间隙大于内环部的内周缘与涂覆对象之间的间隙,从而能够防止当向上移动膜形成体时内环部的内周缘和外环部的内周缘之外的部分与涂覆对象接触。在本专利技术的又一实施方式中,在涂覆对象的下端部以及膜形成体的至少开口浸入储存在液体储存槽中的涂覆液的状态下,开始膜形成体的移动。因此,在涂覆对象的外周面与膜形成体的内周缘之间形成膜,使得膜的面积减小,从而能够减少涂覆液的使用量。在专利技术的又一实施方式中,在涂覆对象的位于膜形成体移动方向上的端部上,附接有被形成为在膜形成体的移动方向上具有尖细形状的液体滴落防止体。因此,当膜破裂时,涂覆液的滴落会发生在液体滴落防止体的表面上,使得可以防止涂覆液相对于涂覆对象的外周面的滴落,从而能够确保涂布膜相对于涂覆对象的良好形成状态。在本专利技术的又一实施方式中,膜形成体相对于涂覆对象来回移动。因此,涂覆液可以被反复本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂覆装置,包括:液体储存槽,其中储存有将涂布至涂覆对象的涂覆液;以及环状的膜形成体,所述膜形成体包括通过将所述膜形成体浸入储存在所述液体储存槽中的所述涂覆液中而使得膜张紧于其上的开口,其中所述膜形成体相对于所述涂覆对象移动,并且所述涂覆对象插入张紧有所述膜的所述开口中,以在所述涂覆对象的表面上涂布所述涂覆液。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:相马达也
申请(专利权)人:索尼公司
类型:发明
国别省市:

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