粒子捕捉单元、该粒子捕捉单元的制造方法及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种粒子捕捉单元，能够防止排气效率降低。构成暴露于微粒(P)飞来的空间的微粒捕集单元(40)的第一捕集单元(40a)具备：由多个第一不锈钢(44a)构成的第一网状层(44)和由多个第二不锈钢(45a)构成的第二网状层(45)，第一不锈钢(44a)的粗细小于第二不锈钢(45a)的粗细，第一网状层(44)中的第一不锈钢(44a)的配置密度高于第二网状层(45)中的第二不锈钢(45a)的配置密度，第二网状层(45)介于第一网状层(44)与微粒(P)飞来的空间之间，通过烧结使第一网状层(44)与第二网状层(45)固化而互相接合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对在基板处理装置内移动的不需要的粒子进行捕捉的粒子捕捉単元、该粒子捕捉単元的制造方法及基板处理装置。
技术介绍
通常，对半导体装置用的晶片或用于制造液晶等Fro面板、太阳电池等的玻璃基板等的基板实施规定的处理的基板处理装置，具备容纳基板并实施规定的处理的处理室(以下称作“腔室(chamber) ”)。在该腔室内浮游着由腔室内壁的沉积物或在规定的处理中产生的反应生成物引起的微粒。若这些浮游的微粒附着于晶片表面，则会在由该晶片制造 的产品中，例如在半导体装置中产生布线短路，从而降低半导体装置的成品率。因此，在由基板处理装置的排气系统进行的腔室内的气体排出的同时将腔室内的微粒从腔室内除去。基板处理装置的排气系统具有经由排气板而与腔室连通的排气室(连通器(manifold))、作为能够实现高真空的排气泵的润轮分子泵(Turbo Molecular Pump)(以下称作“TMP”)、以及将该TMP与连通器连通的连通管。TMP具有沿排气流配置的旋转轴、和从该旋转轴以直角突出的多个叶片状的旋转翼，通过使旋转翼以旋转轴为中心高速旋转从而以高速将吸入的气体排出。排气系统通过使TMP动作而将腔室内的微粒与腔室内的气体ー起排出。然而，有时附着于TMP的旋转翼的沉积物会剥离，或者在TMP吸入的气体中所含的微粒、以及经由连通管流入TMP的连通器内的残渣物会与TMP的旋转翼碰撞而反弾。由于从旋转翼剥离的沉积物或与旋转翼碰撞而反弹的微粒均被高速旋转的旋转翼赋予巨大的动能，因此会在连通管内逆流而进入到腔室内。针对上述微粒的逆流，本专利技术人等开发了将从TMP反弹过来的微粒朝向该TMP反射的反射装置、以及捕捉该微粒的捕捉机构(例如參照专利文献I)。该专利文献I所涉及的反射装置以及捕捉机构能够将反弹过来的微粒的绝大部分再次向TMP反射、或者进行捕捉。专利文献I :日本特开2007-180467号公报然而，由于上述专利文献I所涉及的反射装置被配置成将排气管内遮蔽，因此会使排气流路的传导率降低因而降低排气效率。另外，虽然专利文献I所涉及的捕捉机构被沿排气管的内表面配置，但是为了捕捉进入到该捕捉机构的微粒，为了使进入的微粒与捕捉机构的构成部件反复碰撞而丧失动能因此所需的规定的厚度非常必要，其结果，由于捕捉机构向排气管内突出，因此依然会使排气流路的传导率降低而降低排气效率。若排气效率降低，则产生腔室的抽真空需要时间、且基板处理装置的运转率降低等问题。并且，虽然在上述专利文献I中公开了作为捕捉机构的构成材料而使用由纤维构成的绵状体的情况，但是还会产生如下问题纤维易从绵状体脱落，当该脱落的纤维的一部分向TMP落下时有可能使该TMP的旋转翼等损伤。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供ー种粒子捕捉单元、该粒子捕捉单元的制造方法以及基板处理装置，该粒子捕捉単元能够防止排气效率降低并且能够防止排气泵的旋转翼等损伤。为了实现上述目的，技术方案I所记载的粒子捕捉单元是暴露于粒子飞来的空间的粒子捕捉単元，其特征在于，至少具备由多个第一纤维状物构成的第一层和由多个第二纤维状物构成的第二层，所述第一纤维状物的粗细小于所述第二纤维状物的粗细，所述第ー层中的所述第一纤维状物的配置密度高于所述第二层中的所述第二纤维状物的配置密度，所述第二层介于所述第一层与所述粒子飞来的空间之间，通过烧结使所述第一层与所述第二层固化而互相接合。技术方案2所记载的粒子捕捉单元是在技术方案I所记载的粒子捕捉单元的基础上，其特征在干，所述第一纤维状物的粗细为直径O. 2 μ m至3 μ m，所述第二纤维状物的粗细为直径3 μ m至30 μ m。技术方案3所记载的粒子捕捉单元是在技术方案I或2所记载的粒子捕捉单元的基础上，其特征在干，还具备由第三纤维状物构成的第三层，该第三纤维状物的粗细大于所述第二纤维状物的粗细，该第三层被配置成经由所述第一层而与所述第二层相对置。技术方案4所记载的粒子捕捉单元是在技术方案3所记载的粒子捕捉单元的基础上，其特征在于，所述第三纤维状物的粗细为直径30 μ m至400 μ m。技术方案5所记载的粒子捕捉单元是在技术方案3或4所记载的粒子捕捉单元的基础上，其特征在于，还具备另外的所述第三层，该另外的所述第三层介于所述第二层与所述粒子飞来的空间之间。技术方案6所记载的粒子捕捉单元是在技术方案I至5中任ー项所记载的粒子捕捉单元的基础上，其特征在于，所述第一纤维状物及所述第二纤维状物由不锈钢构成。为了实现上述目的，技术方案7所记载的粒子捕捉単元的制造方法是暴露于粒子飞来的空间的粒子捕捉単元的制造方法，其特征在于，具有以下步骤层形成步骤，形成由多个第一纤维状物构成的第一层和由多个第二纤维状物构成的第二层；成形步骤，将所述第一层与所述第二层重叠，并将该重叠的第一层和第二层成形为预期的形状，使得所述第ニ层介于所述第一层与所述粒子飞来的空间之间；以及烧结步骤，通过烧结使所述第一层与所述第二层固化而互相接合，所述第一纤维状物的粗细小于所述第二纤维状物的粗细，所述第一层中的所述第一纤维状物的配置密度高于所述第二层中的所述第二纤维状物的配置密度。为了实现上述目的，技术方案8所记载的基板处理装置具备对基板实施规定的处理的处理室、具有高速旋转的旋转翼从而将处理室内的气体排出的排气泵、以及使所述处理室与所述排气泵连通的排气系统，该基板处理装置的特征在干，还具备暴露于排气系 统内的空间的粒子捕捉単元，所述粒子捕捉単元至少具备由多个第一纤维状物构成的第ー层和由多个第二纤维状物构成的第二层，所述第一纤维状物的粗细小于所述第二纤维状物的粗细，所述第一层中的所述第一纤维状物的配置密度高于所述第二层中的所述第二纤维状物的配置密度，所述第二层介于所述第一层与所述排气系统内的空间之间，通过烧结使所述第一层与所述第二层固化而互相接合。技术方案9所记载的基板处理装置是在技术方案8所记载的基板处理装置的基础上，其特征在于，所述排气系统具有排气管，所述粒子捕捉単元具有圆筒部分，该圆筒部分沿所述排气管的内周面配置；以及板状部分，该板状部分配置在比所述排气泵更靠排出气体的上游，并且以覆盖所述旋转轴的方式配置在所述排气泵中的所述旋转翼的旋转轴的延长线上。技术方案10所记载的基板处理装置是在技术方案9所记载的基板处理装置的基础上，其特征在于，所述粒子捕捉单元还具有从所述圆筒部分向所述排气管的内侧突出的多个突出部分。根据本专利技术，由于至少具备由多个第一纤维状物构成的第一层和由多个第二纤维状物构成的第二层，且构成第一层的第一纤维状物的粗细小于构成第二层的第二纤维状物的粗细，第一层中的第一纤维状物的配置密度高于第二层中的第二纤维状物的配置密度，因此第一层对进入粒子捕捉単元并通过第二层后的粒子进行捕捉。并且，由于第二层介于第一层与粒子飞来的空间之间，因此在第一层反射的粒子与第二层中的第二纤维状物碰撞而失去动能后被反弹回第一层，从而粒子不会从粒子捕捉単元向空间飞出。其結果，无需增大粒子捕捉単元的厚度便能够可靠地对进入粒子捕捉単元的粒子进行捕捉。 进而，由于通过烧结使第一层与第二层固化而互相接合，因此粒子捕捉単元具有较高的刚度。因此，由于无需设置支承粒子捕捉単元的框体，从而能够防止粒子捕捉単元向空间突出。其结果，粒子捕捉単本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.03.25 JP 2011-0684731.ー种粒子捕捉単元，是暴露于粒子飞来的空间的粒子捕捉単元，其特征在干， 至少具备由多个第一纤维状物构成的第一层和由多个第二纤维状物构成的第二层，所述第一纤维状物的粗细小于所述第二纤维状物的粗细，所述第一层中的所述第一纤维状物的配置密度高于所述第ニ层中的所述第二纤维状物的配置密度， 所述第二层介于所述第一层与所述粒子飞来的空间之间， 通过烧结使所述第一层与所述第二层固化而互相接合。2.根据权利要求I所述的粒子捕捉単元，其特征在干， 所述第一纤维状物的粗细为直径O. 2 μ m至3 μ m，所述第二纤维状物的粗细为直径3 μ m M 30 μ m。3.根据权利要求I或2所述的粒子捕捉単元，其特征在干， 还具备由第三纤维状物构成的第三层，该第三纤维状物的粗细大于所述第二纤维状物的粗细，该第三层被配置成经由所述第一层而与所述第二层相对置。4.根据权利要求3所述的粒子捕捉単元，其特征在干， 所述第三纤维状物的粗细为直径30 μ m至400 μ m。5.根据权利要求3或4所述的粒子捕捉単元，其特征在干， 还具备另外的所述第三层，该另外的所述第三层介于所述第二层与所述粒子飞来的空间之间。6.根据权利要求I至5中任一项所述的粒子捕捉単元，其特征在干， 所述第一纤维状物及所述第二纤维状物由不锈钢构成。7.ー种粒子捕捉単元的制造方法，是暴露于粒子飞来的空间的粒子捕捉単元的制造方法，其特征在干， 具有以下步骤 层形成步骤，形成由多个第一纤维状物构成...

【专利技术属性】
技术研发人员：守屋刚，丰泉俊介，高广克之，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：