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粒子捕捉单元、该粒子捕捉单元的制造方法及基板处理装置制造方法及图纸
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文档序号:7809809
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本发明提供一种粒子捕捉单元,能够防止排气效率降低。构成暴露于微粒(P)飞来的空间的微粒捕集单元(40)的第一捕集单元(40a)具备:由多个第一不锈钢(44a)构成的第一网状层(44)和由多个第二不锈钢(45a)构成的第二网状层(45),第一...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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