本发明专利技术提供一种能够高精度地粘贴工件的工件粘贴方法及工件粘贴装置。工件粘贴装置(10)包括按压工作台(18)和按压头(42)，该按压头(42)以能相对于按压工作台(18)自由地靠近、离开的方式配置在按压工作台(18)的上方，该工件粘贴装置(10)通过利用按压工作台(18)和按压头(42)进行按压而借助蜡将工件(23)粘贴在板(22)上，该工件粘贴装置(10)的特征在于，按压工作台(18)具备加热器(31)和冷却机构(32)，加热按压工作台(18)和按压头(42)而隔着涂敷在板(22)上的蜡按压工件(23)，在使蜡延展后，利用冷却机构(32)将按压工作台(18)和板(22)冷却，从而使蜡固化而将工件(23)粘贴在板(22)上。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种以将粘贴有エ件的板搬入到研磨装置中而利用研磨装置研磨エ件为目的的、在该板上粘贴エ件的エ件粘贴方法和エ件粘贴装置。
技术介绍
在对晶圆等エ件进行单面研磨的情况下，将エ件粘贴在板上，以エ件的研磨面朝向平台的研磨布侧的方式将该板搬入到研磨装置的平台之上，一边供给研磨液一边使平台旋转而研磨エ件的研磨面。在该情况下，为了在板上粘贴エ件，在专利文献I等所示的方法中采用如下操作。首先，预先使内置有加热器的加热工作台加热至所需温度，而后将板搬入到该加热工作台上，加热板。然后，在该板上的供エ件粘贴的位置涂敷蜡。在被板的热量熔融的蜡上载置エ件。然后，将蜡上载置有上述エ件的板搬入到与加热工作台相邻设置的具有冷却机构的按压工作台上。使上下移动自如地设在按压工作台的上方的按压头下降，在按压工作台与按压头之间将エ件按压在板上，使蜡延展，并且向按压工作台的冷却机构中供给冷却水，使板和蜡冷却而使蜡固化，从而将エ件粘贴在板上。专利文献I :日本特开平5-82493号公报在专利文献I所示的方法中，当将在加热工作台上加热了的板搬入到按压工作台上时，板的热量被按压工作台吸取，在利用按压头进行按压时，板低于规定温度。另外，在按压头与エ件抵接的瞬间，板的热量也被按压头吸取。此外，由于是在该状态下向按压工作台供给冷却水，所以蜡的温度下降，有蜡在完全涂匀以前出现固化的状态的问题。因此，存在蜡的厚度不均匀，不能平坦地粘贴エ件，无法获得所要求的研磨精度的问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而做成的，其目的在于提供一种能够防止蜡在完全涂匀前固化、可高精度地进行粘贴的エ件粘贴方法和エ件粘贴装置。为了达到上述目的，本专利技术具有如下结构。S卩，本专利技术的エ件粘贴方法使用エ件粘贴装置在板上粘贴エ件，该エ件粘贴装置包括按压工作台，其具备加热器和冷却机构；按压头，其以能相对于按压工作台自由地靠近、离开的方式配置在该按压工作台的上方，该エ件粘贴方法的特征在于，包括如下エ序将预先加热至所需温度的板搬入到上述按压工作台上，或在将板搬入到上述按压工作台上后，在该按压工作台上将板加热至所需温度；在加热至所需温度的上述板上的所需位置涂敷蜡；在被加热而熔融了的蜡上载置エ件；将上述按压头加热到所需温度；使上述按压头相对于上述按压工作台靠近，利用上述板和被加热着的上述按压头对上述エ件进行所需时间的按压；在利用上述按压头按压了エ件的状态下，利用上述冷却机构冷却上述按压工作台和上述板，使上述蜡固化而将エ件粘贴在上述板上；使上述按压头相对于上述按压工作台离开，将粘贴有エ件的上述板自上述按压工作台上搬出。优选在利用上述按压头按压エ件而将エ件粘贴在上述板上的エ序中，检测上述按压头的温度，当确认到按压头的温度下降到规定的温度以下后，解除由按压头进行的按压。可以利用独立于上述按压工作台设置的具有加热器的加热工作台预先加热上述板，然后将板搬入到上述按压工作台上。可以使上述按压头与上述按压工作台相接触而将该按压头加热至所需温度。或者也可以利用内置在上述按压头中的加热器将上述按压头加热至所需温度。 可以将形成有氮化物半导体层的蓝宝石衬底以氮化物半导体层朝向板侧的方式较佳地粘贴在板上。另外，本专利技术的エ件粘贴装置包括按压工作台和按压头，该按压头以能相对于按压工作台自由地靠近、离开的方式配置在该按压工作台的上方，该エ件粘贴装置通过利用该按压工作台和按压头进行按压，借助蜡将エ件粘贴在板上，该エ件粘贴装置的特征在干，上述按压工作台具备加热器和冷却机构，加热上述按压工作台和上述按压头而隔着涂敷在板上的蜡按压エ件，在使蜡延展后，利用上述冷却机构冷却上述按压工作台和上述板，从而使蜡固化而将エ件粘贴在上述板上。优选该エ件粘贴装置设有检测上述按压头的温度的第一温度检测部，在使上述按压工作台冷却而使蜡固化吋，利用上述第一温度检测部检测上述按压头的温度，当确认到按压头的温度下降到规定的温度以下后，解除由按压头进行的按压。优选利用上述第一温度检测部检测上述按压头的与按压上述エ件的面相邻近的部位的温度。可以使上述按压头与上述按压工作台相接触而将该按压头加热至所需温度。也可以在上述按压头中设置加热器和冷却机构，利用按压头本身的加热器和冷却机构加热或冷却该按压头。该エ件粘贴装置也可以设有独立于上述按压工作台设置的具有加热器的加热エ作台，利用该加热工作台预先将板加热，然后将该板搬入到上述按压工作台上。优选在上述按压工作台中，以使上述冷却机构位于该按压工作台的供上述板搬入的表面侧的方式配置该冷却机构。该エ件粘贴装置可以设有用于检测被搬入到上述加热工作台上的上述板的温度的第二温度检测部、和分别检测上述按压工作台和上述加热工作台的温度的第三温度检测部。采用本专利技术，能够将エ件高精度地粘贴在板上。附图说明图I是エ件粘贴装置的主视图。图2是按压工作台的剖视说明图。图3是板的说明图。图4是各设有I个第I台和第2台的エ件粘贴装置的主视图。图5是表示按压头的另ー实施方式的说明剖视图。图6是表示エ件粘贴装置的又ー实施方式的主视图。具体实施例方式下面，根据附图详细说明本专利技术的优选实施方式。图I是エ件粘贴装置10的主视图，图2是按压工作台18的剖视说明图，图3是板22的俯视图。在图I中，附图标记12是具有加热工作台14的第I台，附图标记16a、16b是与第I台12相邻设置且具有按压工作台18的第2台。加热工作台14内置有第I加热器(未图示)，加热工作台14借助支承构件21水 平地固定在基台20上。将粘贴有エ件23的板22搬入到加热工作台14上。 附图标记24是定位用缸体(气缸、油压缸)，该定位用缸体24配置在加热工作台14下方，具有与连杆(IOd)相连结的3根定位销25 (在图I中只表示2根)。定位销25沿上下方向贯穿设于加热工作台14的通孔26，自加热工作台14的上表面突出或没入在该上表面。板22与定位销25相对应地设有3个透孔27。板22在本实施方式中由人工搬入到加热工作台14上，届时，通过使定位销25进入到透孔27内地载置板22，从而将板22定位在加热工作台14上。在板22上标注有表示エ件23的粘贴位置的标记。在本实施方式中，如图3所示，作为标记，在板22上沿所载置的エ件23的外周缘的外侧地设有周槽23a。通过以收在该周槽23a内侧的方式载置エ件23，能够将エ件23配置在板22上的所需位置。另外，在粘贴エ件23吋，周槽23a也作为供溢出的多余的蜡流入的槽而发挥功能。加热工作台14设有用于检测由第I加热器加热的加热工作台14的温度的第三温度检测部(未图示)。利用控制部45控制第I加热器的开启及关闭，以使由该第三温度检测部检测的温度在规定的设定温度范围内。另外，在加热工作台14的上方配置有红外温度传感器(第二温度检测部)28。红外温度传感器28对载置在加热工作台14上的板22的表面温度进行检測。第2台16a、16b中的按压工作台18也利用支承构件30分别水平地支承在基台20上。按压工作台18如图2所示，具备第2加热器31和供给冷却水的冷却机构32。为了将搬入到按压工作台18上的板22迅速冷却，优选在比第2加热器31靠近按压工作台18的 表面侧的位置设置供按压工作台18中的冷却水流通的水套32a。图I表示冷却机构32中的冷却水的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
2011.03.25 JP 2011-0677991.一种工件粘贴方法，其使用工件粘贴装置在板上粘贴工件，该工件粘贴装置包括按压工作台，其具备加热器和冷却机构；按压头，其以能相对于按压工作台自由地靠近、离开的方式配置在该按压工作台的上方，该工件粘贴方法的特征在于， 包括如下工序 将预先加热至所需温度的板搬入到上述按压工作台上，或在将板搬入到上述按压工作台上后，在该按压工作台上将板加热至所需温度； 在加热至所需温度的上述板上的所需位置涂敷蜡； 在被加热而熔融了的蜡上载置工件； 将上述按压头加热到所需温度； 使上述按压头相对于上述按压工作台靠近，利用上述板和被加热着的上述按压头对上述工件进行所需时间的按压； 在利用上述按压头按压了工件的状态下，利用上述冷却机构冷却上述按压工作台和上述板，使上述蜡固化而将工件粘贴在上述板上； 使上述按压头相对于上述按压工作台离开，将粘贴有工件的上述板自上述按压工作台上搬出。2.根据权利要求I所述的工件粘贴方法，其特征在于， 在利用上述按压头按压工件而将工件粘贴在上述板上的工序中，检测上述按压头的温度，当确认到按压头的温度下降到规定的温度以下后，解除由按压头进行的按压。3.根据权利要求I或2所述的工件粘贴方法，其特征在于， 利用独立于上述按压工作台设置的具有加热器的加热工作台预先加热上述板，然后将该板搬入到上述按压工作台上。4.根据权利要求I 3中任意一项所述的工件粘贴方法，其特征在于， 使上述按压头与上述按压工作台相接触而将该按压头加热至所需温度。5.根据权利要求I 3中任意一项所述的工件粘贴方法，其特征在于， 利用内置在上述按压头中的加热器将上述按压头加热至所需温度。6.根据权利要求I 5中任意一项所述的工件粘贴方法，其特征在于， 将形成有氮化物半导体层的蓝宝石衬底以氮化物半导体层朝向板侧的方式粘贴在板上。7.一种工件粘贴装置，其包括按压工作台和按压头，该按压头以...
【专利技术属性】
技术研发人员：酒井孝昭，寺泽光子，大西进，
申请(专利权)人：不二越机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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