工件的切断方法技术

本发明专利技术是一种工件的切断方法，其利用螺旋状地卷绕在多个线材导件之间且沿轴方向行进的钢线来形成钢线列，并将工件压抵至钢线列来实行工件的切断，其中，将使用于前次的工件的切断后的钢线再次使用来切断下一次的工件，该工件的切断方法相对于在前次的工件的切断中的钢线张力，将切断下一次的工件时的钢线张力设为87～95％的范围的值；相对于切断前次的工件时的新线供给量，将切断下次的工件时的新线供给量设为125％以上的范围的值，再次使用钢线来切断下一次的工件。由此，提供一种工件的切断方法，其将已使用于前次的工件切断中的使用过的钢线，以与前次的切断工件的条件不同的条件来切断工件，能够增加用同一条钢线能够切断的工件的个数，同时减少钢线发生断裂的情况，且抑制晶圆翘曲的加重。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种工件的切断方法，该工件的切断方法使用线锯。
技术介绍
近年来，期望半导体晶圆的大型化，随着此大型化而使用专门用于切断工件的线锯。线锯是使钢线(高张力钢线)高速行进，在此一边浇上浆液，一边压抵工件(例如，以硅晶棒来举例)而切断，以同时切出多片晶圆的装置(参照专利文献1)。此处，在图6中表示现有的通常的线锯的一例的概要。如图6所示，线锯101，主要由下述构件等所构成：钢线102，其用于切断工件；线材导件103，其卷绕有钢线102；张力赋予机构104，其用于赋予钢线102张力；工件进给装置105，其送出要被切断的工件；喷嘴106，其在切断时用于供给浆液，该浆液是在冷却剂中分散混合有SiC微粉等磨粒而成的。钢线102从一侧的线滚动条(ワイヤリールボビン)107送出，经由移车台(トラバーサ)108，再经过由磁粉离合器(定转矩马达109)或上下跳动滚筒(静重)(未图示)等所构成的张力赋予机构104，进入线材导件103。钢线102卷绕于此线材导件103约300～400次之后，经过另一侧的张力赋予机构104’而卷绕在线滚动条107’上。此外，线材导件103是在钢铁制圆筒的周边压入聚胺酯树脂，并在其表面以一定的间距切出沟槽而成的滚筒，卷绕的钢线102可通过驱动用马达110而以预定的周期在往复方向上驱动。而且，在线材导件103与卷绕的钢线102的附近，设有喷嘴106，在切断时，可从该喷嘴106供给浆液至线材导件103、钢线102上。而且，在切断后作为废浆液而排出。使用这种线锯101，使用张力赋予机构104来将适当的钢线张力施加至钢线102上，并通过驱动用马达110来使钢线102在往复方向上行进，且一边供给浆液一边将工件切片，由此得到所期望的切片晶圆。此外，针对上述线锯所使用的钢线102，将用于切断一个工件而供给的份量的钢线102的长度，称为新线供给量。钢线102卷绕在线滚动条107上的长度是数百km的份量，利用卷绕在该线滚动条107上的钢线102来切断多个工件。在晶圆的制造成本中包含了钢线的成本，当要降低此费用时，有下述方法：利用减少每一个工件所需要的新线供给量，来增加每一个线滚动条能够切断的工件个数。例如，在卷绕有510km的线滚动条中，将每一个工件的切断所使用的新线供给量设为170km，就能够进行3个工件的切断。将每一个工件的切断的新线供给量设为一半的85km，由此同样的钢线的长度，即一个线滚动条能够切断的工件个数就能够增加成6个。这样，减少每一个工件的切断所使用的新线供给量，由此减少每一个工件的切断所使用的钢线的量，所以能够增加以一个线滚动条能够切断的工件个数，而能够降低钢线的成本。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利公开平成10-86140号公报
技术实现思路
(一)要解决的技术问题但是，上述方法会有下述的问题点：相较于减少新线供给量之前，切断工件时的钢线本身磨损的量，会对应于所减少的新线供给量而变大，从而钢线的直径会变细。若钢线的直径变细，则会使切断后的晶圆质量变差。将晶圆的翘曲，举例作为评价晶圆质量的代表。理想是切断后的晶圆是平坦且翘曲小。但是，若钢线的直径变细，则附着在钢在线的浆液的保有量变少，使得切断效率降低，因此造成切断后的晶圆的翘曲变大。此外，钢线的直径变细会使钢线的抗断强度降低，所以在工件的切断中容易造成钢线的断裂。若在工件的切断中发生钢线的断裂，则切断就会中断，而需要许多功夫和时间来进行恢复作业，从而使晶圆的生产效率显著地降低。进一步，在造成钢线断裂时，切断后的晶圆质量会大幅变差。因此，在工件的切断中的钢线断裂，理想是尽量不要发生。如上所述，作为减少每一个工件的切断所使用的新线供给量的方法的替换方法，有再次使用已使用过的钢线的方法。将已使用在第一次工件的切断中的已使用过的钢线，以相同条件再次使用，由此能够增加以一个线滚动条能够切断的工件个数。但是，若利用该方法而再次使用钢线时，因为所述理由，已使用过的钢线，在钢线的切断时容易造成钢线的断裂。此外，会造成切断后的晶圆的翘曲变大。本专利技术是鉴于所述问题而完成的，其目的在于提供一种工件的切断方法，其将已使用在前次的工件的切断中的使用过的钢线，在与前次的切断工件时的条件不同的条件下再次切断工件，而能够一边增加利用同一条钢线可以切断的工件的个数，一边减少钢线发生断裂的情况，并抑制晶圆翘曲的加重。(二)技术方案为了达成上述目的，根据本专利技术，提供一种工件的切断方法，其利用螺旋状地卷绕在多个线材导件之间且沿轴方向行进的钢线来形成钢线列，并将工件压抵至所述钢线列来实行所述工件的切断，其中，将使用于前次的工件的切断后的钢线再次使用来切断下一次的工件，而且，该工件的切断方法，相对于在所述前次的工件的切断中的钢线张力，将切断所述下一次的工件时的钢线张力设为87～95％的范围的值；并且，相对于所述切断前次的工件时的新线供给量，将所述切断下一次的工件时的新线供给量设为125％以上的范围的值，而再次使用所述钢线来切断所述下一次的工件。即使是再次使用已使用于在工件的切断后的钢线时，利用一边相对于前次使用时的钢线张力和新线供给量，将钢线张力和新线供给量控制为上述的范围的值，一边实施下一次的工件的切断，由此能够使钢线的断裂不容易发生，且抑制晶圆翘曲的加重，以使晶圆质量保持在与前次的切断时同等的程度。此时，优选是在所述切断下一次的工件时，相对于所述前次的工件的切断中的工件的进给速度，将工件的进给速度设为83～91％的范围的值。若这样做，即使在将使用过的钢线再次使用来实行工件的切断时，也能够更切实地抑制切断后的晶圆翘曲的加重。(三)有益效果如果是本专利技术的工件的切断方法，将使用过的钢线再次使用，由此能够大幅地增加以同一条钢线可以切断的工件的个数，从而能够大幅削减钢线的成本。进一步，在再次使用钢线时，以本专利技术的方式将钢线张力和新线供给量控制在适当的范围中来实行切断，就能够抑制钢线的断裂的发生率和切断后的晶圆的质量的变差，从而能够得到一种与前次的切断同等品质的晶圆。附图说明图1是表示本专利技术的工件的切断方法的一例的流程图。图2是表示在本专利技术的工件的切断方法中所使用的线锯的一例的概略图。图3是表示在本专利技术的工件的切断方法中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工件的切断方法，其利用螺旋状地卷绕在多个线材导件之间且沿轴方向行进的钢线来形成钢线列，并将工件压抵至所述钢线列来实行所述工件的切断，其中，将使用于前次的工件的切断后的钢线再次使用来切断下一次的工件，而且，该工件的切断方法，相对于在所述前次的工件的切断中的钢线张力，将切断所述下一次的工件时的钢线张力设为87～95％的范围的值；并且，相对于所述切断前次的工件时的新线供给量，将所述切断下一次的工件时的新线供给量设为125％以上的范围的值，而再次使用所述钢线来切断所述下一次的工件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.11.21 JP 2013-2406791.一种工件的切断方法，其利用螺旋状地卷绕在多个线材导件
之间且沿轴方向行进的钢线来形成钢线列，并将工件压抵至所述钢线
列来实行所述工件的切断，其中，将使用于前次的工件的切断后的钢
线再次使用来切断下一次的工件，
而且，该工件的切断方法，相对于在所述前次的工件的切断中的
钢线张力，将切断所述下...

【专利技术属性】
技术研发人员：上林佳一，
申请(专利权)人：信越半导体株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP