沟槽刻蚀方法以及半导体器件制造方法技术

本发明专利技术提供了一种沟槽刻蚀方法以及半导体器件制造方法。根据本发明专利技术的沟槽刻蚀方法包括：衬垫氧化层形成步骤，用于在衬底上形成衬垫氧化层；硬掩膜形成步骤，用于在所述衬垫氧化层上形成硬掩膜；光刻胶层形成步骤，用于在所述硬掩膜上形成光刻胶层；光刻步骤，用于对光刻胶层进行光刻以得到光刻胶层的图案；硬掩膜刻蚀步骤，用于利用光刻步骤所得到的光刻胶层的图案对所述硬掩膜进行刻蚀以形成硬掩膜图案；光刻胶层去除步骤，利用氧气去除所述光刻胶层；以及沟槽刻蚀步骤，用于利用硬掩膜刻蚀步骤刻蚀出的所述硬掩膜图案来利用氧气刻蚀沟槽；其中，在通过控制所述沟槽刻蚀步骤中的氧气流量来控制所述沟槽刻蚀步骤所刻蚀出来的沟槽的关键尺寸。

【技术实现步骤摘要】
沟槽刻蚀方法以及半导体器件制造方法
本专利技术涉及半导体器件制造领域，更具体地说，本专利技术涉及一种沟槽刻蚀方法以及采用了该沟槽刻蚀方法的半导体器件制造方法。
技术介绍
在各种半导体器件的制造过程中，一般都需要进行沟槽刻蚀，例如浅沟槽刻蚀。一般地，在现有的沟槽刻蚀方法中，先对光刻胶进行光刻，随后利用光刻后的光刻胶图案来对硬掩膜进行刻蚀，最后利用刻蚀出来的硬掩膜图案来刻蚀沟槽。由此，光刻胶的光刻之后会定义一个光刻关键尺寸，并且在硬掩膜刻蚀之后会定义一个硬掩膜刻蚀关键尺寸，这两个关键尺寸(即，光刻关键尺寸和硬掩膜刻蚀关键尺寸)基本上就限定沟槽的最终沟槽关键尺寸。但是，随着器件设计及制造技术的发展，以及电子设计对器件尺寸精度要求的提高，往往希望能够很精确地控制沟槽开口的关键尺寸，而上述现有技术的沟槽刻蚀方法仅仅能够粗略地限定沟槽开口关键尺寸，而不能精确控制或者动态调整沟槽开口的关键尺寸。所以，希望能够提供一种精确控制并动态调整最终得到的关键尺寸的沟槽刻蚀方法。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种能够精确控制并动态调整最终得到的关键尺寸的沟槽刻蚀方法以及采用了该沟槽刻蚀方法的半导体器件制造方法。根据本专利技术的第一方面，提供了一种一种沟槽刻蚀方法，其包括：衬垫氧化层形成步骤，用于在衬底上形成衬垫氧化层；硬掩膜形成步骤，用于在所述衬垫氧化层上形成硬掩膜；光刻胶层形成步骤，用于在所述硬掩膜上形成光刻胶层；光刻步骤，用于对光刻胶层进行光刻以得到光刻胶层的图案；硬掩膜刻蚀步骤，用于利用光刻步骤所得到的光刻胶层的图案对所述硬掩膜进行刻蚀以形成硬掩膜图案；光刻胶层去除步骤，利用氧气去除所述光刻胶层；以及沟槽刻蚀步骤，用于利用硬掩膜刻蚀步骤刻蚀出的所述硬掩膜图案来利用氧气刻蚀沟槽；其中，在通过控制所述沟槽刻蚀步骤中的氧气流量来控制所述沟槽刻蚀步骤所刻蚀出来的沟槽的关键尺寸。优选地，在上述沟槽刻蚀方法中，所述硬掩膜包括第一硬掩膜层和第二硬掩膜层。优选地，在上述沟槽刻蚀方法中，所述硬掩膜形成步骤包括：首先在所述衬垫氧化层上形成第一硬掩膜层，然后在所述第一硬掩膜层上形成第二硬掩膜层。优选地，在上述沟槽刻蚀方法中，所述第一硬掩膜层由氮硅化合物组成。优选地，在上述沟槽刻蚀方法中，所述第二硬掩膜层由氮硅氧化合物组成。优选地，在上述沟槽刻蚀方法中，所述沟槽刻蚀方法用于刻蚀浅沟槽。根据本专利技术的第一方面，通过调节沟槽形成过程(具体地说是沟槽刻蚀步骤)中的氧气流量，可以调节对硬掩膜阻挡层侧壁的保护强弱，由此达到调节沟槽开口的关键尺寸的目的。其中，若对硬掩膜阻挡层侧壁的保护强，则沟槽开口的关键尺寸变大。若对硬掩膜阻挡层侧壁的保护弱，则沟槽开口的关键尺寸变小。由此，根据本专利技术第一方面的沟槽刻蚀方法，可以在光刻之后的关键尺寸以及硬掩膜刻蚀之后的关键尺寸所限定的沟槽关键尺寸的基础上进行进一步地调节，以精确控制最终得到的关键尺寸，并能够动态控制最终得到的沟槽开口关键尺寸。根据本专利技术的第二方面，提供了一种半导体器件制造方法，其采用了根据本专利技术的第一方面所述的沟槽刻蚀方法。由于采用了根据本专利技术第一方面所述的沟槽刻蚀方法，因此，本领域技术人员可以理解的是，根据本专利技术第二方面的半导体器件制造方法同样能够实现根据本专利技术的第一方面的沟槽刻蚀方法所能实现的有益技术效果。附图说明结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本专利技术有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中：图1示意性地示出了衬垫氧化层形成步骤后得到的半导体器件的结构。图2示意性地示出了硬掩膜形成步骤后得到的半导体器件的结构。图3意性地示出了光刻胶层形成步骤后得到的半导体器件的结构。图4示意性地示出了光刻步骤后得到的半导体器件的结构。图5示意性地示出了硬掩膜刻蚀步骤后得到的半导体器件的结构。图6示意性地示出了光刻胶层去除步骤后得到的半导体器件的结构。图7示意性地示出了沟槽刻蚀步骤后得到的半导体器件的结构。图8示意性地示出了沟槽刻蚀步骤中的氧气流量与沟槽刻蚀步骤所刻蚀出来的沟槽的关键尺寸之间的关系。需要说明的是，附图用于说明本专利技术，而非限制本专利技术。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。具体实施方式为了使本专利技术的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本专利技术的内容进行详细描述。图1至图7示意性地示出了根据本专利技术实施例的沟槽刻蚀方法的各个步骤得到的半导体器件结构示图。具体地说，根据本专利技术实施例的沟槽刻蚀方法包括如下步骤：衬垫氧化层形成步骤，用于在衬底sub上形成衬垫氧化层PAD，图1示意性地示出了衬垫氧化层形成步骤后得到的半导体器件的结构。在一个具体事例中，衬垫氧化层PAD的厚度例如是110A。硬掩膜形成步骤，用于在所述衬垫氧化层PAD上形成硬掩膜(HM1，HM2)，图2示意性地示出了硬掩膜形成步骤后得到的半导体器件的结构。并且优选地，如图2所示，所述硬掩膜包括第一硬掩膜层HM1和第二硬掩膜层HM2。进一步优选地，所述第一硬掩膜层HM1由氮硅化合物组成，所述第二硬掩膜层HM2由氮硅氧化合物组成；由此，所述硬掩膜形成步骤具体包括：首先在所述衬垫氧化层PAD上形成第一硬掩膜层HM1，然后在所述第一硬掩膜层HM1上形成第二硬掩膜层HM2。在一个具体事例中，第一硬掩膜层的厚度例如是HM1是1650A。第二硬掩膜层的厚度例如是300A。光刻胶层形成步骤，用于在所述硬掩膜上形成光刻胶层PR；并且在一个具体事例中，刻胶层PR的厚度例如是3200A。图3意性地示出了光刻胶层形成步骤后得到的半导体器件的结构。光刻步骤，用于对光刻胶层PR进行光刻，以形成光刻胶层PR的图案；图4示意性地示出了光刻步骤后得到的半导体器件的结构。硬掩膜刻蚀步骤，用于利用光刻步骤所得到的光刻胶层的图案对所述硬掩膜进行刻蚀以形成硬掩膜图案；图5示意性地示出了硬掩膜刻蚀步骤后得到的半导体器件的结构。如图5所示，该硬掩膜刻蚀步骤不仅刻蚀了硬掩膜，而且刻蚀掉了衬垫氧化层PAD，并且对刻蚀后的硬掩膜所暴露的衬底sub刻蚀了一定深度的凹槽。光刻胶层去除步骤，利用氧气去除所述光刻胶层PR；具体地说，例如可利利用氧气在腔室里剥离光刻胶。图6示意性地示出了光刻胶层去除步骤后得到的半导体器件的结构。如图6所示，在这个步骤中，由于硬掩膜图案暴露了将要产生沟槽的位置处的衬底表面并刻蚀了一定深度的凹槽，所以，暴露的衬底表面处的凹槽会与氧气发生反应，而生成氧化物，例如如果衬底是硅衬底，则会生成二氧化硅。实际上，在凹槽的底部和侧壁均会形成该氧化物。沟槽刻蚀步骤，用于利用硬掩膜刻蚀步骤刻蚀出的所述硬掩膜图案来利用氧气刻蚀沟槽，图7示意性地示出了沟槽刻蚀步骤后得到的半导体器件的结构。如图7所示，去除了光刻胶层去除步骤在将要产生沟槽的位置处的凹槽的底部和侧壁上形成的氧化物。在上述沟槽刻蚀方法中，在通过控制所述沟槽刻蚀步骤中的氧气流量来控制所述沟槽刻蚀步骤所刻蚀出来的沟槽的关键尺寸。图8示意性地示出了沟槽刻蚀步骤中的氧气流量与沟槽刻蚀步骤所刻蚀出来的沟槽的关键尺寸AEICD之间的关系。如图8所示，其中横坐标表示沟槽刻蚀步骤中的氧气流量，纵坐标表示沟槽刻蚀步骤所刻蚀出来的沟本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种沟槽刻蚀方法，其特征在于包括：衬垫氧化层形成步骤，用于在衬底上形成衬垫氧化层；硬掩膜形成步骤，用于在所述衬垫氧化层上形成硬掩膜；光刻胶层形成步骤，用于在所述硬掩膜上形成光刻胶层；光刻步骤，用于对光刻胶层进行光刻以得到光刻胶层的图案；硬掩膜刻蚀步骤，用于利用光刻步骤所得到的光刻胶层的图案对所述硬掩膜进行刻蚀以形成硬掩膜图案；光刻胶层去除步骤，利用氧气去除所述光刻胶层；以及沟槽刻蚀步骤，用于利用硬掩膜刻蚀步骤刻蚀出的所述硬掩膜图案来利用氧气刻蚀沟槽；其中，在通过控制所述沟槽刻蚀步骤中的氧气流量来控制所述沟槽刻蚀步骤所刻蚀出来的沟槽的关键尺寸，当所述沟槽刻蚀步骤中的氧气流量较大时，即对硬掩膜阻挡层侧壁的保护较强时，即产生较厚的侧壁氧化层，所述沟槽刻蚀步骤所刻蚀出来的沟槽的关键尺寸较大；当所述沟槽刻蚀步骤中的氧...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊磊，奚斐，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：