【技术实现步骤摘要】
本技术公开了一种太阳电池等离子刻蚀模具的定位系统，属于太阳电池刻蚀设备
技术介绍
太阳电池实际上是一个面积比较大的非线性PN结，在制作过程中，需要将扩散工序中形成的硅边缘P-N结去除，否则，将导致电极正负极之间并联电阻过小，影响电池的输出特性。大规模生产中，一般用四氟化碳在高频电场中电离出氟离子与Si反应生成SiF4的方式来去除边缘PN结。因而反应过程中需将硅片叠层压紧，否则，硅表面的扩散层也将会部分去除，影响太阳电池的短路电流。现有的太阳电池等离子刻蚀模具，主要由底盘、底板、盖板、加压装置组成。刻蚀时，先将底板置于底盘上，再将数片硅片叠层置于底板上，接着于最顶端的硅片上放置盖板，再用加压装置通过盖板对整叠硅片进行压紧，最后充入四氟化碳气体进行刻蚀，以去除边缘PN结。但在实际应用中，现有的太阳电池等离子刻蚀模具，由于缺少定位系统，使得底板及硅片在底盘上的定位工序缓慢，且由于定位不够-->精确，整叠硅片经加压装置作用后，易出现压力不均的现象，致使硅片刻蚀环出现大小不一的情况，从而导致产品性能不一致、成品率低。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供了一种太阳电池等离子刻蚀模具的定位系统，该定位系统结构简单，定位速度快、精确。为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案为：一种太阳电池等离子刻蚀模具的定位系统，包括一个L型定位块，三个定位柱，两个定位销；其中，第一、第二两定位柱由上而下竖直排列固定安装在L型定位块的竖直部上，第三定位柱固定安装在L型定位块的横向部上；位于第一、第二两定位柱之间的竖直部上开设有与定位销相配合的通孔，且定位销底端延伸至通孔外；位...
【技术保护点】
1、一种太阳电池等离子刻蚀模具的定位系统，其特征在于：包括一个L型定位块(1)，三个定位柱(2a、2b、2c)，两个定位销(5a、5b)；其中，定位柱(2a)、定位柱(2b)由上而下竖直排列固定安装在L型定位块(1)的竖直部(3)上，定位柱(2c)固定安装在L型定位块(1)的横向部(4)上；位于定位柱(2a)、定位柱(2b)之间的竖直部(3)上开设有与定位销(5a)相配合的通孔(6a)，且定位销(5a)底端延伸至通孔(6a)外；位于定位柱(2c)左侧的横向部(4)上开设有与定位销(5b)相配合的通孔(6b)，且定位销(5b)底端延伸至通孔(6b)外。
【技术特征摘要】
1、一种太阳电池等离子刻蚀模具的定位系统，其特征在于：包括一个L型定位块(1)，三个定位柱(2a、2b、2c)，两个定位销(5a、5b)；其中，定位柱(2a)、定位柱(2b)由上而下竖直排列固定安装在L型定位块(1)的竖直部(3)上，定位柱(2c)固定安装在L型定位块(1)的横向部(4)上；位于定位柱(2a)、定位柱(2b)之间的竖直部(3)上开设有与定位销(5a)相配合的通孔(6a)，且定位销(5a)底端延伸至通孔(6a)外；位于定位柱(2c)左侧的横向部(4)上开设有与定位销(5b)相配合的通孔(6b)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：俞相明，周晓兵，
申请(专利权)人：浙江向日葵光能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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