一种等离子刻蚀夹具保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种等离子刻蚀夹具保护装置，属于PSS制程设备领域，包括刻蚀夹具，刻蚀夹具包括陶瓷体，陶瓷体内开有圆形空腔，陶瓷体的外缘设有若干陶瓷凸耳，各陶瓷凸耳上均开有一安装孔；还包括安装在陶瓷体上表面的金属保护层，金属保护层上开有与空腔相同的金属圆腔，金属保护层的外缘上设有与陶瓷凸耳配合的保护凸耳，保护凸耳上开有通孔，安装孔、通孔内安装有绝缘螺母，使金属保护层固定在陶瓷体上表面。该装置通过在原有的陶瓷夹具上面覆盖一层金属保护层，有效避免陶瓷夹具被等离子体刻蚀，将其使用寿命由原来的三个月延长至六个月；金属保护层可降低陶瓷与等离子体反应产生的粉末，降低产品出现图形缺失的比例，有效提高生产良率。

Plasma etching clamp protection device

The utility model discloses a plasma etching clamp protection device, which belongs to the field of PSS process equipment, including etching fixture, etching fixture includes a ceramic body, a ceramic body is provided with a circular cavity, the outer edge of the ceramic body is provided with a plurality of ceramic lugs, the ceramic lugs are arranged on a mounting hole; also includes the installation of metal protection layer on the surface of the ceramic body, a metal protective layer is arranged on the circular metal cavity and the cavity of the same metal protective layer is arranged on the outer margin of the convex convex protection is matched with the ceramic ear protection, lug is provided with a through hole, mounting hole and a through hole is arranged in the insulating nut, the metal protection layer is fixed in the upper surface of the ceramic body. The device covered by a layer of metal protective layer on the ceramic fixture above the original, effectively avoid the ceramic fixture is plasma etching, the service life from three months to six months; the metal protective layer can reduce the production of ceramic powder and plasma reaction, reduction of product graph missing proportion, improve production yield.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种保护装置，具体涉及一种等离子刻蚀夹具保护装置，属于PSS制程设备领域。
技术介绍
LED作为一种新型光源，具有节能、环保、寿命长的优势，在资源日益匮乏的今天得到广泛关注。目前LED采用PSS(图形化蓝宝石)作为衬底，相比于平片LED亮度提高40％左右。图形化蓝宝石衬底生产工艺包括涂胶、曝光及刻蚀，其中刻蚀一般采用等离子刻蚀方法。在等离子刻蚀工艺中，需要将蓝宝石固定在Tray盘中，底部通冷却气体带走等离子刻蚀产生大量的热量，调解PSS表面温度。由于冷却气体压力存在，需要夹具装置将Tray盘固定，以免气压冲击Tray盘产生位移。但是目前固定Tray盘一般使用陶瓷夹具，陶瓷会与等离子反应，产生粉末，不仅降低陶瓷夹具的使用寿命，同时由于陶瓷反应产生的粉末会遮蔽产品，被遮蔽的部位不能参与反应，造成产品图形缺失。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本技术提供一种等离子刻蚀夹具保护装置，有效提高陶瓷夹具的使用寿命，提高生产良率。为了实现上述目的，本技术采用的一种等离子刻蚀夹具保护装置，包括刻蚀夹具，所述刻蚀夹具包括陶瓷体，陶瓷体内开有圆形空腔，所述陶瓷体的外缘设有若干陶瓷凸耳，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子刻蚀夹具保护装置，包括刻蚀夹具，所述刻蚀夹具包括陶瓷体(2)，陶瓷体(2)内开有圆形空腔(3)，所述陶瓷体(2)的外缘设有若干陶瓷凸耳(1)，各陶瓷凸耳(1)上均开有一安装孔(4)；其特征在于，还包括安装在陶瓷体(2)上表面的金属保护层(5)，所述金属保护层(5)上开有与空腔(3)相同的金属圆腔(8)，所述金属保护层(5)的外缘上设有与陶瓷凸耳(1)配合的保护凸耳(6)，所述保护凸耳(6)上开有通孔，所述安装孔(4)、通孔内安装有绝缘螺母(7)，使金属保护层(5)固定在陶瓷体(2)上表面。

【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀夹具保护装置，包括刻蚀夹具，所述刻蚀夹具包括陶瓷体(2)，陶瓷体(2)内开有圆形空腔(3)，所述陶瓷体(2)的外缘设有若干陶瓷凸耳(1)，各陶瓷凸耳(1)上均开有一安装孔(4)；其特征在于，还包括安装在陶瓷体(2)上表面的金属保护层(5)，所述金属保护层(5)上开有与空腔(3)相同的金属圆腔(8)，所述金属保护层(5)的外缘上设有与陶瓷凸耳(1)配合的保护凸耳(6)，所述保护凸耳(6)上开有通孔，所述安装孔(4)、通孔内安装有绝缘螺母(7)，使金属保护层(5)固定在陶瓷体(2)上表面。2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀夹具保护装置，其特征在于，所述陶瓷凸耳(1)具有三个，三陶瓷凸耳(...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕承鹏，刘亚坤，吕康理，于玉斋，张黎明，王明明，吕飞，涂亮亮，魏明德，
申请(专利权)人：徐州同鑫光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32