提供小型，处理能力高的有机薄膜蒸镀装置。在真空槽（１１）的内部，设置可成为水平姿势与竖立姿势的第一、第二基板配置装置（１３ａ、１３ｂ），在成为竖立姿势时，使保持于各个基板配置装置（１３ａ、１３ｂ）的基板与第一、第二有机蒸气放出装置（２１ａ、２１ｂ）面对。在一方的基板配置装置（１３ａ、１３ｂ）为水平姿势时，由直线对准用销（１５）与移载用销（１６）抬起掩模与基板，与未成膜的基板进行交换并进行对位。在一台的有机薄膜蒸镀装置（１０）能够同时处理二枚的基板。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及有机EL显示装置的
，特别涉及制造使用于有机EL元件的有机薄膜的有机薄膜蒸镀装置，和具有该有机薄膜蒸镀装置的有机显示装置制造装置。
技术介绍
对于制造有机EL元件的装置，已知有集群(cluster)方式与沿线(in line)方式。图11 (a)是集群方式的制造装置200。从搬入室201搬入的基板通过配置在搬送室209内的搬送机器人，被搬入至连接于搬送室209的蒸镀室202 206内，在各蒸镀室 202 206依次形成有机薄膜，经由交接室207而移动至下一级的搬送室219。在下一级的搬送室219也配置有基板搬送机器人，在配置于该搬送室219周围的蒸镀室21广214间依序移动，在各蒸镀室21广214中对有机薄膜、阴极电极进行成膜，从搬出室215被搬出到制造装置200的外部。在各搬送室209、219连接有掩模贮存室221、222。在蒸镀室202 206、21广214内相对于基板对掩模进行对准并加以成膜，在复数枚数的向基板的成膜中使用、使用次数变多的掩模与配置于掩模贮存室221、222内的掩模进行交换，从而能够连续处理许多的基板。图11 (b)是沿线方式的制造装置300。在前级的搬送室309与后级的搬送室329的内部配置有基板搬送机器人，被搬入到搬入室301的基板通过前级的搬送室309内的基板搬送机器人，被搬入至连接于搬送室 309的预处理室302。此外，在搬送室309连接有移动室311，在预处理室302内进行了预处理的基板经由移动室311，移动至未连接于搬送室309的对准室312。在对准室312内配置有掩模，基板与掩模在被对准并将掩模装配于基板之后，经由方向转换室313被搬入至沿线蒸镀室314内。在沿线蒸镀室314内中，基板与掩模一边移动，一边在基板表面对有机薄膜进行成膜，从沿线蒸镀室314搬出的基板与掩模经由方向转换室315而被搬入至分离室316，分离掩模与基板。分离室316连接于后级的搬送室329，在分离室316内分离的基板经由后级的搬送室329，搬入至连接于搬送室329的溅射室321、322。在溅射室321、322内在基板上对阴极电极膜进行成膜，经由搬出室323，取出至有机EL元件制造装置300的外部。被分离的掩模被回收至回收室332。新的掩模配置于供给室331，供给至对准室 312。专利文献1 日本特开2008-56966号公报； 专利文献2 日本特开2004-241319号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题在上述的二种有机EL元件制造装置200，300中，在应对大型的基板的情况下、要使单件工时缩短的情况下，产生有以下的问题。(1)掩模通过基板搬送机器人进行交换，但伴随着基板的大型化而掩模大型化， 但目前不存在能搬送大型掩模的基板搬送机器人。即使已经开发了，也过于大型。(2)当要缩短单件工时时，必须增加成膜室的数量，装置成本、底面积增大。此外需要与蒸镀装置相同数量的对准装置、真空槽、和排气系统，因此成本增加，装置变得复杂化。(3)在沿线装置的情况下，当真空槽的数量多时，变成大型装置。特别是在制作 RGB分涂器件的情况下，沿线的环路最低也变为3个以上，因此装置更大型化。解决课题的方案为了解决上述课题，本专利技术的有机薄膜蒸镀装置，具有真空槽；第一、第二基板配置装置，配置在所述真空槽内，配置第一、第二基板；第一、第二掩模，分别位于所述第一、第二基板配置装置上，形成有开口 ；第一旋转轴，进行工作，使得所述第一基板配置装置与所述第一掩模一起成为在上下方向重合的位置变成水平的水平姿势，此外，使得所述第一基板配置装置与所述第一掩模一起成为竖立设置的竖立姿势；第二旋转轴，进行工作，使得所述第二基板配置装置与所述第二掩模一起成为在上下方向重合的位置变成水平的所述水平姿势，此外，使得所述第二基板配置装置与所述第二掩模一起成为竖立设置的所述竖立姿势；以及第一、第二有机蒸气放出装置，设置在所述真空槽，从设置在第一、第二有机蒸气放出面的放出口使有机材料蒸气放出，通过所述第一、第二旋转轴的工作，所述第一、第二基板分别被所述第一、第二基板配置装置、和所述第一、第二掩模夹持并在所述水平姿势与所述竖立姿势之间变更姿势，所述第一、第二有机蒸气放出面分别与成为所述竖立姿势的所述第一、第二掩模面对，从所述第一、第二有机蒸气放出面的所述放出口放出的所述有机材料蒸气，通过所述第一、第二掩模的开口而到达所述成膜面。此外，在本专利技术的有机薄膜蒸镀装置中，所述竖立姿势是所述第一、第二成膜对象物从所述水平姿势起旋转移动不足90°的角度，配置有所述第一、第二掩模的面朝上倾斜。此外，在本专利技术的有机薄膜蒸镀装置中，在所述第一、第二基板配置装置分别形成有冷却介质液流过的通路。此外，在本专利技术的有机薄膜蒸镀装置中，构成为在所述第一、第二有机蒸气放出装置分别连接有蒸气产生源，在所述蒸气产生源生成的所述有机材料蒸气能够从所述第一、 第二有机蒸气放出面的所述放出口放出。此外，在本专利技术的有机薄膜蒸镀装置中，具有第一、第二吸付磁铁，设置在所述第一、第二基板配置装置，将所述第一、第二掩模向所述第一、第二基板配置装置磁吸附。此外，在本专利技术的有机薄膜蒸镀装置中，具有掩模移动装置，在所述水平姿势的所述第一、第二基板配置装置上，分别使所述第一、第二掩模在上下方向移动。此外，本专利技术的有机EL元件制造装置，具有搬送室，配置有基板搬送机器人，在所述搬送室连接有上述任一种有机薄膜蒸镀装置。此外，本专利技术是有机薄膜蒸镀方法，分别竖立设置好有机薄膜蒸镀装置的第一、第二有机蒸气放出面，所述有机薄膜蒸镀装置具有第一、第二基板配置装置，配置在同一真空槽内，能够配置基板；以及第一、第二有机蒸气放出装置，设置在所述真空槽，在所述第一、第二有机蒸气放出面形成有放出口，进行以下工序第一配置工序，将第一基板搬入所述真空槽内，将所述第一基板配置在处于水平的水平姿势的所述第一基板配置装置；第一竖立工序，使所述第一基板保持在所述第一基板配置装置并成为竖立的竖立姿势，使其面对所述第一有机蒸气放出面；第一成膜开始工序，从所述第一有机蒸气放出装置的所述放出孔使有机材料蒸气的放出开始；第二配置工序，在所述第一基板配置装置处于所述竖立姿势的期间，将第二基板搬入所述真空槽内，配置在成为所述水平姿势的所述第二基板配置装置；第二竖立工序，使所述第二基板保持在所述第二基板配置装置并成为所述竖立姿势，使其面对所述第二有机蒸气放出面；第二成膜开始工序，从所述第二有机蒸气放出装置的所述放出孔使有机材料蒸气的放出开始；以及第一搬出工序，在所述第二基板配置装置为竖立的期间，使所述第一基板配置装置为所述水平姿势，将所述第一基板搬出至所述真空槽外，通过以上工序，在所述第二基板成膜中，将成膜了的所述第一基板搬出。此外，在本专利技术的有机薄膜蒸镀方法中，在所述第一、第二竖立工序中，在所述第一、第二基板上分别配置有第一、第二掩模的状态下，使其从所述水平姿势变为所述竖立姿势，在所述第一搬出工序中，在使所述掩模从所述基板分离之后，将所述第一基板搬出至所述真空槽外。此外，在本专利技术的有机薄膜蒸镀方法中，在所述第一、第二配置工序中，在处于所述水平姿势的所述第一、第二基板配置装置上，分别预先分离并配置好所述第一、第二掩模，将搬入至所述真空槽本文档来自技高网...
【技术保护点】
１． 一种有机薄膜蒸镀装置，其中，构成为具有：真空槽；第一、第二基板配置装置，配置在所述真空槽内，配置第一、第二基板；第一、第二掩模，分别位于所述第一、第二基板配置装置上，形成有开口；第一旋转轴，进行工作，使得所述第一基板配置装置与所述第一掩模一起成为在上下方向重合的位置变成水平的水平姿势，此外，使得所述第一基板配置装置与所述第一掩模一起成为竖立设置的竖立姿势；第二旋转轴，进行工作，使得所述第二基板配置装置与所述第二掩模一起成为在上下方向重合的位置变成水平的所述水平姿势，此外，使得所述第二基板配置装置与所述第二掩模一起成为竖立设置的所述竖立姿势；以及第一、第二有机蒸气放出装置，设置在所述真空槽，从设置在第一、第二有机蒸气放出面的放出口使有机材料蒸气放出，通过所述第一、第二旋转轴的工作，所述第一、第二基板分别被所述第一、第二基板配置装置、和所述第一、第二掩模夹持并在所述水平姿势与所述竖立姿势之间变更姿势，所述第一、第二有机蒸气放出面分别与成为所述竖立姿势的所述第一、第二掩模面对，从所述第一、第二有机蒸气放出面的所述放出口放出的所述有机材料蒸气，通过所述第一、第二掩模的开口而到达所述成膜面。...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP2008-2922422008年11月14日1.一种有机薄膜蒸镀装置，其中，构成为具有真空槽；第一、第二基板配置装置，配置在所述真空槽内，配置第一、第二基板； 第一、第二掩模，分别位于所述第一、第二基板配置装置上，形成有开口 ； 第一旋转轴，进行工作，使得所述第一基板配置装置与所述第一掩模一起成为在上下方向重合的位置变成水平的水平姿势，此外，使得所述第一基板配置装置与所述第一掩模一起成为竖立设置的竖立姿势；第二旋转轴，进行工作，使得所述第二基板配置装置与所述第二掩模一起成为在上下方向重合的位置变成水平的所述水平姿势，此外，使得所述第二基板配置装置与所述第二掩模一起成为竖立设置的所述竖立姿势；以及第一、第二有机蒸气放出装置，设置在所述真空槽，从设置在第一、第二有机蒸气放出面的放出口使有机材料蒸气放出，通过所述第一、第二旋转轴的工作，所述第一、第二基板分别被所述第一、第二基板配置装置、和所述第一、第二掩模夹持并在所述水平姿势与所述竖立姿势之间变更姿势，所述第一、第二有机蒸气放出面分别与成为所述竖立姿势的所述第一、第二掩模面对， 从所述第一、第二有机蒸气放出面的所述放出口放出的所述有机材料蒸气，通过所述第一、 第二掩模的开口而到达所述成膜面。2.根据权利要求1所述的有机薄膜蒸镀装置，其中，所述竖立姿势是所述第一、第二成膜对象物从所述水平姿势起旋转移动不足90°的角度，配置有所述第一、第二掩模的面朝上倾斜。3.根据权利要求1或2的任一项所述的有机薄膜蒸镀装置，其中，在所述第一、第二基板配置装置分别形成有冷却介质液流过的通路。4.根据权利要求1至3的任一项所述的有机薄膜蒸镀装置，其中， 构成为在所述第一、第二有机蒸气放出装置分别连接有蒸气产生源，在所述蒸气产生源生成的所述有机材料蒸气能够从所述第一、第二有机蒸气放出面的所述放出口放出。5.根据权利要求1至4的任一项所述的有机薄膜蒸镀装置，其中，具有第一、第二吸付磁铁，设置在所述第一、第二基板配置装置，将所述第一、第二掩模向所述第一、第二基板配置装置磁吸附。6.根据权利要求1至5的任一项所述的有机薄膜蒸镀装置，其中，具有掩模移动装置，在所述水平姿势的所述第一、第二基板配置装置上，使所述第一、第二掩模在上下方向分别移动。7.一种有机EL元件制造装置，其中， 具有搬送室，配置有基板搬送机器人...
【专利技术属性】
技术研发人员：深尾万里，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP
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