掩模及使用掩模的成膜方法技术

该掩模包括：平板状的第一部分（４４），具有在相当于基板（１１）的成膜区域（Ｓ１）的位置形成的开口部（４１）和侧部，以平板状的第一部分（４４）与所述基板（１１）的被成膜面（１１ａ）重叠的方式配置所述基板（１１）；第二部分（４３），沿着所述第一部分（４４）的所述侧部设置，覆盖所述基板（１１）的侧面的至少一部分，在多张所述掩模（４０、４０ａ、４０ｂ、１４０、１４２、２４０、２４０ａ、２４０ｂ、３４０、３４０ａ、３４０ｂ）向其侧方排列时，彼此邻接的两张所述掩模的所述第二部分（４３）分别互相重合，从而形成重合部（Ｂ）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。本申请基于2008年10月21日在日本申请的特愿2008-271222号主张优先权，在 此援用其内容。
技术介绍
近年，从有效地利用能量的观点来看，太阳能电池正越来越被广泛普遍利用。作为 该太阳能电池，已知有使用单晶硅的硅太阳能电池、使用多晶硅层的多晶硅太阳能电池、使 用非晶硅的非晶硅太阳能电池等硅系太阳能电池。硅系太阳能电池由例如层压有作为表面 电极形成在玻璃基板上的由透明导电氧化物(TCO、Transparent conductive oxide)等构 成的透明电极、形成在表面电极上的由硅构成的半导体层(光电转换层)、形成为背面电极 的Ag薄膜的光电转换体构成。半导体层具有吸收光时产生电子和空穴的硅膜(i型)被ρ 型和η型的硅膜夹持的称为Pin结的层结构。因此，在上述太阳能电池中，在基板上层压表面电极、半导体层和背面电极后，通 过使用具有绝缘性的薄片等密封光电转换体，形成太阳能电池模块。由于基板的外周部分 被用作薄片的粘接区域，所以需要确保太阳能电池与薄片之间的粘接性或密封性，从而优 选在基板的外周部分除去光电转换体。作为除去基板外周部分的方法，已知例如专利文献本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种掩模，其特征在于，包括：平板状的第一部分，具有在相当于基板的成膜区域的位置形成的开口部和侧部，以所述平板状的第一部分与所述基板的被成膜面重叠的方式配置所述基板；和第二部分，沿着所述第一部分的所述侧部设置，覆盖所述基板的侧面的至少一部分，在多张所述掩模向其侧方排列时，彼此邻接的两张所述掩模的所述第二部分分别互相重合，从而形成重合部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡井美和，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP