下载掩模及使用掩模的成膜方法的技术资料

文档序号:7145978

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该掩模包括:平板状的第一部分(44),具有在相当于基板(11)的成膜区域(S1)的位置形成的开口部(41)和侧部,以平板状的第一部分(44)与所述基板(11)的被成膜面(11a)重叠的方式配置所述基板(11);第二部分(43),沿着所述第一...
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