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磁盘用玻璃基板的制造方法技术

技术编号:7152074 阅读:187 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种磁盘用玻璃基板的制造方法,具备使用固定磨粒将主表面为镜面的镜面板玻璃加工为必要的平坦度及表面粗糙度的表面研磨工序,具备在使用所述固定磨粒的表面研磨工序前,将所述镜面板玻璃表面通过磨砂加工进行表面粗糙化的表面粗糙化工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种硬盘驱动器(以下称为“HDD”)等磁盘装置所用的。
技术介绍
近年来,作为适于高记录密度化的磁盘用基板之一,使用玻璃基板。玻璃基板与金属的基板相比刚性高,所以适于磁盘装置的高速旋转化。另外,玻璃基板可得到平滑且平坦的表面,所以可降低磁头的浮起量,适于S/N比的提高和高记录密度化。通常,磁盘用玻璃基板通过依次实行使玻璃原料加热熔化而预备熔融玻璃的工序、将该熔融玻璃成形为板状的玻璃盘的工序、对成形为板状的玻璃盘进行加工、研磨而制作玻璃基板的工序来制作。在将熔融玻璃成形为板状的玻璃盘时,采用压制法、浮法等成形方法。在压制法中,从圆柱状的玻璃母材切断成比磁盘用基板稍厚的厚度的玻璃盘,调整玻璃盘的形状并且加工成所要求的平坦度及板厚。在将玻璃盘加工为所要求的平坦度及板厚的研磨工序中,使用研磨装置将玻璃盘研磨至目标的板厚并且加工为目标的平坦度。用研磨装置的上平台和下平台夹住玻璃盘,使其一边向反方向旋转一边用游离磨粒(浆料)进行加工。游离磨粒使用对应于玻璃盘的规定的尺寸精度及形状精度的粒度的磨粒,在最初的研磨加工 (研磨1)中使用大的粒径(例如平均粒径30 μ m左右)的游离磨粒本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁盘用玻璃基板的制造方法,具备使用固定磨粒将主表面为镜面的镜面板玻璃加工为必要的平坦度及表面粗糙度的表面研磨工序,其特征在于,具备在使用所述固定磨粒的表面研磨工序前,将所述镜面板玻璃表面通过磨砂加工进行表面粗糙化的表面粗糙化工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:水野高德
申请(专利权)人:HOYA株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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