磁盘用玻璃基板的制造方法技术

本发明专利技术提供一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其目的之一在于，即使在玻璃基板的抛光工序中使用粒径小的抛光磨粒、且在抛光工序后的超声波洗涤工序中以高频率进行超声波处理的情况下，也可有效除去玻璃基板表面的颗粒。所述磁盘用玻璃基板的制造方法包括对玻璃基板进行抛光的抛光工序和抛光工序后对玻璃基板进行超声波洗涤的超声波洗涤工序，在抛光工序中使用粒径10nm～30nm的抛光磨粒，在超声波洗涤工序中，以300KHz～1000KHz的频率进行第一超声波洗涤而形成二次粒子，然后以30KHz～100KHz的频率进行第二超声波洗涤。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种。
技术介绍
随着信息化技术的提高，信息记录技术、特别是磁记录技术正在显著进步。在用于磁记录介质之一的HDD (硬盘驱动器)等的磁盘中，正在持续进行快速的小型化、薄板化及记录密度的增加和存取速度的高速化。在HDD中，使具有磁性层的磁盘在圆盘状的基板上高速旋转，使磁头在该磁盘上浮起飞行，与此同时进行记录和再生。由于伴随存取速度的高速化，磁盘的旋转速度也变快，因而对磁盘来说要求更高的基板强度。另外，伴随记录密度的增加，磁头也从薄膜磁头向磁阻磁头(MR磁头)、巨磁阻 磁头(GMR磁头)发展，进而，通过导入DHl (动态飞行高度)控制机构，磁头自磁盘的浮起量(磁头和磁盘的间隙之中最窄的距离)变窄至2nm左右。因此，当磁盘面上具有凹凸形状时，有时会出现磁头碰撞所致的破碎损害、和/或由空气的绝热压缩或接触导致加热而出现读取错误的过热(thermal asperity)损害。为了抑制这种对磁头产生的损害,将磁盘的主表面预先加工成极平滑的表面变得极为重要。因而目前，作为磁盘用的基板，逐渐使用玻璃基板代替以往的铝基板。这是因为，与由软质材料的金属构成的铝基板相比，由硬质材料的玻璃构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木阳介，
申请(专利权)人：HOYA株式会社，
类型：发明
国别省市：