磁盘用玻璃基板的制造方法技术

本发明专利技术提供磁盘用玻璃基板的制造方法，在使用氧化锆磨粒作为游离磨粒的研磨材料进行研磨来制造磁盘用玻璃基板时，可以制造难以产生磁头划碰故障、热粗糙故障等不良情况的磁盘用玻璃基板。该方法为具备一对主表面以及与该一对主表面正交的侧壁面的磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法包括：研磨工序，使盘状的玻璃坯板保持在载具中，利用研磨垫夹着该玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨垫之间供给具有氧化锆颗粒作为研磨磨粒的研磨液，使研磨垫与玻璃坯板进行相对移动，由此对玻璃坯板的主表面进行研磨；和除去工序，在上述研磨工序之后，物理性除去在研磨上述玻璃坯板的侧壁面或主表面时由于该玻璃坯板的侧壁面与玻璃基板的侧壁面面对的载具的端面发生摩擦而附着于玻璃坯板的侧壁面的氧化锆颗粒。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】磁盘用玻璃基板的制造方法
本专利技术涉及磁盘用玻璃基板的制造方法。
技术介绍
如今，在个人计算机或DVD(DigitalVersatileDisc)记录装置等中内置有用于记录数据的硬盘装置(HDD：HardDiskDrive)。特别是在笔记型个人计算机等以移动性为前提的设备中使用的硬盘装置中，使用在玻璃基板上设置有磁性层的磁盘，利用在磁盘的面上微微悬浮的磁头对磁性层记录或读取磁记录信息。作为该磁盘的基板，由于具有比金属基板(铝基板)等更难以发生塑性变形的性质，因而优选使用玻璃基板。另外，应增大硬盘装置中存储容量的要求，寻求磁记录的高密度化。例如使用垂直磁记录方式，使磁性层中的磁化方向相对于基板的面为垂直方向，进行磁记录信息区域(记录位(bit))的微细化。由此，可以增大1张盘片基板中的存储容量。进一步，为了进一步增大存储容量，还进行通过使磁头的记录再现元件部更加突出，从而极度缩短其与磁记录层之间的距离，进一步提高信息的记录再现精度(提高S/N比)。需要说明的是，这种磁头的记录再现元件部的控制被称作DFH(DynamicFlyingHeight)控制机构，配备该控制机构的磁头被称作DF本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其是具备一对主表面以及与该一对主表面正交的侧壁面的磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法包括：研磨工序，使盘状的玻璃坯板保持在载具中，利用研磨垫夹着该玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨垫之间供给具有氧化锆颗粒作为研磨磨粒的研磨液，使研磨垫与玻璃坯板进行相对移动，由此对玻璃坯板的主表面进行研磨；和除去工序，在所述研磨工序之后，物理性除去在研磨所述玻璃坯板的侧壁面或主表面时由于该玻璃坯板的侧壁面与玻璃基板的侧壁面面对的载具的端面发生摩擦而粘固于玻璃坯板的侧壁面的氧化锆颗粒。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.29 JP 2011-290432;2011.12.29 JP 2011-290431.一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其是具备一对主表面以及与该一对主表面正交的侧壁面的磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法包括：研磨工序，使盘状的玻璃坯板保持在载具中，利用研磨垫夹着该玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨垫之间供给具有氧化锆颗粒作为研磨磨粒的研磨液，使研磨垫与玻璃坯板进行相对移动，由此对玻璃坯板的主表面进行研磨；和除去工序，通过对经过所述研磨工序的玻璃坯板的主表面进行研磨而除去在所述研磨工序中附着于侧壁面的氧化锆颗粒，其中，在所述除去工序中，将经过所述研磨工序的玻璃坯板保持在载具的孔部，在对玻璃坯板的侧壁面和载具的孔部的间隙供给了包含选自氧化铈、氧化铝、金刚石、氧化钛、二氧化硅中的研磨磨粒的研磨液的状态下，由于该玻璃坯板的侧壁面和与玻璃坯板的侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川裕树，饭泉京介，岩间健太，吉丸刚太郎，
申请(专利权)人：HOYA株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP