磁盘用玻璃基板的制造方法技术

本发明专利技术提供磁盘用玻璃基板的制造方法，在使用氧化锆磨粒作为游离磨粒的研磨材料进行研磨来制造磁盘用玻璃基板时，可以制造难以产生磁头划碰故障、热粗糙故障等不良情况的磁盘用玻璃基板。该方法为具备一对主表面以及与该一对主表面正交的侧壁面的磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法包括：研磨工序，使盘状的玻璃坯板保持在载具中，利用研磨垫夹着该玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨垫之间供给具有氧化锆颗粒作为研磨磨粒的研磨液，使研磨垫与玻璃坯板进行相对移动，由此对玻璃坯板的主表面进行研磨；和除去工序，在上述研磨工序之后，物理性除去在研磨上述玻璃坯板的侧壁面或主表面时由于该玻璃坯板的侧壁面与玻璃基板的侧壁面面对的载具的端面发生摩擦而附着于玻璃坯板的侧壁面的氧化锆颗粒。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】磁盘用玻璃基板的制造方法
本专利技术涉及磁盘用玻璃基板的制造方法。
技术介绍
如今，在个人计算机或DVD(DigitalVersatileDisc)记录装置等中内置有用于记录数据的硬盘装置(HDD：HardDiskDrive)。特别是在笔记型个人计算机等以移动性为前提的设备中使用的硬盘装置中，使用在玻璃基板上设置有磁性层的磁盘，利用在磁盘的面上微微悬浮的磁头对磁性层记录或读取磁记录信息。作为该磁盘的基板，由于具有比金属基板(铝基板)等更难以发生塑性变形的性质，因而优选使用玻璃基板。另外，应增大硬盘装置中存储容量的要求，寻求磁记录的高密度化。例如使用垂直磁记录方式，使磁性层中的磁化方向相对于基板的面为垂直方向，进行磁记录信息区域(记录位(bit))的微细化。由此，可以增大1张盘片基板中的存储容量。进一步，为了进一步增大存储容量，还进行通过使磁头的记录再现元件部更加突出，从而极度缩短其与磁记录层之间的距离，进一步提高信息的记录再现精度(提高S/N比)。需要说明的是，这种磁头的记录再现元件部的控制被称作DFH(DynamicFlyingHeight)控制机构，配备该控制机构的磁头被称作DFH头。对于与这种DFH头组合用于HDD的磁盘用基板而言，为了避免其与磁头或从磁头上进一步突出的记录再现元件部之间的碰撞和接触，按照使基板的表面凹凸极小的方式进行制作。制作磁盘用玻璃基板的工序包括：磨削工序，利用固定磨粒对模压成型后制成平板状的玻璃坯板的主表面进行磨削；主表面的研磨工序，目的在于除去因该磨削工序而在主表面残留的伤痕、变形。以往已知一种磁盘用玻璃基板的制造方法，在上述主表面的研磨工序中，使用氧化铈(二氧化铈)磨粒作为研磨材料(专利文献1)。该方法中，在磨削工序后、玻璃坯板的端面研磨后，使用氧化铈作为游离磨粒进行主表面的研磨(第一研磨)，之后对玻璃坯板进行化学强化。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008-254166号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题另一方面，作为属于稀有金属且较难获得的氧化铈的研磨材料的替代，考虑使用较易获得且以往已知在玻璃产品中作为研磨材料的氧化锆(二氧化锆)。然而可知，在以上述氧化锆作为玻璃坯板的游离磨粒的研磨材料而制作的玻璃基板上成膜出磁性层从而制作磁盘的情况下，与使用氧化铈作为研磨材料而制作的玻璃基板相比，在使用磁头的长时间LUL试验中，磁头划碰(headcrash)故障、热粗糙(thermalasperity)故障等不良情况的产生相对增多。因此，本专利技术的目的在于提供磁盘用玻璃基板的制造方法，在使用氧化锆磨粒作为游离磨粒的研磨材料进行研磨来制造磁盘用玻璃基板时，可以制造难以产生磁头划碰故障、热粗糙故障等不良情况的磁盘用玻璃基板。用于解决问题的手段本专利技术人为了探明使用氧化锆磨粒作为游离磨粒的研磨材料进行研磨从而制造的磁盘用玻璃基板产生磁头划碰故障、热粗糙故障等不良情况的原因，进行了深入研究。其结果发现，对于玻璃基板的主表面，在镜面抛光的研磨后，即使充分清洗主表面来去除颗粒等，但在进行磁性层的成膜时，有时在主表面仍附着有氧化锆颗粒。此时，在氧化锆颗粒的上方层积磁性层而导致在磁性层的表面上形成微小凹凸。因而，该微小凹凸成为磁头划碰故障、热粗糙故障等不良情况的原因。进一步还可知，在玻璃基板的主表面附着的氧化锆颗粒是研磨中使用的氧化锆磨粒的一部分，很可能是附着于玻璃基板的外周面和内周面的侧壁面上的磨粒。这样的问题在使用氧化铈、二氧化硅等其它磨粒作为研磨材料时不会产生，但是使用氧化锆磨粒则会产生。需要说明的是，尚未建立有效除去附着于玻璃基板的氧化锆颗粒的清洗方法。需要说明的是，在本说明书中，“粘固”是指例如氧化锆颗粒扎进玻璃坯板的侧壁面而被固定。需要说明的是，在本说明书中，表述为“附着”的情况下，例如除了解释为氧化锆颗粒仅残留于玻璃坯板的主表面的意思以外，也可以解释为氧化锆颗粒粘固于玻璃坯板的侧壁面的意思。即使充分清洗主表面来去除颗粒等，进行磁性层的成膜时，有时在主表面仍附着有氧化锆颗粒，本专利技术人认为其理由如下。即，即使在通过利用氧化锆磨粒的主表面研磨而在玻璃坯板上残留有氧化锆颗粒的情况下，也会通过之后对主表面的最终研磨来除去在主表面上残留的氧化锆颗粒，但是在玻璃坯板的侧壁面上残留或附着的氧化锆颗粒不能通过之后的玻璃坯板的清洗而被除去。尤其是在利用氧化锆磨粒的主表面研磨中将玻璃坯板保持在载具中进行的情况下，可知由于在研磨中玻璃坯板与载具抵接，因而氧化锆颗粒粘固于玻璃坯板的侧壁面。如此使玻璃坯板保持在载具中进行主表面研磨时，氧化锆颗粒粘固于玻璃坯板的原因据认为是：使用氧化锆磨粒作为研磨材料的情况下，相比于使用氧化铈磨粒的情况，以强得多的力量将研磨垫与玻璃坯板压紧、或者以比使用氧化铈的情况更快的旋转速度使定盘、载具相对于研磨垫进行旋转(相对移动)。使用氧化锆磨粒的情况下以如此苛刻的条件进行主表面研磨的理由是因为，如果以与使用氧化铈磨粒的情况相同的条件进行，则加工速率相比于使用氧化铈磨粒的情况显著下降。并且据推测，在利用氧化锆磨粒的主表面研磨之后的工序中，在侧壁面附着的氧化锆颗粒脱离并附着于玻璃坯板或磁盘用玻璃基板的主表面。例如可以认为，在玻璃坯板的主表面研磨之后，为了使主表面的表面性状不变差，在工序上夹持玻璃坯板或磁盘用玻璃基板的侧壁面，但是由此导致氧化锆颗粒脱离。存在将两块以上的玻璃坯板或磁盘用玻璃基板装在支架上在清洗槽或化学强化液槽中浸渍的工序时，还可以认为侧壁面与箱体(カセット)抵接导致氧化锆颗粒脱离，由此氧化锆颗粒附着于主表面。鉴于上述情况，本专利技术人从而完成了想到如下所述方式的专利技术。即，本专利技术的方式之一涉及具备一对主表面以及与该一对主表面正交的侧壁面的磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法包括：研磨工序，使盘状的玻璃坯板保持在载具中，利用研磨垫夹着该玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨垫之间供给具有氧化锆颗粒作为研磨磨粒的研磨液，使研磨垫与玻璃坯板进行相对移动，由此对玻璃坯板的主表面进行研磨；和除去工序，在上述研磨工序之后，物理性除去在研磨上述玻璃坯板的侧壁面或主表面时由于该玻璃坯板的侧壁面与玻璃基板的侧壁面面对的载具的端面发生摩擦而附着于玻璃坯板的侧壁面的氧化锆颗粒。本专利技术的另一种方式涉及具备一对主表面以及与该一对主表面正交的侧壁面的磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法包括：主表面研磨工序，使盘状的玻璃坯板保持在载具中，利用研磨垫夹着该玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨垫之间供给具有氧化锆颗粒作为研磨磨粒的研磨液，使研磨垫与玻璃坯板进行相对移动，由此对玻璃坯板的主表面进行研磨；和端面研磨工序，在上述主表面研磨工序之后，对在上述主表面研磨工序中与上述载具的端面接触过的玻璃坯板的侧壁面进行研磨。本专利技术的再一种方式涉及具备一对主表面以及与该一对主表面正交的侧壁面的磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法包括：第一研磨工序，使盘状的玻璃坯板保持在载具中，利用研磨垫夹着该玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨垫之间供给具有氧化锆颗粒作为研磨磨粒的研磨液，使研磨垫与玻璃坯板进行相对移动，由此对玻璃坯板的主表面进行研磨；和第二研磨工序，使上述玻璃坯板保持在上述载具中，利用上述研磨垫夹着该玻璃坯板的主本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其是具备一对主表面以及与该一对主表面正交的侧壁面的磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法包括：研磨工序，使盘状的玻璃坯板保持在载具中，利用研磨垫夹着该玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨垫之间供给具有氧化锆颗粒作为研磨磨粒的研磨液，使研磨垫与玻璃坯板进行相对移动，由此对玻璃坯板的主表面进行研磨；和除去工序，在所述研磨工序之后，物理性除去在研磨所述玻璃坯板的侧壁面或主表面时由于该玻璃坯板的侧壁面与玻璃基板的侧壁面面对的载具的端面发生摩擦而粘固于玻璃坯板的侧壁面的氧化锆颗粒。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.29 JP 2011-290432;2011.12.29 JP 2011-290431.一种磁盘用玻璃基板的制造方法，其是具备一对主表面以及与该一对主表面正交的侧壁面的磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法包括：研磨工序，使盘状的玻璃坯板保持在载具中，利用研磨垫夹着该玻璃坯板的主表面，在玻璃坯板和研磨垫之间供给具有氧化锆颗粒作为研磨磨粒的研磨液，使研磨垫与玻璃坯板进行相对移动，由此对玻璃坯板的主表面进行研磨；和除去工序，通过对经过所述研磨工序的玻璃坯板的主表面进行研磨而除去在所述研磨工序中附着于侧壁面的氧化锆颗粒，其中，在所述除去工序中，将经过所述研磨工序的玻璃坯板保持在载具的孔部，在对玻璃坯板的侧壁面和载具的孔部的间隙供给了包含选自氧化铈、氧化铝、金刚石、氧化钛、二氧化硅中的研磨磨粒的研磨液的状态下，由于该玻璃坯板的侧壁面和与玻璃坯板的侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：中川裕树，饭泉京介，岩间健太，吉丸刚太郎，
申请(专利权)人：HOYA株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP