HDD用玻璃基板的制造方法、HDD用玻璃基板以及HDD用磁记录介质技术

本发明专利技术提供一种HDD用玻璃基板的制造方法，使清洗、干燥后的玻璃基板的外周端部不会残留缺陷。HDD用玻璃基板的制造方法包括用清洗液(31)清洗玻璃基板(50)的清洗工序，在清洗工序中，针对玻璃基板(50)使清洗液(31)沿着与玻璃基板(50)的主表面平行且彼此不同的多个方向依次流动，以便进行清洗。在清洗槽(30)的上下设置清洗液供给排出装置(32、33)，使清洗液(31)在清洗槽(30)内，相对于玻璃基板(50)沿着上下方向中的从下向上的1个方向和从上向下的1个方向依次切换流动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】HDD用玻璃基板的制造方法、HDD用玻璃基板以及HDD用磁记录介质
本专利技术涉及一种HDD用玻璃基板的制造方法、HDD用玻璃基板以及HDD用磁记录介质。
技术介绍
近年来,伴随着在HDD (hard disk drive:硬盘驱动器)用磁记录介质中存储的信息的高密度化，磁头的悬浮高度日益减小，即使是数百nm的附着物也会引起头碰撞(headcrash)或热粗糙(thermal asperity)。尤其在搭载了 DFH(dynamic flying height:动态飞行高度)机构的磁头的情况下，磁头的悬浮高度微小至数nm，从而强烈要求HDD用磁记录介质的清洁性。此外，伴随着记录区域的扩大，记录区域将扩展到记录介质的最外周部。因此，要求直至记录介质的最外周部为止的高清洁性。用于HDD用磁记录介质的基板的HDD用玻璃基板，在其制造过程中，在检查工序之前被用清洗液清洗。在该清洗工序中，玻璃基板例如在收容于称为清洗支架的专用容器内的状态下被放入清洗槽，在清洗槽内用清洗液冲洗。如专利文献I的记载所述，清洗支架的结构为:多个支撑用杆以指定的间隔相互平行地架设在一对对置壁之间。在各支撑用杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种HDD用玻璃基板的制造方法，其特征在于包括：清洗工序，用清洗液清洗玻璃基板，其中，在清洗工序中，针对玻璃基板使清洗液沿着与玻璃基板的主表面平行且彼此不同的多个方向依次流动，以便进行清洗。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.06.30 JP 2011-1462301.一种HDD用玻璃基板的制造方法，其特征在于包括: 清洗工序，用清洗液清洗玻璃基板，其中， 在清洗工序中，针对玻璃基板使清洗液沿着与玻璃基板的主表面平行且彼此不同的多个方向依次流动，以便进行清洗。2.根据权利要求1所述的HDD用玻璃基板的制造方法，其特征在于，使清洗液沿着玻璃基板的主表面的上下方向和横向方向流动。3.根据权利要求2所述的HDD用玻璃基板的制造方法，其特征在于，使清洗液沿着玻璃基板的主表面的上下方向彼此相反的2个方向和横向方向彼此相反的2个方向流动。4.根据权利要求1至3中任一项所述的H...

【专利技术属性】
技术研发人员：岛津典子，福本直之，
申请(专利权)人：HOYA株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP