制造用于信息记录介质的玻璃衬底的倒角设备和方法技术

本发明专利技术公开了一种用于对用来制造信息记录介质的玻璃衬底进行倒角的设备。该设备包括适于在倒角期间夹持玻璃衬底的第一夹持夹具和第二夹持夹具。还公开了一种用于对玻璃衬底进行倒角的方法。该方法包括在每个倒角周期结束时对夹持夹具面进行清洁的步骤使得在下一个玻璃盘引入至倒角设备上之前将包括玻璃屑的污染物从夹持夹具的面移除。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】制造用于信息记录介质的玻璃衬底的倒角设备和方法
本专利技术涉及一种对用于制造包括硬盘驱动器（HDD）的信息记录介质的玻璃衬底进行倒角的方法和设备。
技术介绍
已存在对具有增大容量的（如存储更大量数据的能力）的信息记录介质的日益增加的需求。为了满足这样的需要，现今玻璃衬底要优先于常规的铝合金衬底。通常加工成在中央具有圆形孔的盘状的玻璃衬底的缺点是易于开裂、断裂。结果是，这促成了更大量的缺陷玻璃或不良（NG）玻璃。因此，在玻璃衬底制造中，倒角以使边缘（外边缘和内边缘）变平是一个重要的步骤。在常规的玻璃衬底的制造过程中，玻璃衬底的倒角步骤发生在取芯（coring）步骤之后但在研磨步骤之前。日本专利申请公开第2000-107995号公开了一种磨削方法，在该磨削方法中，将玻璃衬底放置到倒角机器上并且经由真空装置将其固定到一个位置。该倒角机器以同时磨削衬底的内边缘和外周边缘的磨削方式旋转。在倒角过程完成时，使衬底经历进一步的研磨和抛光以达到平滑度和厚度的预定水平。该已知方法的缺点在于当磨削玻璃衬底时，出现玻璃屑并且滞留在倒角机器上。因此，滞留的玻璃屑造成在下一个和随后的被引入至倒角机器上的玻璃衬底的面上的刮痕。在过去没有认识到这个问题，因为玻璃衬底被制备成具有高的厚度并且玻璃衬底的常规制造趋向于具有高的切削量。因此，衬底上的任何划痕在抛光过程中最终被消除。然而，制备具有高厚度的毛坯玻璃衬底需要较大量的熔融玻璃，同时高切削量会占用更长的抛光时间，所有这些都促成了较高制造成本。另外，HDD技术的当前趋势允许磁盘比以前更快地旋转。因此，优选略厚的玻璃盘。这意味着高的切削量不再作为用于移除玻璃衬底的面上的划痕的方法的选择。美国专利No.7,798,889B2公开了一种倒角设备，该倒角设备包括：具有圆柱形中空端部的磨石、使磨石绕圆柱形中空端部的轴线旋转的磨石驱动单元、使玻璃衬底绕外周的轴线和中央圆形孔的轴线中的任一者旋转的衬底旋转驱动单元、以及将磨石按压至玻璃衬底使得磨石的环形端面与玻璃衬底的外周和内周中的任一者的边缘接触同时磨石的圆柱形中空端部面对玻璃衬底的外周和内周中的一者的按压单元。然而，仍然存在对有效地减少由玻璃屑造成的刮痕的倒角设备、方法和制造过程的需要。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种用于对在制造信息记录介质中使用的玻璃衬底进行倒角的设备和方法。该设备有助于减少在倒角过程期间由玻璃屑引起的玻璃衬底上的刮痕。在倒角期间减少刮痕进而减少了切削量并且最终降低了生产成本。在本专利技术的一个方面中，提供了一种用于对玻璃衬底，更具体地是用于制造包括硬盘驱动器（HDD）的信息记录介质的那些玻璃衬底进行倒角的设备。在一个实施方案中，该设备包括单个夹持夹具。该夹持夹具具有圆形本体，该圆形本体具有中央圆形孔。该夹持面适于接纳被引入其上的玻璃衬底。该设备包括在倒角进行时将该玻璃衬底可操作地固定到夹持夹具上并且在倒角周期结束时释放该玻璃衬底的装置。在另一个实施方案中，该设备还包括第二夹持夹具。第一夹持夹具以与之前的实施方案相同的方式安装在经固定的安装板上。第一夹持夹具和第二夹持夹具两者均具有对应于具有中央圆形孔的玻璃衬底的圆形中空本体。第二夹持夹具适于向下移动并且将玻璃盘夹持在第一夹持夹具与第二夹持夹具之间，并且在每个倒角周期完成时向上移动以从夹持状态释放该玻璃盘使得经倒角的玻璃盘可以传送到第一夹持面的外部。该设备还包括用于清洁第一夹持夹具和第二夹持夹具的面的装置。在本专利技术的另一个方面中，提供了一种用于对玻璃衬底进行倒角的方法。该方法包括在每个倒角周期的结束在开始下一个倒角周期之前清洁夹持夹具以移除玻璃屑的步骤。该方法使用经加压的流体，其中一股经加压的流体朝向夹持夹具的面，其中经加压的流体清扫过夹持夹具的面移除滞留在夹持夹具面上的任何玻璃屑。在本专利技术的另一个方面中，本专利技术提供了一种用于制造在信息记录介质的制造中使用的玻璃衬底的方法。根据本专利技术的各方面中的一个方面，该方法包括新的倒角过程。附图说明根据示出了本文中描述的原理并作为本说明书的一部分的附图，通过本专利技术的详细描述将更好地理解本专利技术的原理的目标、特征和优点。图1示出了对根据本专利技术的原理的倒角过程和倒角设备的实施方案进行了说明的示意图；图2示出了根据本专利技术的原理的用于倒角的设备的实施方案的示意图；图3示出了对根据本专利技术的原理的另外的实施方案和对形成倒角过程的一部分的、用于清洁所述夹具的面的方法进行了说明的示意图；图4示出了对根据本专利技术的原理的倒角方法进行了说明的示意图；以及图5示出了对根据本专利技术的原理的用于制造在信息记录介质的制造中使用的玻璃衬底的方法进行说明的流程图。具体实施方式为了说明的目的，在下面的描述中，阐述了许多具体的细节以便提供对本专利技术的原理的彻底理解。然而，对于本领域技术人员而言将明显的是本原理也可以在没有这些具体细节的情况下实践。本说明书中涉及的“实施方案”、“实施例”或类似语言表示所描述的与实施方案或实例有关的特定的特征、结构或特性至少包括在那一个实施方案中，但不一定包括在其它实施方案中。本说明书中各处的短语“在一个实施方案中”或类似短语的各种情况不一定全部指的是同一个实施方案。本专利技术公开了用于对用于制造包括硬盘驱动器（HDD）的信息记录介质的玻璃衬底进行倒角的一种设备和方法。在用于制造信息记录介质如HDD的玻璃衬底的制造过程中，倒角发生在取芯步骤之后。倒角的目的是使玻璃衬底例如玻璃盘的外周边缘和内周边缘平滑以避免玻璃衬底在生产过程中进行下一个处理步骤如研磨和抛光时开裂。在倒角过程中，磨石将玻璃削掉，从而使得玻璃边缘更平滑。然而，在每个倒角周期结束时，玻璃屑滞留在倒角机械上（如在夹具面上）。玻璃屑随后使下一个被引入至倒角机械上的玻璃衬底产生刮痕。本专利技术提供一种用于对玻璃衬底进行倒角的设备10，该玻璃衬底例如为用于制造硬盘驱动器（HDD）的具有中央圆形孔的玻璃衬底12。图1示出了对倒角设备10的原理和实施方案（其中，夹持夹具被玻璃屑污染）、使玻璃衬底12产生刮痕的根本原因、以及由本专利技术提出的从夹持面移除该污染物的解决方案进行说明的示意图。图2示出了根据本专利技术的倒角设备10的实施方案。在该实施方案中，设备10仅包括一个夹持夹具。该实施方案包括第一夹持夹具15、圆筒（柱）形磨石35、磨石45、清洁装置50和紧固装置（未示出）。每个元件的优选特征和特性将在下面讨论的设备的第二实施方案的描述中进一步讨论。图3示出了设备的第二实施方案，在第二实施方案中该设备还包括第二夹持夹具20。如在图1、图2、图3和图4中示出的，第一夹持夹具15具有中空圆形，该中空圆形与盘形玻璃衬底12（玻璃盘）对应并且具有与玻璃盘的尺寸对应的尺寸，使得玻璃盘上的中央圆形孔盖在第一夹持夹具15的圆形中空部上。第一夹持夹具15安装在固定的安装板（未示出）上并且与如本领域公知的驱动第一夹持夹具15绕其轴线旋转的驱动单元（未示出）通信。第二夹持夹具20与第一夹持夹具15相同也具有圆形中空本体。第二夹持夹具20也安装在与第一夹持夹具15相对地单独的安装基座（未示出）上并且适于朝向第一夹持夹具15移动和移动离开第一夹持夹具15。第一夹持夹具15和第二夹持夹具20适于将玻璃盘紧固地夹持在它们之间。第二夹持夹具本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于对在信息记录介质的制造中使用的玻璃衬底进行倒角的倒角设备，所述设备包括：‑第一夹持夹具，所述第一夹持夹具具有与具有中央圆形孔的玻璃衬底的形状对应的中空圆形；所述第一夹持夹具安装在经固定的安装板上；耦接到轴的圆筒（柱）形磨石，所述轴是可旋转并且可缩回的或能够向上或向下移动，使得所述圆筒（柱）形磨石能够朝向所述第一夹持夹具的圆形中空部的内侧移动或移动离开所述第一夹持夹具的所述圆形中空部的内侧，所述第一夹持夹具的所述圆形中空部的内侧包括所述玻璃盘的所述圆形中央孔，所述圆筒（柱）形磨石适于磨削所述玻璃衬底的内边缘；‑磨石，所述磨石适于绕所述磨石的轴线旋转并且能够朝向所述第一夹持夹具移动并且适于对紧固在所述第一夹持夹具上的所述玻璃衬底的外周边缘进行磨削；‑清洁装置，所述清洁装置向所述第一夹持夹具的面喷射，使得在每个玻璃衬底的开始倒角之前或倒角周期完成之时和/或在将下一个玻璃衬底引入到所述第一夹持夹具上之前，对所述第一夹持夹具的所述面进行清洁；以及‑紧固装置，所述紧固装置能够在倒角进行时将所述玻璃衬底紧固至所述第一夹持夹具面上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于对在信息记录介质的制造中使用的玻璃衬底进行倒角的倒角设备，所述设备包括：-第一夹持夹具，所述第一夹持夹具具有与具有中央圆形孔的玻璃衬底的形状对应的中空圆形；所述第一夹持夹具安装在经固定的安装板上；耦接到轴的圆筒形磨石，所述轴是可旋转并且可缩回的或能够向上或向下移动，使得所述圆筒形磨石能够朝向所述第一夹持夹具的圆形中空部的内侧移动或移动离开所述第一夹持夹具的所述圆形中空部的内侧，所述第一夹持夹具的所述圆形中空部的内侧包括所述玻璃盘的所述圆形中央孔，所述圆筒形磨石适于磨削所述玻璃衬底的内边缘；-磨石，所述磨石适于绕所述磨石的轴线旋转并且能够朝向所述第一夹持夹具移动并且适于对紧固在所述第一夹持夹具上的所述玻璃衬底的外周边缘进行磨削；-清洁装置，所述清洁装置向所述第一夹持夹具的面喷射，使得在每个玻璃衬底的开始倒角之前或倒角周期完成之时和/或在将下一个玻璃衬底引入到所述第一夹持夹具上之前，对所述第一夹持夹具的所述面进行清洁；以及-紧固装置，所述紧固装置能够在倒角进行时将所述玻璃衬底紧固至所述第一夹持夹具面上。2.根据权利要求1所述的设备，还包括第二夹持夹具；所述第二夹持夹具具有与所述第一夹持夹具相同的中空圆形，安装至所述第一夹持夹具的上方的安装基座；所述第二夹持夹具适于朝向所述第一夹持夹具移动或移动离开所述第一夹持夹具。3.根据权利要求2所述的设备，其中所述第一夹持夹具和所述第二夹持夹具适于将所述玻璃衬底夹持在所述第一夹持夹具与所述第二夹持夹具之间并且适于接纳所述圆筒形磨石，使得所述圆筒形磨石能够在所述第一夹持夹具和所述第二夹持夹具中旋转并且适于在所述玻璃衬底被夹持在所述第一夹持夹具与所述第二夹持夹具之间时对所述玻璃衬底的所述内边缘进行磨削，并且所述磨石适于对所述玻璃盘的所述外周边缘进行磨削；所述第二夹持夹具和所述圆筒形磨石能够在在倒角周期完成之时移动离开所述第一夹持夹具以暴露所述第一夹持夹具的所述面和所述第二夹持夹具的面，使得能够通过所述清洁装置进行清洁。4.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一夹持夹具与驱动单元通信，使得所述第一夹持夹具能够沿着与所述圆筒形磨石和所述磨石旋转的相反方向旋转。5.根据权利要求2或3所述的设备，其中所述第一夹持夹具和所述第二夹持夹具这两者与驱动单元通信，使得所述第一夹持夹具和所述第二夹持夹具能够沿着与所述圆筒形磨石和所述磨石旋转的相反方向旋转。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：班猜·翁戈恩亚伊，
申请(专利权)人：HOYA玻璃磁盘泰国公司，HOYA株式会社，
类型：发明
国别省市：泰国;TH