磁记录介质和磁记录再生装置制造方法及图纸

本发明专利技术的实施方式得到磁记录特性良好、且改善了耐腐蚀性的磁记录介质以及使用该磁记录介质的磁记录再生装置。实施方式涉及的磁记录介质具有：基板；由Ni合金或Ag合金构成的取向控制层；与取向控制层接触而设置的非磁性种子层；以及，以Fe或Co、和Pt为主成分的垂直磁记录层，非磁性种子层由Ag粒子、Ge粒界和化合物X构成，化合物X选自Al、Ti、Cr、Si、Ta各元素的氧化物、氮化物和碳化物，且分布于Ag粒子和Ge粒界这两者中。

Magnetic recording medium and magnetic recording reproducing apparatus

The embodiment of the present invention provides a magnetic recording medium having excellent magnetic recording properties and improved corrosion resistance, and a magnetic recording reproducing apparatus using the same. Embodiments relate to the magnetic recording medium includes a substrate; orientation is composed of a Ni alloy or Ag alloy layer; and the orientation control layer contact and set up the non magnetic seed layer; and vertical magnetic in Fe or Co and Pt as the main component of the recording layer, a non-magnetic seed layer is composed of Ag particles, and the grain of Ge compound X, compound X, Ti, Cr, Al from Si, Ta elements oxides, nitrides and carbides, and the distribution of Ag particles and Ge grain boundary of the two.

【技术实现步骤摘要】
关联申请本申请要求以日本专利申请2015-207794号(申请日：2015年10月22日)为基础申请的优先权。本申请通过参照该基础申请而包含基础申请的全部内容。
本专利技术的实施方式涉及磁记录介质和磁记录再生装置。
技术介绍
作为现在市售的HDD的磁记录方式，所谓的垂直磁记录方式近年来成为主流。具有磁性晶粒被由非磁性物质构成的粒界区域包围的、所谓的颗粒结构的颗粒型记录层，为磁性晶粒彼此被非磁性粒界区域二维地物理性地孤立的结构，因此在磁性粒子间作用的磁性的交换相互作用降低。因此，能够降低记录·再生特性中的跃迁噪声，能够降低极限位尺寸。其另一方面，由于在颗粒型记录层中粒子间的交换相互作用降低，因此存在与粒子的组成、粒径的分散相伴的反转磁场的分散(SFD)增大的倾向，存在招致记录·再生特性中的跃迁噪声、跳动噪声增大的倾向。另外，记录位尺寸的下限值强烈依赖于颗粒型记录层的磁性结晶粒径，因此对于HDD的高记录密度化，需要进行颗粒型记录层的粒径微细化。作为颗粒型记录层的粒径微细化方法，有下述方法：使用具有微细的结晶粒径的基底层，将在其上层叠的颗粒型记录层粒径微细化。为了将基底层的粒径微细化，可考虑例如研究种子层(籽晶层：seedlayer)、将基底层颗粒化等的方法。
技术实现思路
本专利技术的实施方式提供磁记录特性良好、且改善了耐腐蚀性的磁记录介质以及磁记录再生装置。根据实施方式，提供一种磁记录介质，其特征在于，具备：基板；取向控制层，其设置于该基板上，由镍合金或银合金构成；非磁性种子层，其与该取向控制层接触而设置；和垂直磁记录层，其以铁或钴、和铂为主成分，所述非磁性种子层由银粒子、锗粒界和化合物X构成，所述化合物X选自铝、钛、铬、硅、钽各元素的氧化物、氮化物和碳化物，且分布于所述银粒子和所述锗粒界这两者中。附图说明图1是表示实施方式涉及的磁记录介质的构成的一例的截面图。图2是表示实施方式中所使用的磁记录层的结构的模式图。图3是表示将实施方式涉及的磁记录再生装置的一例部分拆解后的立体图。图4是表示实施方式涉及的磁记录介质的构成的另一例的截面图。具体实施方式以下，对于实施的方式，参照附图进行说明。图1是表示实施方式涉及的磁记录介质的构成的一例的截面图。如图所示，实施方式涉及的磁记录介质10，包含：基板1；具有fcc结构的由Ni合金或者Ag合金构成的取向控制层4；以与取向控制层4接触的方式形成的非磁性种子层5；以FePt或CoPt为主成分的垂直磁记录层7。非磁性种子层由Ag粒子、Ge粒界(晶界：grainboundary)和化合物X构成，并由下述式(1)表示。AgGe-X…(1)在上述式中，化合物X选自Al、Ti、Cr、Si、Ta各元素的氧化物、氮化物和碳化物。图2是表示实施方式中使用的磁记录层的结构的模式图。如图所示，用103表示的化合物X分布于用101表示的Ag粒子内和用102表示的Ge粒界这两者中。Ag可以具有柱状粒子结构。Ge为将Ag柱状粒子包围起来的粒界，化合物X可具有球状结构，该球状结构具有1～5nm的平均粒径。在这里，对于通过透射型电子显微镜(TEM)测定、扫描透射型电子显微镜(STEM)等观测到的球状结构，按下述那样对1个粒子测定两个以上的长度，将其平均值作为平均粒径。具体地讲，从倍率100～400万倍的TEM像或者STEM像中，将粒子数即使较少地估计也有10个以上的任意的像作为图像信息获取到计算机中。接着，通过将该图像信息进行图像处理，抽取出各个球状结构的轮廓。接着，每两度就测定将球状结构的外周的2点连接、且通过重心的直径，测定它们的平均值作为球状结构的直径，从而求出平均粒径。再者，化合物X具有非晶结构，因此在通常的TEM像中容易变得不清楚。因此，当使用如高分辨率的能量色散X射线光谱法(EDX)、高角度散射环形暗场扫描透射显微镜法(HAADF-STEM)、电子能量损失谱法(EELS)那样的元素分离型的映射(mapping)观察时评价较容易。在实施方式涉及的磁记录介质中，通过Ag粒子和Ge粒界而改善间距(pitch)分散度，通过将该结构传达到垂直磁记录层，能够改善垂直磁记录层的磁性粒子的间距。进而，通过使化合物X分布于Ag粒子内和Ge粒界这两者中，能够防止Ag、Ge的析出并改善耐腐蚀性。由此，根据实施方式，能够提供耐腐蚀性好、且垂直磁记录层的磁性粒子的间距方差小的磁记录介质。化合物X可优选地从Al、Ti、Cr、Si、Ta各元素的氧化物中选择。化合物X相对于AgGe-X的添加量可设为2mol％以上15mol％以下。作为在实施方式中能够使用的基板，可举出例如玻璃基板、Al系合金基板、陶瓷基板、碳基板、具有氧化表面的Si单晶基板等。作为玻璃基板，可举出非晶玻璃和结晶化玻璃。作为非晶玻璃，可举出通用的碱石灰玻璃(sodalimeglass)、硅酸铝玻璃(aluminosilicateglass)。作为结晶化玻璃，可举出锂系结晶化玻璃。作为陶瓷基板，可举出通用的以氧化铝、氮化铝、氮化硅等为主成分的烧结体、和这些物质的纤维强化物等。作为基板，也可使用在上述的金属基板、非金属基板的表面使用镀覆法、溅射法形成了NiP层等薄膜的基板。作为向基板上形成薄膜的方法，不仅溅射，即使采用真空蒸镀、电解镀覆等也能够得到同样的效果。在实施方式中能够使用的取向控制层，为具有fcc结构的Ni合金或Ag合金。在实施方式中能够使用的磁记录介质，以FePt或者CoPt为主成分。另外，优选使用相对于基板在垂直方向上具有磁各向异性的垂直磁记录层。当使用垂直磁记录层时，在进行了高密度化的情况下，出自记录点的外部磁场在保持周围的记录点的信号的方向上作用，因此具有难以由于热摆(heatfluctuation)而信号消失、容易实现高密度化这样的倾向。磁记录层的厚度可为例如3～30nm，进而可为5～15nm。当为该范围时，能够制作适合于更高记录密度的磁记录再生装置。当磁记录层的厚度小于3nm时，有再生输出过低、噪声成分变高的倾向。当磁记录层的厚度超过30nm时，有再生输出过高、使波形失真的倾向。磁记录层也可为二层以上的层叠膜，此时，可使层叠的合计厚度为上述的范围内。磁记录层的矫顽力可设为237000A/m(3000Oe)以上。当矫顽力小于237000A/m(3000Oe)时，有耐热摆性差的倾向。磁记录层的垂直矩形比优选为0.8以上。当垂直矩形比小于0.8时，有耐热摆性差的倾向。在为使用了Co的颗粒型记录层的情况下，磁记录层的Pt含量优选为10原子％以上25原子％以下。作为Pt含量优选为上述范围是因为，能够得到磁记录层所需的单轴结晶磁各向异性定数(Ku)，而且磁性粒子的结晶取向性良好，作为结果能够得到适合于高密度记录的热摆特性、记录再生特性。不论是Pt含量超过上述范围的情况还是小于上述范围的情况，都存在不能得到在适合于高密度记录的热摆特性方面较充分的Ku的倾向。在非磁性基板与取向控制层之间，可进一步从非磁性基板开始顺序地设置密着(密合)层、软磁性基底层(SUL)以及非磁性分断层等。密着层是为了提高与基板的密着性而设置的。作为密着层的材料，能够使用具有非晶质结构的、Ti、Ta、W、Cr、Pt、含有它们的合金、或者它们的氧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁记录介质，其特征在于，具备：基板；取向控制层，其设置于该基板上，由镍合金或银合金构成；非磁性种子层，其与该取向控制层接触而设置；和垂直磁记录层，其以铁或钴、和铂为主成分，所述非磁性种子层由银粒子、锗粒界和化合物X构成，所述化合物X选自铝、钛、铬、硅、钽各元素的氧化物、氮化物和碳化物，并且分布于所述银粒子和所述锗粒界这两者中。

【技术特征摘要】
2015.10.22 JP 2015-2077941.一种磁记录介质，其特征在于，具备：基板；取向控制层，其设置于该基板上，由镍合金或银合金构成；非磁性种子层，其与该取向控制层接触而设置；和垂直磁记录层，其以铁或钴、和铂为主成分，所述非磁性种子层由银粒子、锗粒界和化合物X构成，所述化合物X选自铝、钛、铬、硅、钽各元素的氧化物、氮化物和碳化物，并且分布于...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩崎刚之，藤本明，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：日本;JP