基板搬运手和基板搬运机器人制造技术

基板搬运手和基板搬运机器人。在根据本发明专利技术的基板搬运手中，第三载置部用于与第一载置部一起支撑在第一载置部上载置的第一基板，同时第四载置部可移动地设置在手主体部上，当其移动到手主体部的第一位置时，与第二载置部一起支撑在第二载置部上载置的第二基板，从而基板搬运手能够利用在不移动手主体部本身而仅相对于手主体部移动设置在其上的第四载置部的简单结构中的不同的载置部支撑基板。因此，根据该简单结构，基板搬运手能够通过恰当地使用不同的载置部来支撑基板。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基板搬运手和基板搬运机器人，更具体地，涉及分别包括能够在其上载置基板的多个载置部的基板搬运手和基板搬运机器人。
技术介绍
包括能够在其上载置基板的多个载置部的基板搬运手是很常见的。日本专利特许公开2001-274232公开了一种基板搬运手，其包括一对臂部(手主体部)和设置在所述一对臂部中的每个臂部上的多个晶片支撑部件。该基板搬运手形成为使得该一对臂部能够在相互靠近和远离的方向上移动。各个晶片支撑部件被形成为台阶状，使得能够在分别设置于其上下台阶处的第一把持部和第二把持部(载置部)上载置基板。为了在设置于上台阶处的第一把持部上载置相应的基板，基板搬运手通过移动该一对臂部来控制臂部之间的间隔，而调整晶片支撑部件的位置，以使基板的一端与第一把持部接触。为了在设置于下台阶处的第二把持部上载置相应的基板，基板搬运手通过移动该一对臂部来控制臂部之间的间隔，而进一步调整晶片支撑部件的位置，以使基板的一端与第二把持部接触。这样，基板搬运手利用两个不同的把持部(载置部)能够将基板支撑在不同的位置。尽管日本专利特许公开2001-274232中描述的基板搬运手能够利用两个不同的把持部(载置部)来支撑基板，但是为了利用不同的把持部来支撑基板，必须通过移动一对臂部(手主体部)来控制臂部之间的间隔。因此，其不利之处在于为了恰当地使用不同的把持部(载置部)来支撑基板，基板搬运手需要采用大型的结构。
技术实现思路
本专利技术旨在解决上述问题，并且本专利技术的目的是提供一种能够通过恰当地使用不同的载置部来支撑基板的基板搬运手，以及包括该基板搬运手的基板搬运机器人。为了实现上述目的，根据本专利技术第一方面的基板搬运手包括手主体部；第一载置部和第二载置部，所述第一载置部和所述第二载置部能够分别在其上载置第一基板和第二基板；第三载置部，其与所述第一载置部一起支撑在所述第一载置部上载置的所述第一基板；以及可移动地设置在所述手主体部上的第四载置部，其在移动到所述手主体部的第一位置时，与所述第二载置部一起支撑在所述第二载置部上载置的所述第二基板。在根据本专利技术第一方面的基板搬运手中，如上所述，第三载置部用于与第一载置部一起支撑在第一载置部上载置的第一基板，同时第四载置部可移动地设置在手主体部上，当其移动到手主体部的第一位置时，与第二载置部一起支撑在第二载置部上载置的第二基板，从而基板搬运手能够利用在不移动手主体部本身而仅相对于手主体部移动设置在其上的第四载置部的简单结构中的不同的载置部来支撑基板。因此，根据该简单结构，基板搬运手能够通过恰当地使用不同载置部来支撑基板。根据本专利技术第二方面的基板搬运机器人包括基板搬运手；以及控制部，其控制所述基板搬运手，其中所述基板搬运手包括手主体部；第一载置部和第二载置部，所述第一载置部和所述第二载置部能够分别在其上载置第一基板和第二基板；第三载置部，其与所述第一载置部一起支撑在所述第一载置部上载置的所述第一基板；以及可移动地设置在所述手主体部上的第四载置部，其在移动到所述手主体部的第一位置时，与所述第二载置部一起支撑在所述第二载置部上载置的所述第二基板。在根据本专利技术第二方面的基板搬运机器人中，如上所述，第三载置部用于与第一载置部一起支撑在第一载置部上载置的第一基板，同时第四载置部可移动地设置在手主体部上，当其移动到手主体部的第一位置时，与第二载置部一起支撑在第二载置部上载置的第二基板，从而基板搬运手能够利用在不移动手主体部本身而仅相对于手主体部移动设置在其上的第四载置部的简单结构中的不同的载置部来支撑基板。因此，根据该简单结构， 基板搬运手能够通过恰当地使用不同载置部来支撑基板。在被用于将基板导入/导出处理装置时，基板搬运机器人例如能够搬运尚未经处理装置处理的未处理基板以及经过处理装置处理的处理后基板，并利用共用基板搬运手的不同载置部来支撑未处理基板和处理后基板，即使有异物附着到处理后基板或未处理基板也是如此。因此，采用共用基板搬运手的基板搬运机器人能够防止异物附着到未处理基板或处理后基板。通过以下结合附图对本专利技术进行的详细描述，本专利技术的上述和其它目的、特征、方面和优点将更加明确。附图说明图1是示出了包括根据本专利技术第一实施方式的基板搬运手的基板搬运机器人的整体结构的立体图；图2是示出了采用根据本专利技术第一实施方式的包括基板搬运手的基板搬运机器人的装置的整体结构的平面图；图3是示出了根据本专利技术第一实施方式的基板搬运手的立体图；图4是示出了将根据本专利技术第一实施方式的两个基板搬运手设置为平面地伸展状态的情况的立体图；图5是示出了利用根据本专利技术第一实施方式的各个基板搬运手的下载置部来载置基板的状态的平面图；图6是示出了利用根据本专利技术第一实施方式的各个基板搬运手的上载置部来支撑另一基板的状态的平面图；图7是示出了根据本专利技术第一实施方式的各个基板搬运手的上载置部和下载置部的侧视图；图8是示出了根据本专利技术第一实施方式的各个基板搬运手的后方可移动支撑部的载置部处于第二位置时的状态的侧视图；图9是示出了根据本专利技术第一实施方式的各个基板搬运手的后方可移动支撑部的载置部处于第一位置时的状态的侧视图；图10是示出了根据本专利技术第二实施方式的基板搬运手的立体图；图11是示出了根据本专利技术第三实施方式的基板搬运手的后方可移动支撑部的载置部处于第二位置时的状态的侧视图；图12是示出了根据本专利技术第三实施方式的基板搬运手的后方可移动支撑部的载置部处于第一位置时的状态的侧视图；图13是示出了根据本专利技术第四实施方式的基板搬运手的上载置部和下载置部的截面图；图14是示出了根据本专利技术第四实施方式的基板搬运手的后方可移动支撑部的载置部处于第二位置时的状态的截面图；图15是示出了根据本专利技术第四实施方式的基板搬运手的后方可移动支撑部的载置部处于第一位置时的状态的截面图。具体实施例方式下面参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。(第一实施方式)首先，参照图1至9对包括根据本专利技术第一实施方式的基板搬运手5的基板搬运机器人100的结构进行说明。如图1所示，基板搬运机器人100是关节型机器人。更具体地说，基板搬运机器人 100包括基座部件1、支撑轴2、第一臂部3、第二臂部4、根据本专利技术第一实施方式的两个基板搬运手5以及控制基板搬运机器人100的各个部分的控制部6。基板搬运机器人100被形成为能够在半导体装置的制造过程中所采用的处理装置20和对应于根据SEMI (国际半导体设备与材料协会)标准的FOUP (前开式标准晶圆盒)的基板收纳盒30之间搬运基板 10。更详细地，基板搬运机器人100被形成为将经处理装置20处理后的处理后基板IOa从处理装置20搬运到基板收纳盒30，并且将尚未经处理装置20处理的未处理基板IOb从基板收纳盒30搬运到处理装置20。第二臂部4是本专利技术中“臂部”的一个示例。处理后基板 IOa和未处理基板IOb分别是本专利技术中“第一基板”和“第二基板”的示例。支撑轴2由基座部件1支撑。支撑轴2被形成为相对于基座部件1的上表面垂直地延伸。第一臂部3的第一端与支撑轴2的上端连接。第一臂部3被形成为可以在水平面内、在作为旋转轴的支撑轴2上转动。第二臂部4的第一端与第一臂部3的第二端连接。第二臂部4被形成为可以在水平面内、在作为旋转中心并与第一臂部3连接的第一端本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种基板搬运手，其包括：手主体部；第一载置部和第二载置部，所述第一载置部和所述第二载置部能够分别在其上载置第一基板和第二基板；第三载置部，其与所述第一载置部一起支撑在所述第一载置部上载置的所述第一基板；以及可移动地设置在所述手主体部上的第四载置部，其用于在移动到所述手主体部的第一位置时，与所述第二载置部一起支撑在所述第二载置部上载置的所述第二基板。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：古市昌稔，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：JP