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基板搬运手和基板搬运机器人。在根据本发明的基板搬运手中，第三载置部用于与第一载置部一起支撑在第一载置部上载置的第一基板，同时第四载置部可移动地设置在手主体部上，当其移动到手主体部的第一位置时，与第二载置部一起支撑在第二载置部上载置的第二基板...
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