【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种电磁阀自清洗装置，特别是涉及一种化学气相沉积尾气排放电磁阀自清 洗装置。
技术介绍
电磁阀是利用当电能流经线圈产生电磁吸引力通过克服弹簧或自身重力将阀芯吸引，从 而实现阀中通道的切断或联通，常用于切断油、水、气等物质的流通，配合压力、温度传感 器等电气设备实现自动控制。电磁阀大体可以分为直动式电磁阀、分布直动式电磁阀和先导 式电磁阀。由于电磁阀的原理简单容易制造而且使用方便，电磁阀已经广泛地应用在生产的 各个领域。当电磁阀应用于化学气相沉积的设备中时，它的作用是当通过电流时，使线圈产 生电磁力，克服弹簧的弹力使阓芯开启，从而使气体流通，当电流关闭时，弹簧的弹力使阀 芯关闭，阻隔气体流通。 一般电磁阀对介质的清洁度要求较高，而在化学气相沉积过程中会 产生很多杂质，例如在某些实验过程中的SiCl,,硅烷及其分解产生的HC1等，这些杂质会吸 附或沉积于阀体的内表面或弹簧上，使电磁阀内覆有污染物，从而影响电磁阀的正常工作。 电磁阀每工作50个小时就应该进行清洗，所以应该通过一种有效、方便的手段定期对电磁阀 进行清洗。现阶段对电磁阀的清洗主要是手工开拆电...
【技术保护点】
一种化学气相沉积炉尾气排放电磁阀自清洗装置，其特征在于电磁阀的阀体上表面、下表面各开１个孔，外接真空阀门，在出气管道端加装高真空蝶阀。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈照峰，王世明，万水成，王亮兵，方聃，承涵，吴王平，刘勇，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：实用新型
国别省市：84[中国|南京]
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