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本实用新型涉及一种化学气相沉积电磁阀自清洗装置，可将实验过程中残留在电磁阀中的污染物质无需打开电磁阀即可清除。其特征是在电磁阀的阀体上表面、下表面各开１个孔，外接真空阀门。在出气管道端加装高真空蝶阀。当电磁阀不工作时，通过上表面真空阀向电磁...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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