用于测试机械手的测试托盘制造技术

本发明专利技术公开了一种用于测试机械手的测试托盘。该测试托盘加载有半导体器件，然后沿着预定的循环路径携带这些半导体器件。测试托盘允许一个固定单元将多个相邻的插入模块固定到框架的容纳空间，从而与传统的测试托盘相比，有效地使用框架的空间，并允许在相同的面积中安装相对大量的插入模块。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种测试才几械手，更具体地讲，涉及这样一种测试托盘，该 测试托盘加载有半导体器件，然后在测试机械手中沿着预定的循环路径携带 这些半导体器件。
技术介绍
在半导体设备的领域中，测试机械手也称为自动测试设备，允许检测器 根据预定的测试过程测试半导体器件并将测试过的半导体器件分类，从而才是 供质量良好的半导体器件。测试机械手被构造为包括多个测试托盘，所述测 试托盘加载有半导体器件并且按照预定的循环在机械手中运动。虽然测试托盘在循环路径上运动，但是它们靠近(dock wkh)检测器使得检测器能够测 试半导体器件。每个测试托盘被构造成包括框架和插入模块，所述插入模块以矩阵形式 布置在框架上并加载有半导体器件。第10-2002-0030552号韩国专利公布和第 20-0389824号韩国技术登记中公开了测试托盘的功能、结构和形式，以 下将上述专利称为现有技术。图1是根据用于测试机械手的传统的测试托盘的插入模块和框架的分解 透视图。形状呈矩形的插入模块11相对于纵向轴L在其两端形成固定孔lla 和llb。框架12形成容纳空间Sl,插入模块11 ^:置在每个容纳空间上； 内螺紋孔12a和12b，在每个容纳空间Sl的对角上，所述内螺紋孔的位置与 插入模块11的固定孔lla和lib的位置对应。当螺钉13延伸穿过固定孔lla 和lib并且旋入内螺紋孔12a和12b中时，每个插入才莫块11净皮安置在容纳空 间Sl上并被固定到框架12上近来，随着对半导体器件的使用和需求的增多，半导体器件需要被快速 地测试，因此，检测器需要能够一次测试相对大量的半导体器件。但是，由 于传统的测试托盘按照插入模块沿着纵向在其两端利用螺钉被固定到框架上 的方式被构造，所以其结构上具有缺点，即会花费很大的用于对应的固定结构的空间。此外，由于传统的测试托盘使用两个固定单元(例如，螺钉)将一个插 入模块安装到框架上，所以使得部件数量和工作时间增加。
技术实现思路
因此，考虑到上述问题提出本专利技术，并且本专利技术的目的在于提供一种能 够利用 一个固定单元将多个相邻的插入模块固定到测试托盘的框架上的测试 机械手的测试托盘。本专利技术的另 一 目的在于提供一种具有以下结构的测试机械手的测试托盘，所述结构为插入模块的至少两点应当被固定到测试托盘的框架上，其中，插入模块的一点通过固定单元被固定到框架上，另一点在结构上被结合 并固定到框架上。本专利技术的另一目的在于提供一种能够适当地将插入模块引导并安置在测试托盘的框架上的测试^L械手的测试托盘。根据本专利技术的一方面，通过提供一种用于测试机械手的测试托盘来实现上述和其它目的，所述测试托盘包括框架，形成以矩阵形式排列的容纳空 间；多个插入模块，被分别容纳在所述容纳空间中；多个固定单元，所述多 个固定单元的每个固定单元将两个或者更多的插入模块固定到框架上。这里， 框架形成多个分离防止突起，所述多个分离防止突起的每个分离防止突起防 止插入模块在特定距离处的位置分离，其中，所述位置与两个或者更多的插 入模块相邻的位置隔开。优选地，所述框架还形成多个内螺紋孔，所述多个内螺紋孔的每个内螺 紋孔位于两个或者更多的插入4莫块相邻的位置处。所述固定单元包括旋入所 述内螺紋孔中的外螺紋部分和其直径比外螺紋部分的直径大的螺钉头。这里， 所述螺钉头具有覆盖两个或者更多的插入模块相邻部分的一部分的直径。优选地，所述框架具有多个延伸宽度部分，多个内螺紋孔分别形成在所 述多个延伸宽度部分上。优选地，至少一个固定单元将以2x2矩阵形式排列的四个相邻的插入模 块固定到框架上。优选地，每个容纳空间容纳两个相邻的插入模块。优选地，所述框架还形成用于安全地引导插入模块的多个引导凹槽，每5个插入模块形成沿着引导凹槽被引导的引导突起。根据本专利技术的另一方面，提供了一种用于测试机械手的测试托盘，所述测试托盘包括框架，形成以矩阵形式排列的容纳空间；多个插入模块，净皮分别容纳在所述容纳空间中；多个固定单元，所述多个固定单元的每个固定单元将插入模块的第一部分固定到框架上。这里，框架和/或所述插入模块具有多个分离防止结构，以防止插入模块的第二部分分离，其中，所述第二部 分与第 一部分隔开特定距离。优选地，所述分离防止结构包括形成在框架中用于防止所述插入模块的 第二部分分离的分离防止突起。优选地，第 一部分和第二部分呈对角线地位于所述插入才莫块的角落处。 根据本专利技术的另一方面，提供一种用于测试机械手的测试托盘，所述测 试托盘包括框架，形成以矩阵形式排列的容纳空间；多个插入模块，被分 别容纳在所述容纳空间中；多个固定单元，用于将所述多个插入模块固定到 框架上。这里，所述框架和/或插入模块具有用于安全地且谨慎地引导插入模 块的引导结构。优选地，所述引导结构包括引导凹槽，形成在框架中，用于安全地引 导所述插入模块；引导突起，形成在所述插入模块中，用于沿着所述引导凹 槽被引导。附图说明通过下面结合附图进行的详细描述，本专利技术的上述和其它目的、特点和 其它优点将被更加清楚地理解，其中'图1是根据用于测试机械手的传统的测试托盘的插入模块和框架的分解 透视图2是根据本专利技术实施例的用于测试机械手的测试托盘的一部分的分解 透视图3是示出适于图2的测试托盘的框架的平面图； 图4是示出适于图2的测试托盘的插入模块的透视图； 图5是示出插入模块容纳在图2的测试托盘的框架中的状态的局部放大 平面图。具体实施例方式将参照附图详细描述#>据本专利技术的测试^U成手的测试托盘的优选实施例。图2是根据本专利技术实施例的用于测试机械手的测试托盘的一部分的分解透视图。参照图2,测试托盘TT被构造为包括框架20、多个插入模块30和螺钉40。如图3整体所示，框架20包括外体21，形状呈矩形，限定了框架20 的外围；纵向中间粱22，在横向上以特定间隔彼此隔开，并沿着纵向结合到 外体21上；横向中间粱23,在纵向上以预定间隔彼此隔开，并沿着橫向结 合到外体21上。应该理解，如此命名框架20的外体21、纵向中间粱22和 横向中间粱23是为了便于描述。根据本专利技术的实施例，外体21、纵向中间 粱22和横向中间粱23—体地形成框架20，或者单独形成，然后装配以形成 框架20。框架20由于外体21、纵向中间粱22和横向中间粱23而形成得l象 格子。这样，框架20形成以矩阵形式排列的容纳空间S2，插入模块30放置 在所述容纳空间S2上。如图3所示，框架20具有呈16x8矩阵形式的容纳空间S2。每个容纳空 间S2的形状为矩形，其中，矩阵的宽度是矩阵的长度的近似两倍，并且沿着 框架20的一黄向平4亍地容纳两个插入才莫块30,如图2所示。参照图2,在两个相邻的容纳空间S2之间的横向中间粱23按照以下方 式形成，横向中间粱23的宽度在横向中间粱23遇到中线C的位置突出地延 伸到两侧，所述中线C将各个的容纳空间S2的宽度平分。因此，每个容纳 空间S2由两个子容纳空间构成，在两个子容纳空间之间的相邻壁部分地敞 开。并且，内螺紋孔23a竖直地形成在突出的延伸部分W上。相对于传统的 粱，橫向中间粱23以减小其厚度的方式形成，但仅在用于固定插入模块30 的部分增加厚度。因此，根据本专利技术的框架20能够有效地使用其空间，并允 许插入模块30被适当本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测试机械手的测试托盘，包括：　框架，形成以矩阵形式排列的容纳空间；　多个插入模块，被分别容纳在所述容纳空间中；　多个固定单元，所述多个固定单元的每个固定单元将两个或者更多的插入模块固定到框架上，　其中，框架形 成多个分离防止突起，所述多个分离防止突起的每个分离防止突起防止插入模块在特定距离处的位置分离，其中，所述位置与所述两个或者更多的插入模块相邻的位置隔开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈裁均，罗闰成，全寅九，具泰兴，黄正佑，
申请(专利权)人：泰克元有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]