【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种机械手测试平台,属于半导体设备制造领域。
技术介绍
机械手是半导体设备上非常关键的部件,它的精度会决定传片的重复性和可靠性。半导体设备在装调时,经常发现机械手在运行过程中重复性和可靠性有问题,因此在安装机械手之前必须对机械手精度进行测试(X、Y、Z方向),以保证机械手安装、运行稳定,精度可以重复。
技术实现思路
针对上述现有技术的不足,本技术提供了一种机械手测试平台,该测试平台操作简单,并且保证了机械手安装、运行稳定,精度可以重复。为实现上述目的,本技术采用如下技术方案:一种机械手测试平台,包括平台、平台支架、滑轨、滑动轮、移动支架、竖支架、滑轮、机械手安装孔、机械手、移动支架上滑轨及竖支架滑轮;所述平台底端安装平台支架,平台支架各脚部设有滑动轮,所述平台两侧设有滑轨,与所述移动支架两侧设置的滑轮相匹配安装,所述移动支架上还设有移动支架上滑轨,所述竖支架底端设有
竖支架滑轮,竖支架滑轮与移动支架上滑轨匹配安装,竖支架通过所述竖支架滑轮在所述移动支架上水平移动或固定,所述平台上设有机械手安装孔,机械手安装在机械手安装孔内。进一步地,所述机械手数量为两个。进一步地,所述滑动轮为万向轮。进一步地,所述竖支架可在竖直方向上伸缩。本技术的有益效果本技术结构紧凑合理,操作简单,保证了机械手安装、运行稳定,精度可以重复。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人 ...
【技术保护点】
一种机械手测试平台,其特征在于,该测试平台包括平台、平台支架、滑轨、滑动轮、移动支架、竖支架、滑轮、机械手安装孔、机械手、移动支架上滑轨及竖支架滑轮;所述平台底端安装平台支架,平台支架各脚部设有滑动轮,所述平台两侧设有滑轨,与所述移动支架两侧设置的滑轮相匹配安装,所述移动支架上还设有移动支架上滑轨,所述竖支架底端设有竖支架滑轮,竖支架滑轮与移动支架上滑轨匹配安装,竖支架通过所述竖支架滑轮在所述移动支架上水平移动或固定,所述平台上设有机械手安装孔,机械手安装在机械手安装孔内。
【技术特征摘要】
1.一种机械手测试平台,其特征在于,该测试平台包括平台、平台支架、滑轨、滑动轮、移动支架、竖支架、滑轮、机械手安装孔、机械手、移动支架上滑轨及竖支架滑轮;所述平台底端安装平台支架,平台支架各脚部设有滑动轮,所述平台两侧设有滑轨,与所述移动支架两侧设置的滑轮相匹配安装,所述移动支架上还设有移动支架上滑轨,所述竖支架底端设有竖支架滑轮,竖支架滑轮与移动支架上滑...
【专利技术属性】
技术研发人员:续震,
申请(专利权)人:沈阳拓荆科技有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁;21
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