【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于集成电路制造的烤箱。
技术介绍
现有的用于集成电路制造的烤箱通常只具有一个温控器和一个定时器，在对集成 电路进行烘烤时，只能实现一段式烘烤，及只能设定一个烘烤温度及一个烘烤时间，当烤箱 达到所设的的烘烤温度时，定时器开始计时，当达到所设定的烘烤时间后，烤箱停止工作， 完成一段式烘烤。而有些集成电路产品要求具有更高的稳定性，此时，就需要对该集成电路进行二 段式烘烤，即当恒定在一个温度点进行一段时间烘烤后，通过升降温作业再进入第二个温 度点进行一段时间的烘烤，然后才关闭加热器执行降温作业直到室温。此类经过二段式烘 烤的产品稳定性更高，可以在更为严苟作业条件下工作。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种可以实现二段式烘烤的用于集成电路制造的烤箱。为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是一种用于集成电路制造的烤箱，包括箱体、控制所述的烤箱的烘烤过程的控制装置，所 述的控制装置包括控制第一烘烤温度的第一温控器、控制第一烘烤时间的第一定时器，所 述的控制装置还包括控制第二烘烤温度的第二温控器、控制第二烘烤时间的第二定时器； 所述的用于集成电路制造的烤箱在使用时，所述的第一温控器感应到达到所述的第一烘烤 温度时，所述的第一定时器开始计时，当达到所述的第一烘烤时间后，所述的用于集成电路 制造的烤箱经过升温或降温的过程，当所述的第二温控器感应到达到所述的第二烘烤温度 时，所述的第二定时器开始计时，当达到所述的第二烘烤时间后，所述的烘烤过程结束。由于上述技术方案运用，本专利技术与现有技术相比具有下列优点由于本专利技术的用于集成电路制造的烤箱具有两个...
【技术保护点】
一种用于集成电路制造的烤箱，包括箱体、控制所述的烤箱的烘烤过程的控制装置，所述的控制装置包括控制第一烘烤温度的第一温控器、控制第一烘烤时间的第一定时器，其特征在于：所述的控制装置还包括控制第二烘烤温度的第二温控器、控制第二烘烤时间的第二定时器；所述的用于集成电路制造的烤箱在使用时，所述的第一温控器感应到达到所述的第一烘烤温度时，所述的第一定时器开始计时，当达到所述的第一烘烤时间后，所述的用于集成电路制造的烤箱经过升温或降温的过程，当所述的第二温控器感应到达到所述的第二烘烤温度时，所述的第二定时器开始计时，当达到所述的第二烘烤时间后，所述的烘烤过程结束。
【技术特征摘要】
1. 一种用于集成电路制造的烤箱，包括箱体、控制所述的烤箱的烘烤过程的控制装置， 所述的控制装置包括控制第一烘烤温度的第一温控器、控制第一烘烤时间的第一定时器， 其特征在于所述的控制装置还包括控制第二烘烤温度的第二温控器、控制第二烘烤时间 的第二定时器；所述的用于集成电路制造的烤箱在使用...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈国平，
申请(专利权)人：吴江巨丰电子有限公司，
类型：发明
国别省市：32
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