【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种加热电极，特别是一种多晶硅氢化炉的水冷电极。
技术介绍
利用近年来，光伏产业迅猛发展，多晶硅需求量剧增。多晶硅核心设备氢化炉的生产工艺条件非常苛刻，四氯化硅需要在1200°C以上的高温下进行反应。如此高的温度，对设备的安全性和稳定性提出了很高的要求。由于氢化炉电极电压高，布置紧密，电极与电极之间距离近，极易产生安全问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种多晶硅氢化炉水冷电极，用于克服上述氢化炉因电极电压高，电极与电极之间距离近而容易出现的不安全问题。 本技术中的多晶硅氢化炉水冷电极包括有加热棒、石墨头、电极棒、内插水管、电源夹板、冷却水进口接头、冷却水出口接头。其中所述加热棒设置在石墨头上端，所述石墨头设置在所述电极棒上端，所述电源夹板夹置在所述电极棒上，所述内插水管与所述冷却水进口接头组合后从所述电极棒的下端插入所述电极棒中心的空腔，并延伸至空腔上方，所述冷却水进口接头与所述电极棒的下端密封连接，所述冷却水出口接头设置在所述冷却水进口接头的一侧，与所述电极棒与所述内插水管外壁之间的空腔连通。 本技术中的多晶硅氢化炉水冷电极具有冷却效果好，密封性强，结构简单，占用空间小，操作简便的优点，能有效防止电路短路和拉弧，保证了电极长期可靠安全工作。附图说明图1是本技术中多晶硅氢化炉水冷电极的结构示意图。 图中 1加热棒 2石墨头3电极棒 4内插水管5电源夹板 6冷却水进口接头 7冷却水出口接头具体实施方式下面将结合附图对本技术中的具体实施例作进一步详细说明。 如图1所示，本技术中的多晶硅氢化炉水冷电极包括有加热棒1、石墨头2、电极棒3、内插水管4、...
【技术保护点】
一种多晶硅氢化炉水冷电极，包括有加热棒（１）、石墨头（２）、电极棒（３）、内插水管（４）、电源夹板（５）、冷却水进口接头（６）、冷却水出口接头（７），其特征在于，所述加热棒（１）设置在石墨头（２）上端，所述石墨头（２）设置在所述电极棒（３）上端，所述电源夹板（５）夹置在所述电极棒（３）上，所述内插水管（４）与所述冷却水进口接头（６）组合后从所述电极棒（３）的下端插入所述电极棒（３）中心的空腔，并延伸至空腔上方，所述冷却水进口接头（６）与所述电极棒（３）的下端密封连接，所述冷却水出口接头（７）设置在所述冷却水进口接头（６）的一侧，与所述电极棒（３）与所述内插水管（４）外壁之间的空腔连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周积卫，李东曦，陈杰，王希刚，
申请(专利权)人：上海森松新能源设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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