【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产中的配套设备，具体涉及一种多晶硅氢化炉。
技术介绍
现有的多晶硅氢化炉(即将四氯化硅转为三氯氢硅转化炉)多采用单喷头加料方 式(将氢气四氯化硅以一定比例混合后由一根喷头进入氢化炉)，这种单喷头加料方式往 往会造成进料扩散面积小，使得加热碳棒加热不均勻不充分，从而导致收率较低。
技术实现思路
鉴于上述不足之处，本技术的目的在于提供一种结构简单，进料均勻扩散能 使加热碳棒加热均勻而充分，且氢化转化率大大提高收率也大大提高的多晶硅氢化炉。为了达到上述目的，本技术采取了以下技术方案一种多晶硅还原炉，包括有 炉罩、底盘、加热碳棒、进料管和出料管，其中所述炉罩安装在底盘上，底盘上安装有至少 三组的加热碳棒，所述炉罩内还设有进料管相连通的喷头，且喷头至少为三个呈并列分布 在进料管上，所述出料管安装在底盘上。本技术的有益效果在于采用多喷头进料方式，使得进料充分扩散，再配合多 组加热碳棒，使得加热均勻而充分，大大提高氢化转化率。附图说明图1本技术结构示意图图中1.炉罩；2.底盘；3.加热碳棒；4.进料管；5.出料管；6.喷头。具体实施方式下面我们将结合附图对本技术做进一步的说明如图1所示，一种多晶硅还原炉，包括有炉罩1、底盘2、加热碳棒3、进料管4和出 料管5，其中，炉罩1安装在底盘2上，底盘2上安装有至少三组的加热碳棒3，炉罩1内还 设有进料管4相连通的喷头6，且喷头6至少为三个呈并列分布在进料管4上，这样便于由 喷头6进入炉内的进料能充分的扩散开米，从而与加热碳棒3有充分的接触面，使得加热更 加均勻而充分。出料管5安装在底盘上。权利要求一种多晶硅氢化炉，...
【技术保护点】
一种多晶硅氢化炉，包括有炉罩（１）、底盘（２）、加热碳棒（３）、进料管（４）和出料管（５），其特征在于：所述炉罩（１）安装在底盘（２）上，底盘（２）上安装有至少三组的加热碳棒（３），所述炉罩（１）内还设有与进料管（４）相连通的喷头（６），且喷头（６）至少为三个呈并列分布在进料管（４）上，所述出料管（５）安装在底盘（２）上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵振元，王明云，刘胜春，蒋玉梅，余文，罗明树，朱德江，
申请(专利权)人：信息产业电子第十一设计研究院有限公司，
类型：实用新型
国别省市：90[中国|成都]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。