【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种冷却装置,尤其是涉及一种多晶硅还原炉壳体气体冷却装置。二、
技术介绍
多晶硅还原炉主要由底盘、含夹套冷却介质的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进 水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组成。炉体主体采用不锈钢材质制成, 以减少设备材质对产品的污染。在操作过程中炉内产生大量热量,炉体温度可达9ocrc左右,这是奥氏体不锈钢难以承受的。因此壳体能否被充分冷却至合适的温度直接影响多晶硅还原炉的正常使用和多晶硅生产系统的安全运行。现有 的冷却方法主要是依靠导热油在内筒与夹套之间流动带走热量,这种方法的缺 点是当由于各种原因导热油局部流通不畅时就会产生局部高温使导热油汽化甚 至积炭,堵塞油通道而导致壳体温度失控,严重时甚至发生壳体材料局部碳化、 渗油,从而污染整个操作系统。三、
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供--种设计 新颖、结构合理、冷却效果好且安全可靠的多晶硅还原炉壳体气体冷却装置。本技术的技术方案是 一种多晶硅还原炉壳体气体冷却装置,含有夹套式壳体,所述夹套式壳体的 上端设置有封头,所述夹套式壳体的夹套外壁上设置有气体分布腔,所述气体 分布腔与进气管连通,被所述气体分布腔覆盖的所述夹套的外壁上设置一定数 量的通气孔,便于气体从气体分布腔进入所述夹套中,所述夹套与排气管连通, 便于所述夹套中的气体排出。所述夹套式壳体的夹套外壁上设置有一个从上到下的纵向通道,该纵向通 道的两端封闭,并且其下端与进气管连通,所述气体分布腔为多个且环形设置 在所述夹套外壁上,每一所述气体分布腔均设 ...
【技术保护点】
一种多晶硅还原炉壳体气体冷却装置,含有夹套式壳体,所述夹套式壳体的上端设置有封头,其特征是:所述夹套式壳体的夹套外壁上设置有气体分布腔,所述气体分布腔与进气管连通,被所述气体分布腔覆盖的所述夹套的外壁上设置一定数量的通气孔,所述夹套与排气管连通。
【技术特征摘要】
1、一种多晶硅还原炉壳体气体冷却装置,含有夹套式壳体,所述夹套式壳体的上端设置有封头,其特征是所述夹套式壳体的夹套外壁上设置有气体分布腔,所述气体分布腔与进气管连通,被所述气体分布腔覆盖的所述夹套的外壁上设置一定数量的通气孔,所述夹套与排气管连通。2、 根据权利要求l所述的多晶硅还原炉壳体气体冷却装置,其特征是所 述夹套式壳体的夹套外壁上设置有一个从上到下的纵向通道,该纵向通道的两 端封闭,并且其下端与进气管连通,所述气体分布腔为...
【专利技术属性】
技术研发人员:林亮亮,赵双喜,雷威跃,薛爱芳,李开英,赵闽,
申请(专利权)人:三门峡化工机械有限公司,
类型:实用新型
国别省市:41[中国|河南]
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