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本实用新型公开了一种多晶硅氢化炉水冷电极，其包括有加热棒、石墨头、电极棒、内插水管、电源夹板、冷却水进口接头、冷却水出口接头。其中所述加热棒设置在石墨头上端，所述石墨头设置在所述电极棒上端，所述电源夹板夹置在所述电极棒上，所述内插水管与所述...
该专利属于上海森松新能源设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海森松新能源设备有限公司授权不得商用。

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