【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于对半导体晶片等被处理体实施处理的处理装置、 处理方法、被处理体的识别方法和存储介质。
技术介绍
近来，对应于半导体器件的高速化、配线图案的微细化、高集成 化的要求，寻求器件特性的提高，为了应对这一状况，使用能够不破 坏真空地实施多个处理的多腔室型的处理装置(例如日本特开2003-59861号公报)多腔室型的处理装置是在呈多边形的搬送室的各边通过闸阀连接 多个处理单元而构成的。各处理腔室，通过使对应的闸阀开放而与搬 送室连通，通过使对应的闸阀关闭而与搬送室隔断。在搬送室内，设 置有相对于多个处理单元进行半导体晶片的搬入搬出的搬送装置，在 将搬送室和各处理室保持为真空的状态下，不破坏真空地通过搬送装 置进行向各处理单元的半导体晶片的搬入/搬出。搬送装置被配置在搬 送室的大致中央，使用在能够旋转和伸缩的旋转/伸縮部的前端具有支承半导体晶片的支承臂的装置。在将半导体晶片搬入处理单元时，将支承在搬送装置的支承臂上的半导体晶片移动到搬送室内的处理单元的入口附近的规定位置，从 这里开始将支承臂插入处理单元内，将半导体晶片交接到处理板上。 在该情况下，如图1所示，在搬送室中，半导体晶片以被支承在支承 臂的规定位置的状态被搬入到处理单元内的规定的处理板上。但是，半导体晶片由于先前的处理单元中的交接、支承臂上的滑动等，存在相对于支承臂发生位置偏移的情况，或者存在支承臂本身 的位置发生偏移的情况。在该情况下，如图1中的假设线所示，存在 下述情况在即将插入处理单元之前应该定位于搬送室的规定位置的 半导体晶片的位置发生偏移，当将半导体晶片保持该状态搬入处理单元内...
【技术保护点】
一种处理装置，其特征在于，包括： 至少一个处理单元； 具有将圆形的被处理体搬入搬出所述处理单元的搬送装置的搬送室； 摄像元件，在所述搬送装置的支承臂以支承有被处理体的状态位于所述处理单元的入口附近的规定位置时，该摄像元件对 被处理体的外周的圆弧形状进行摄像，检测其多个部位的位置数据； 运算部，其根据被处理体的圆弧形状的多个部位的位置数据，求取被处理体的假想圆，计算该圆的中心坐标，计算相对于搬送装置的被处理体的位置偏移信息；和 控制部，其接受由所述运 算部计算出的位置偏移信息，基于该位置偏移信息控制所述搬送装置，使得对被处理体进行位置修正，并将被处理体搬入到所述处理单元内的规定位置。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2007-5-8 123265/2007;JP 2008-1-24 013900/20081.一种处理装置，其特征在于，包括至少一个处理单元；具有将圆形的被处理体搬入搬出所述处理单元的搬送装置的搬送室；摄像元件，在所述搬送装置的支承臂以支承有被处理体的状态位于所述处理单元的入口附近的规定位置时，该摄像元件对被处理体的外周的圆弧形状进行摄像，检测其多个部位的位置数据；运算部，其根据被处理体的圆弧形状的多个部位的位置数据，求取被处理体的假想圆，计算该圆的中心坐标，计算相对于搬送装置的被处理体的位置偏移信息；和控制部，其接受由所述运算部计算出的位置偏移信息，基于该位置偏移信息控制所述搬送装置，使得对被处理体进行位置修正，并将被处理体搬入到所述处理单元内的规定位置。2. 根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于 具有2个所述处理单元，该2个处理单元相邻设置， 所述摄像元件是在所述2个处理单元邻接的位置设置有1个， 在所述搬送装置的支承臂以支承有被处理体的状态位于一个处理单元的入口附近的规定位置时，所述摄像元件对被处理体的外周的圆 弧形状进行摄像，并且，在所述搬送装置的支承臂以支承有被处理体的状态位于相邻的另 一个处理单元的入口附近的规定位置时，所述摄像元件对被处理体的 外周的圆弧形状进行摄像。3. 根据权利要求l所述的处理装置，其特征在于-具有3个以上的所述处理单元，该3个以上的处理单元相互相邻所述摄像元件是在所述3个以上的处理单元邻接的位置设置有1在所述搬送装置的支承臂以支承有被处理体的状态位于一个处理 单元的入口附近的规定位置时，所述摄像元件对被处理体的外周的圆 弧形状进行摄像，并且，在所述搬送装置的支承臂以支承有被处理体的状态位于相邻的另 一个处理单元的入口附近的规定位置时，所述摄像元件对被处理体的 外周的圆弧形状进行摄像，在所述搬送装置的支承臂以支承有被处理体的状态位于进一步相 邻的又一个处理单元的入口附近的规定位置时，所述摄像元件对被处 理体的外周的圆弧形状进行摄像。4. 根据权利要求l所述的处理装置，其特征在于 以下述过程作为一次采样所述摄像元件对被处理体的外周的圆弧形状进行摄像，检测其多个部位的位置数据，所述运算部根据该多 个部位的位置数据求取被处理体的假想圆，并计算中心坐标， 并且执行多次采样。5. 根据权利要求l所述的处理装置，其特征在于-所述摄像元件对所述搬送装置的所述支承臂进行摄像， 所述运算部根据摄取的图像数据，判别在所述支承臂上是否载置有被处理体。6. 根据权利要求l所述的处理装置，其特征在于 所述摄像元件对所述搬送装置的所述支承臂进行摄像， 所述运算部计算该支承臂的校准数据。7. 根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于 根据由所述摄像元件摄取的图像判断被处理体的有无。8. 根据权利要求7所述的处理装置，其特征在于-所述控制部，在由所述摄像元件未识别到被处理体的边缘的情况下，首先，使所述摄像元件检测被处理体的有无，基于该检测结果掌握被处理体的偏移方向，并基于此驱动所述支承臂，使被处理体的边 缘进入所述摄像元件的检测范围内，使所述摄像元件对与该边缘对应 的圆弧形状进行摄像，求取被处理体的位置，接着，以使得与被处理 体的检测部分对称的部分进入摄像元件的检测范围内的方式驱动所述 支承臂，使该对称的部分进入所述摄像元件的检测范围内，使所述摄 像元件对与该边缘对应的圆弧形状进行摄像，求取被处理体的位置，将所述2个被处理体的位置进行比较，在两者在误差允许范围内一致 时，将求得的位置识别为被处理体的位置。9. 根据权利要求7所述的处理装置，其特征在于所述控制部，在由所述摄像元件识别到被处理体的边缘，但其存 在区域为不能够保证计测精度的区域的情况下，首先，在该位置使所 述摄像元件对与被处理体的边缘对应的圆弧形状进行摄像，求取被处 理体的位置，接着，驱动支承臂使得被处理体的边缘进入能够保证计 测精度的区域，在该位置使所述摄像元件对与被处理体的边缘对应的圆弧形状进行摄像，再次求取被处理体的位置，将所述2个被处理体 的位置进行比较，在两者在误差允许范围内一致时，将再次求得的位 置识别为被处理体的位置。10. —种处理装置的处理方法，所述处理装置包括至少一个处理 单元；具有将圆形的被处理体搬入搬出所述处理单元的搬送装置的搬 送室；和对被处理体的外周的圆弧形状进行摄像的摄像元件，该处理 方法的特征在于，包括在所述搬送装置的支承臂以支承有被处理体的状态位于所述处理 单元的入口附近的规定位置时，利用摄像元件对被处理体的外周的圆 弧形状进行摄像，检测其多个部位的位置数据的步骤；根据被处理体的圆弧形状的多个部位的位置数据，求取被处理体 的假想圆，计算其中心坐标，计算相对于搬送装置的被处理体的位置 偏移信息的步骤；和基于该位置偏移信息，控制所述搬送装置，使得对被处理体进行 位置修正并将被处理体搬入到所述处理单元内的规定位置的步骤。11. 根据权利要求10所述的处理方法，其特征在于 具有2个所述处理单元，该2个处理单元相邻设置，所述摄像元件，在所述2个处理单元邻接的位置设置有1个，该处理方法包括在所述搬送装置的支承臂以支承有被处理体的状态位于一个处理单元的入口附近的规定位置时，利用所述摄像元件 对被处理体的外周的圆弧形状进行摄像的步骤；禾口在所述搬送装置的支承臂以支承有被处理体的状态位于相邻的另 一个处理单元的入口附近的规定位置时，利用所述摄像元件对被处理 体的外周的圆弧形状进行摄像的步骤。12. 根据权利要求10所述的处理方法，其特征在于具有3个以上的所述处理单元，该3个以上的处理单元相互相邻 设置，所述摄像元件，在所述3个以上的处理单元邻接的位置设置有1 个，该处理方法包括在所述搬送装置的支承臂以支承有被处理体的状态位于一个处理单元的入口附近的规定位置时，利用所述摄像元件 对被处理体的外周的圆弧形状进行摄像的步骤；在所述搬送装置的支承臂以支承有被处理体的状态位于相邻的另 一个处理单元的入口附近的规定位置时，利用所述摄像元件对被处理 体的外周的圆弧形状进行摄像的步骤；和在所述搬送装置的支承臂以支承有被处理体的状态位于进一步相 邻的又一个处理单元的入口附近的规定位置时，利用所述摄像元件对 被处理体的外周的圆弧形状进行摄像的步骤。13. 根据权利要求10所述的处...
【专利技术属性】
技术研发人员：山口博史，广瀬胜人，池田岳，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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