本实用新型专利技术提供一种基板尺寸定位机构校准装置，具有一承载台，其用承载至少一基板；一线性滑轨，其装设于该承载台上；以及至少一对传感器，其装设于该线性滑轨上，该对传感器于该线性滑轨上移动，利用该对传感器来侦测该基板的尺寸。利用传感器来对传送入于承载台的基板进行尺寸确认的基板尺寸定位机构较准，实用性强，可推广利用，具有较大的市场潜力。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术属一种半导体制程的定位机构校准
，是对现有技术的改进，具 体涉及一种基板尺寸定位机构校准装置。
技术介绍
自动化一贯的生产流程成为现在制程技术上趋势，其优势除了可大幅度节省人力外， 更是一可在较高洁净度下运作的方式，能有效的提高生产率。在自动化生产流程中因为 极为依赖机械全自动化的运作，因此取代人工对料品规格判断的校准技术就扮演了极为 重要的角色，对料品规格的判定将决定整个后续制程如尺寸切割、微影曝光的失败与否。举液晶显示器制程为范例来说，生产投料模式为采TFT (薄膜晶体管)基板与CF (彩 色滤光片)基板混合投入的方式，并辅助以基板讯号控制定位机构，来对基板规格进行 判断，以对定位机构的冲程距离进行定位，如第1图所示，在理想状态下，由上游基板 尺寸讯号所接收的基板讯号判定基板10尺寸为"a"，而基板10实际的尺寸为"b", 当"b"与"a"相同时，定位机构12将恰可位基板10的周缘。但是当基板讯号与实际 基板相异时，往往所产生的后果将是定位机构动作点异常，而造成基板破片或者制程失 效。如图2所示，当基板讯号判定基板10尺寸为"a"，而基板10实际的尺寸为"b"， 当"b" 〉" a"相同时，定位机构12将前进距离过大，而导致定位机构12碰撞到基板 10边缘，而使得基板10边缘产生裂缝，而在后续制程中搬送基板10过程中产生破片。 或者如图3所示，当基板讯号判定基板10尺寸为"a"，而基板10实际的尺寸为"b", 而"b" <" a"相同时，定位机构12将前进距离不足，而导致基板10未能定位对准， 进行使得基板10偏移，造成后续显影曝光对准、滴下式注入法(0DF)过程与光学检测 等的失误。
技术实现思路
本技术的目的是避免上述现有技术中的不足之处而提供的一种基板尺寸定位机 构校准装置，该装置利用可线性移动的传感器来对传入于承载台上的基板进行尺寸侦测， 并与上游的基板尺寸讯号所产生的基板讯号进行核对，以决定是否驱动定位机构运作以 及定位机构移动的距离。本技术的另一目的在提供一种基板尺寸定位机构校准装置，其利用固定式的传 感器来对传入于承载台上的基板进行尺寸侦测，并与上游的基板尺寸讯号所产生的基板 讯号进行核对，以决定是否驱动定位机构运作以及定位机构移动的距离。本技术的再一 目的在提供一种基板尺寸定位机构校准装置，其能有效地避免定 位机构异常移动距离运作下，所可能引起的基板破片与基板未定位完成所导致的制程失 效与检测失误。本技术的又一 目的在提供一种基板尺寸定位机构校准装置，其能够通过设置不 同尺寸的间距的传感器或简易的修正传感器线性移动参数来解决随着基板投料尺寸种类 的增加，所造成的基板尺寸监控不易的情况。本技术的目的可通过下列措施来实现 一种基板尺寸定位机构校准装置，其包含有 一承载台，其用承载至少一基板； 一线性 滑轨，其装设于该承载台上；以及至少一对传感器，其装设于该线性滑轨上，该对传感 器于该线性滑轨上移动，利用该对传感器来侦测该基板的尺寸。上述所述线性滑轨可装设于承载台上方或是承载台下方。上述所述基板为玻璃基板、TFT基板、彩色滤光片。上述所述承载台可为一输送带装置。上述所述传感器为光纤传感器、CCD摄影机。上述所述还包含有一定位机构，其系用以定位该基板。一种基板尺寸定位机构校准装置，其包含有 一承载台，其用承载至少一基板；以 及至少二对传感器，其装设于该承载台上方或下方，且每一该对传感器以该承载台中心 为基准对称设置，每一该对传感器间距代表一基板尺寸，利用该些传感器的遮蔽状态， 来判断该基板之尺寸。上述所述该二对传感器包含有 一第一对传感器，其间距为1100厘米(mm);以及 一第二对传感器，其间距为1200厘米。上述所述基板为玻璃基板、TFT基板、彩色滤光片。上述所述承载台可为一输送带装置。上述所述传感器为光纤传感器、CCD摄影机。上述所述还包含还有一定位机构，其用以定位该基板。本技术相比现有技术具有如下优点由于本技术是对现有技术的改进，利用传感器来对传送入于承载台的基板进行尺寸确认的基板尺寸定位机构较准，实用性强，可推广利用，本技术具有较大的市场潜力。附图说明图1是现有技术基板定位机构的示意图。图2是现有技术基板定位机构在基板讯号所获知的基板尺寸小于实际基板尺寸时，所产生定位机构移动距离太过，而导致基板受到定位机构碰撞的示意图。图3是现有技术基板定位机构在基板讯号所获知的基板尺寸大于实际基板尺寸时，所产生的定位机构移动距离不足，而导致基板未定位的情况。图4是本技术的基板定位机构校准的一实施例示意图。图5是本技术的基板定位机构校准的另一实施例示意图。图6是利用本技术的基板定位机构校准进行校准运作时的步骤流程图。图7是利用本技术的可线性滑移的传感器对基板进行尺寸定义的具体实施例示意图。图8是利用本技术的可线性滑移的传感器对基板进行尺寸定义的另一具体实施例示 意图。图9是本技术的基板定位机构校准的另一种实施例示意图。图10是利用本技术的固定式传感器对基板进行尺寸定义的具体实施例示意图。图11是利用本技术的固定式传感器对基板进行尺寸定义的另一具体实施例示意图。图12是本技术的固定式传感器的另一种实施例示意图。以下是图号说明-10基板 12定位机构 20承载台22线性滑轨 24传感器 26基板30传感器 32传感器 34传感器实施方式本技术的精神所在是在原有机台内的用以承载基板的承载台的取放片范围内安 装适当数量的传感器，以利用传感器对基板尺寸的进行再次确认，而与基板讯号进行核 对，以确保定位机构的位移量，避免基板讯号与实际基板误差^f可能引起的基板损伤或 者是制程失效。此基板可以是玻璃基板、TFT基板或者彩色滤光片，承载台可为一输送带装置，而传感器可以是光纤传感器、CCD摄影机。接续，下列说明针对上述本技术的精神所提出的具体实施例说明，但须陈明的 是下列说明仅是为使熟悉该项技术更清楚、明白本技术，而并不能以此具体实施例 来作为本技术的权利范围的局限。请参阅图4，本技术之基板尺寸定位机构校准装置包含有一基板承载台20; — 线性滑轨22;以及一对传感器24,其系设置于线性滑轨22上且可于线性滑轨22上移动， 以侦测基板(图中未示)的尺寸。其中传感器的设置起始位置可以是较靠近承载台中心线的位置，而采相对由承载台 中心线往外移动，利用传感器所感测出的未遮蔽位置及遮蔽位置，获得基板的边缘，再 经由传感器移动距离，来推断出基板的尺寸，最后再由定位机构进行定位。或者传感器 的设置起始位置可以是较靠近承载台两侧缘的位置，而采相向由承载台的两侧往基板的 两侧外缘(也就是朝向承载台中心线)移动，利用传感器所感测出的未遮蔽位置及遮蔽 位置，设定为基板之边缘，再经由传感器移动距离，来推断出基板的尺寸，最后再由定 位机构进行定位。也可如图5所示，以单一传感器24测量方式，其传感器24的初始定位为线性滑轨 22上之一侧边的边缘处，运作系由传感器24自单一侧移动至另一侧，再依遮蔽位置起 始点算至遮蔽位置终点结束，藉此移动之距离运算出基板大小，最后再由定位机构进行 定位。接续，请参阅图6，其是本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基板尺寸定位机构校准装置，其特征在于：具有， 一承载台，其用承载至少一基板； 一线性滑轨，其装设于该承载台上；以及 至少一对传感器，其装设于该线性滑轨上，该对传感器于该线性滑轨上移动，利用该对传感器来侦测该基板的尺寸。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：余政杰，
申请(专利权)人：深超光电深圳有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。