一种玻璃基板清洗单元制造技术

本实用新型专利技术涉及N2退火炉及快速退火前清洗机喷嘴的安装、排布方式，提供一种玻璃基板清洗单元，包括与传送入腔室内的玻璃基板相对设置的主清洗喷嘴和副清洗喷嘴，所述主清洗喷嘴排布于腔室的前段，副清洗喷嘴排布于腔室的后段，副清洗喷嘴的喷射出口方向与玻璃基板的传送方向之间的夹角小于90度，本实用新型专利技术采用主清洗喷嘴和副清洗喷嘴相结合的喷嘴安装排布方式，与现有仅仅包含与玻璃基板垂直的清洗喷嘴的清洗单元相比，通过在腔室后段增加设置副清洗喷嘴，增强了整个清洗单元对玻璃基板上较小颗粒的去除能力，阻止清洗掉的颗粒再次附着到玻璃基板上，同时使玻璃基板上的清洗废水流向与玻璃基板的流向相反，减少了颗粒进入相邻腔室的几率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种玻璃基板清洗单元，其特征在于：包括与传送入腔室（1）内的玻璃基板（2）相对设置的主清洗喷嘴（3）和副清洗喷嘴（4），所述主清洗喷嘴（3）排布于腔室（1）的前段，副清洗喷嘴（4）排布于腔室（1）的后段，副清洗喷嘴（4）的喷射出口方向（5）与玻璃基板（2）的传送方向（6）之间的夹角a小于90度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄兴成，
申请(专利权)人：彩虹佛山平板显示有限公司，
类型：实用新型
国别省市：