温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及N2退火炉及快速退火前清洗机喷嘴的安装、排布方式，提供一种玻璃基板清洗单元，包括与传送入腔室内的玻璃基板相对设置的主清洗喷嘴和副清洗喷嘴，所述主清洗喷嘴排布于腔室的前段，副清洗喷嘴排布于腔室的后段，副清洗喷嘴的喷射出口方向与玻...
该专利属于彩虹（佛山）平板显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过彩虹（佛山）平板显示有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。