用于生产大尺寸合成石英玻璃基板的方法技术

本发明专利技术涉及用于生产大尺寸合成石英玻璃基板的方法。该方法通过测量合成石英玻璃基板原料的前表面和后表面的平面度和平行度，所述合成石英玻璃基板原料的对角线长度至少为１０００ｍｍ，并基于测量的平面度和平行度的数据部分地去除基板原料的凸起部分和厚的部分，生产大尺寸合成石英玻璃基板。去除步骤包括使用第一加工工具的研磨加工和使用第二加工工具的研磨加工，第一加工工具的直径对应于基板对角线长度的１５～５０％，第二加工工具具有较小的直径。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，所述大尺寸合成石英玻璃 基板适于用作TFT液晶面板中的阵列侧和滤色器侧光掩模基板。
技术介绍
通常，通过使用游离的研磨剂的浆料(例如水中的氧化铝)研磨板状的合成石英 原料，以磨去凸起和凹进的部分(凸凹不平之处)并使用例如水中的氧化铈的研磨剂浆料 抛光来制造大尺寸合成石英玻璃基板。在研磨加工中使用的双侧和单侧研磨机被设计成将基板压在研磨板上并将产生 的相对于弹性形变的反作用力用于平面度的修正。它们的缺点是当基板尺寸变得更大时， 反作用力显著减小，导致去除基板表面上的中等程度的凸凹不平之处的能力降低。如JP-A2003-292346中所公开的，这个问题可以通过测量大尺寸基板的平面度和 平行度，并基于测量数据部分去除基板的凸起部分和厚的部分来解决。如JP-A2007-001003 中所公开的，石英玻璃基板也可通过下述方法进行抛光将所述基板浸在抛光液中，调整基 板的姿态并将气体鼓泡注入抛光液中，气体鼓泡的步骤基于指示基板平面度和缺陷相对于 其表面位置的关系的数据。具有高平面度的石英玻璃基板以高的加工稳定性生产。但是， 当基板尺寸变大时，加工时间延长。这就需要一种能够在短时间本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于生产大尺寸合成石英玻璃基板的方法，包含以下步骤：在使大尺寸合成石英玻璃基板原料保持竖直时，测量该基板原料的前表面和后表面的平面度和平行度，所述基板原料的对角线长度至少为１０００ｍｍ；和基于测量的平面度和平行度的数据部分地去除基板原料的凸起部分和厚的部分，以生产大尺寸合成石英玻璃基板，所述去除步骤包括使用第一加工工具的研磨加工和使用第二加工工具的研磨加工，所述第一加工工具的直径对应于基板对角线长度的１５～５０％，所述第二加工工具的直径小于第一加工工具的直径。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴野由纪夫，渡部厚，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]