本发明专利技术公开一种用于安装曝光装置的中间掩模的轮，尽管该轮只是将通过自动机输送的中间掩模放在旋转支架上，但可以使中间掩模始终配置在正确位置上。该轮安装在进行曝光作业的工作台上，在曝光部的一侧设置旋转轴，以使在曝光部的上侧配置中间掩模，其包括多个旋转支架，旋转支架相隔一定角度、间隔配置在上述旋转轴的上端，用于固定中间掩模，并且，在旋转支架的上面形成中间掩模插入槽，中间掩模插入槽朝下方凹入，用于插入中间掩模，在中间掩模插入槽内侧形成朝上部外侧方向倾斜的倾斜面。该轮的结构简单，可简单制造，且可使中间掩模始终位于正确位置上，当进行在ＬＣＤ等显示装置用玻璃或半导体晶片表面形成电路的曝光作业时，可提高精度。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在LCD、 PDP等各种平板显示装置的玻璃表面刻画微细图案的曝光装 置，尤其，涉及一种用于安装中间掩模(reticle,或投影掩模版)的轮，该轮支撑进行曝光 作业的中间掩模的同时可进行平稳交替。
技术介绍
通常，曝光装置是指在半导体或TFT LCD等需要电路工序的生产线上，利用照相机 原理，将光照射在中间掩模等光掩膜上，从而在半导体晶片或TFT LCD玻璃基板上刻画电路 的装置。 其中，尤其是在LCD的玻璃基板上刻画电路的曝光装置，一般在支撑各种部件的 平板上侧配置曝光部，分别在曝光部的上下配置中间掩模和玻璃板，从而使中间掩模的图 案经由曝光部刻划在玻璃表面上。 并且，在上述曝光部的一侧包括可旋转地安装多个中间掩模的轮，以使中间掩模 可平稳交替，且在平板的一侧包括容纳并装载多个中间掩模的盒(cassette)以及将装载 在盒中的中间掩模供给上述轮且将结束曝光作业的中间掩模再次返回到盒中的自动机 (robot,或机器人)。 但是，当自动机输送装载于盒中的中间掩模并放在轮上时，如上所述的现有的轮 只起到简单地支撑中间掩模下表面的作用，从而出现由于自动机的运转误差和振动等各种 外部原因，中间掩模位置出现微小移动的情况，因此出现在进行微细加工工序的曝光作业 过程中产生不良的问题。
技术实现思路
为了解决上述问题而提出本专利技术，本专利技术的目的在于提供一种用于安装曝光装置 的中间掩模的轮，该轮只是将通过自动机输送的中间掩模放在旋转支架上，并可使中间掩 模始终位于正确位置上。 并且，本专利技术的目的在于不仅使插在中间掩模插入槽的两侧面的位置调整变得简 单，还使中间掩模的前后方向的位置调整变得简单。 并且，本专利技术的目的在于以简单的结构实现中间掩模前后方向的微细调整。 并且，本专利技术的目的在于最大限度降低位置调整轴旋转运转时与中间掩模接触而 产生的摩擦和冲撞。 为了实现上述目的，本专利技术的提供一种用于安装曝光装置的中间掩模的轮，该轮 设置在进行曝光作业的工作台上，并在曝光部的一侧设置有旋转轴，以使在上述曝光部的 上侧配置中间掩模，并且，该轮具有用于固定中间掩模的多个旋转支架，上述旋转支架相隔 一定角度、间隔配置在上述旋转轴的上端，上述用于安装曝光装置的中间掩模的轮的特征 在于，在上述旋转支架的上面形成中间掩模插入槽，上述中间掩模插入槽朝下方凹入，用于 插入中间掩模，且在上述中间掩模插入槽内侧形成有朝上部外侧方向倾斜的倾斜面。 并且，上述中间掩模插入槽朝上述旋转支架的外侧方向开放而形成，在上述旋转 支架的外侧面上形成有位置调整部，上述位置调整部沿上述中间掩模插入槽的内侧方向移 动插在上述中间掩模插入槽中的中间掩模。 此外，上述位置调整部通过驱动电机进行旋转，其包括旋转轴，其端部与中间掩 模放置方向平行配置，并向上述旋转支架的外侧突出；以及位置调整轴，其沿竖直方向连接 在上述旋转轴的端部并一同旋转，将上述中间掩模的外侧端部推向上述中间掩模插入槽的 并且，在上述位置调整轴的端部设置有可旋转的辊。 本专利技术提供一种用于安装曝光装置的中间掩模的轮，该轮虽然只将通过自动机输 送的中间掩模放在旋转支架上，然而可以使中间掩模始终配置在正确的位置上，从而可带 来如下效果轮的结构简单，因此可简单地进行制造，且中间掩模始终位于正确的位置上， 从而当进行在用于LCD等显示装置的玻璃或半导体晶片的表面上形成电路的曝光作业时， 可提高加工精度。 并且，本专利技术形成有位置调整部，不仅可以简单调整插在中间掩模插入槽的两侧 位置，还可简单调整中间掩模前后方向位置，从而能够更加正确且精密地调整中间掩模位 置而进行配置。 并且，本专利技术通过连接在驱动电机上的旋转轴和位置调整轴的简单结构来实现中 间掩模前后方向的微细调整，从而不仅使得位置调整部的制造非常简单，而且最大限度地 减少在输送中间掩模的过程中的干扰。 另外，本专利技术具有辊，可最大限度地降低位置调整轴旋转运转时与中间掩模接触 而产生的摩擦和冲击，从而可防止位置调整轴和中间掩模接触而产生的摩擦和冲击引起的 位置偏移带来的误差，且可防止中间掩模受损。附图说明图1是本专利技术涉及的曝光装置的一立体图。图2是图1的正视图。图3是本专利技术的主要部分的放大立体图。图4是图3的使用状态的正视图。附图标记1中间掩模2玻璃10平板20曝光部30盒 40自动机41致动器 42夹持器50轮 51旋转支架511中间掩模插入槽512倾斜面52驱动轴 53位置调整部531旋转轴 532位置调整轴533 辊具体实施例方式下面，参照附图详细说明本专利技术的优选实施例。 图1是本专利技术涉及的一曝光装置的一立体图，图2是图1的正视图，图3是本专利技术 的主要部分放大立体图，图4是图3的使用状态的正视图，如图所示，本专利技术涉及一种轮50， 该轮使起到底片(film)作用的中间掩模可交替地设置在曝光装置的曝光部20上，尤其是， 通过自动机40输送装载在盒30中的中间掩模并将其放在轮50上时，使中间掩模始终正确 位于轮50的一定位置上，在轮50的上面形成用于插入中间掩模的中间掩模插入槽，在其内 侧上形成倾斜面512，以使中间掩模沿倾斜面512下滑到一定位置后被固定。 上述曝光部20配置在平板10的上部，该平板结合于构成曝光装置的各种部件上， 在曝光部20的下部配置用于显示装置的玻璃2，在曝光部20的上部配置用于在上述玻璃2 上曝光电路且起到底片作用的中间掩模l，从而中间掩模1的图案通过曝光部20曝光在玻 璃2的表面上。 如上所述，上述中间掩模1上形成有构成电路的超微细图案，上述中间掩模1形成 为板材状，安装在后述的轮50上，且固定设置在上述曝光部20的上部，以使形成在中间掩 模1的图案通过曝光部20而曝光在玻璃2上。 上述盒30用于容纳排列整齐的多个中间掩模1，通过自动机40进行有计划的取出 和接收，其一侧被开放，在内侧形成安装有多个中间掩模1的容纳空间，以使通过自动机40 的取出和容纳变为容易。 上述自动机40设置在上述曝光部20和盒30之间，用于输送中间掩模l，其包括 沿X、 Y、 Z轴的三轴方向和旋转方向运动的致动器(actuator)41 ，在上述致动器41的上端 设置有用于固定中间掩模1的夹持器(gripper)42，以使夹持器42稳定且牢固地夹持中间 掩模l，平稳输送。 上述轮50使中间掩模1被固定的同时按照预先设定的作业计划自动地将中间掩 模1配置在曝光部20上，在安装于上述曝光部20 —侧的驱动轴52的上端，以圆形形状设 置分别安装有中间掩模1的多个旋转支架51，从而可同时安装多个中间掩模1，多个旋转支 架51以驱动轴52为中心同时旋转，从而输送中间掩模1，以使中间掩模1配置在曝光部20 上，结束曝光作业的中间掩模1再次被旋转，以被输送至曝光部20的外侧。 这时，上述旋转支架51形成为其中央部上下贯通，以使光沿上下方向平稳通过， 在上述旋转支架51的上面形成对应于中间掩模1的边缘并朝下方凹入的中间掩模插入槽 511，以使通过自动机40从盒30搬出的中间掩模1被插在中间掩模插入槽511中后固定。 并且，在上述中间掩模插入槽511的内侧上形成有宽度朝上部逐渐变宽的倾斜面 512，从而当自动机40将中间掩模1放在旋转支架51上面时本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于安装曝光装置的中间掩模的轮，其设置在进行曝光作业的工作台上，在曝光部（２０）的一侧设置驱动轴（５２），以使在所述曝光部（２０）的上侧配置中间掩模（１），所述轮包括用于固定中间掩模的多个旋转支架（５１），所述旋转支架相隔一定角度、间隔配置在所述驱动轴（５２）的上端，其特征在于：在所述旋转支架（５１）的上面形成用于插入中间掩模（１）的中间掩模插入槽（５１１），所述中间掩模插入槽朝下方凹入，且在所述中间掩模插入槽（５１１）内侧形成朝上部外侧方向倾斜的倾斜面（５１２）。
【技术特征摘要】
KR 2008-10-22 10-2008-0103578一种用于安装曝光装置的中间掩模的轮，其设置在进行曝光作业的工作台上，在曝光部(20)的一侧设置驱动轴(52)，以使在所述曝光部(20)的上侧配置中间掩模(1)，所述轮包括用于固定中间掩模的多个旋转支架(51)，所述旋转支架相隔一定角度、间隔配置在所述驱动轴(52)的上端，其特征在于在所述旋转支架(51)的上面形成用于插入中间掩模(1)的中间掩模插入槽(511)，所述中间掩模插入槽朝下方凹入，且在所述中间掩模插入槽(511)内侧形成朝上部外侧方向倾斜的倾斜面(512)。2. 根据权利要求1所述的用于安装曝光装置的中间掩模的轮，其特征在于， 所述中间掩模插入槽(511)朝所述旋转支架(51)的外侧方向打开而形...
【专利技术属性】
技术研发人员：朴钟夏，
申请(专利权)人：DET株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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