一种用于集成电路芯片生产线的清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于集成电路芯片生产线的清洁装置，涉及集成电路芯片生产技术领域，其技术要点：包括用于存放清洗液的箱体，箱体内通过若干升降气缸固定连接有带有若干通孔的沥水板，沥水板两侧设有相对的伸缩气缸，伸缩气缸通过缓冲机构设有夹板，夹板的相对面粘接有柔性防滑垫，箱体两侧设有朝向沥水板的热风机，箱体内设有加热器以及超声波发生器，箱体外侧设有控制箱，控制箱与升降气缸控制器

【技术实现步骤摘要】
一种用于集成电路芯片生产线的清洁装置


[0001]本技术涉及集成电路芯片生产
，尤其是涉及一种用于集成电路芯片生产线的清洁装置
。

技术介绍

[0002]集成电路是一种微型电子器件或部件，通过把一个电路中所需的晶体管
、
电阻
、
电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构；其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化
、
低功耗
、
智能化和高可靠性方面迈进了一大步
。
[0003]集成电路作为电子产品的核心部件，其质量的好坏直接决定着电子产品的性能和可靠性
。
集成电路在生产的过程中，由于容易粘附颗粒
、
有机物
、
金属粉末等污染物，因此，往往需要对集成电路进行清洗工序
。
[0004]随着集成电路板中单元图案的日益微型化以及集成度的日益提高，污染物对集成电路板的影响也愈加突出
。
但现有的集成电路板清洗技术存在清洗效果不佳或硅片在清洗过程中被腐蚀等现象
。
[0005]因此，如何提高清洗效果，是本领域技术人员的技术问题
。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种用于集成电路芯片生产线的清洁装置，提高清洗效果
。
[0007]为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：
[0008]一种用于集成电路芯片生产线的清洁装置，包括用于存放清洗液的箱体，所述箱体内通过若干升降气缸固定连接有带有若干通孔的沥水板，所述沥水板两侧设有相对的伸缩气缸，所述伸缩气缸通过缓冲机构设有夹板，所述夹板的相对面粘接有柔性防滑垫，所述箱体两侧设有朝向沥水板的热风机，所述箱体内设有加热器以及超声波发生器，所述箱体外侧设有控制箱，所述控制箱与升降气缸控制器
、
伸缩气缸控制器
、
加热器
、
热风机以及超声波发生器电性连接
。
[0009]通过采用上述方案，使用时，在箱体内倒入清洗液，集成电路芯片放置到沥水板上，伸缩气缸延展，通过夹板夹持住集成电路芯片，缓冲机构提供缓冲能力，减少对集成电炉芯片可能的损害；之后，升降气缸收缩，沥水板下降，使得集成电路芯片没入清洗液内，加热器以及超声波发生器启动，提高清洗液温度并使用超声波对集成电路芯片进行清洁，利于提高清洁效果；清洗一端时间后，升降气缸延展，将集成电路芯片托起，热风机吹热气，加快芯片风干速度，缩短风干时间；控制箱内设有对各部件的控制箱，便于集中控制
。
[0010]优选的，所述箱体内设有电导率传感器，所述箱体底部一侧连通有出水管，所述出水管上设有第一电磁阀，所述电导率传感器通过控制箱与第一电磁阀电性连接
。
[0011]优选的，所述箱体一侧设有声光报警器，所述声光报警器通过控制箱与电导率传
感器电性连接
。
[0012]优选的，所述箱体一侧上方连通有进水管，所述进水管上设有第二电磁阀，所述电导率传感器通过控制箱与第二电磁阀电性连接
。
[0013]优选的，所述箱体内设有温度传感器，所述温度传感器通过控制箱与加热器电性连接
。
[0014]优选的，所述缓冲机构包括伸缩杆，所述伸缩杆两端与夹板以及伸缩气缸固定连接，所述伸缩杆外套设有缓冲弹簧
。
[0015]本技术具有以下有益效果：
[0016]使用时，在箱体内倒入清洗液，集成电路芯片放置到沥水板上，伸缩气缸延展，通过夹板夹持住集成电路芯片，缓冲机构提供缓冲能力，减少对集成电炉芯片可能的损害；之后，升降气缸收缩，沥水板下降，使得集成电路芯片没入清洗液内，加热器以及超声波发生器启动，提高清洗液温度并使用超声波对集成电路芯片进行清洁，利于提高清洁效果；清洗一端时间后，升降气缸延展，将集成电路芯片托起，热风机吹热气，加快芯片风干速度，缩短风干时间；控制箱内设有对各部件的控制箱，便于集中控制
。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图
。
[0018]图1为本技术实施例1的结构示意剖视图
。
[0019]图2为本技术实施例1的部件连接关系图
。
[0020]图3为本技术实施例2的伸缩机构示意图
。
[0021]图中：
1、
箱体；
2、
升降气缸；
3、
沥水板；
401、
伸缩气缸；
402、
夹板；
403、
防滑垫；
404、
伸缩杆；
405、
缓冲弹簧；
5、
热风机；
6、
加热器；
7、
超声波发生器；
8、
控制箱；
9、
电导率传感器；
10、
声光报警器；
111、
出水管；
112、
第一电磁阀；
121、
进水管；
122、
第二电磁阀；
13、
温度传感器
。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0023]实施例1[0024]一种用于集成电路芯片生产线的清洁装置，如图1‑2所示，包括用于存放清洗液的箱体1，箱体1内通过若干升降气缸2固定连接有带有若干通孔的沥水板3，沥水板3两侧设有相对的伸缩气缸
401
，伸缩气缸
401
通过缓冲机构设有夹板
402
，夹板
402
的相对面粘接有柔性防滑垫
403
，箱体1两侧设有朝向沥水板3的热风机5，箱体1内设有加热器6以及超声波发生器7，箱体1外侧设有控制箱8，控制箱8与升降气缸2控制器
、
伸缩气缸
401
控制器
、
加热器
6、
热风机5以及超声波发生器7电性连接；
[0025]如图1‑2所示，使用时，在箱体1内倒入清洗液，集成电路芯片放置到沥水板3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于集成电路芯片生产线的清洁装置，包括用于存放清洗液的箱体
(1)
，其特征在于：所述箱体
(1)
内通过若干升降气缸
(2)
固定连接有带有若干通孔的沥水板
(3)
，所述沥水板
(3)
两侧设有相对的伸缩气缸
(401)
，所述伸缩气缸
(401)
通过缓冲机构设有夹板
(402)
，所述夹板
(402)
的相对面粘接有柔性防滑垫
(403)
，所述箱体
(1)
两侧设有朝向沥水板
(3)
的热风机
(5)
，所述箱体
(1)
内设有加热器
(6)
以及超声波发生器
(7)
，所述箱体
(1)
外侧设有控制箱
(8)
，所述控制箱
(8)
与升降气缸
(2)
控制器
、
伸缩气缸
(401)
控制器
、
加热器
(6)、
热风机
(5)
以及超声波发生器
(7)
电性连接
。2.
根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片生产线的清洁装置，其特征在于：所述箱体
(1)
内设有电导率传感器
(9)
，所述箱体
(1)
底部一侧连通有出水管
(111)
，所述出水管
(111)
上设有第一电磁阀
(112)
，...

【专利技术属性】
技术研发人员：章泽润，
申请(专利权)人：无锡芯坤电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：