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本实用新型公开了一种用于集成电路芯片生产线的清洁装置，涉及集成电路芯片生产技术领域，其技术要点：包括用于存放清洗液的箱体，箱体内通过若干升降气缸固定连接有带有若干通孔的沥水板，沥水板两侧设有相对的伸缩气缸，伸缩气缸通过缓冲机构设有夹板，夹板...
该专利属于无锡芯坤电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡芯坤电子科技有限公司授权不得商用。

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