圆盘状基板的制造方法技术

本发明专利技术提供一种圆盘状基板的制造方法，该制造方法降低放置圆盘状基板时产生的损伤等。通过将托架附件（５０）装配于托架（３０），从而利用托架附件（５０）覆盖托架（３０）的表面。然后，经由（通过）托架附件（５０）的孔部（５４）将工件放置于托架（３０）的孔部（３４）。进而，在工件的放置结束后，通过将环部（５９ｂ）拉起而将托架附件（５０）卸下。然后，使上盘移动直到该上盘与工件接触，并使研磨机工作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及例如磁记录介质用玻璃基板等。
技术介绍
随着作为记录介质的需要的提高，近年来，作为圆盘状基板的盘式基板的制造也活跃起来。作为这种盘式基板之一的磁盘基板，广泛使用铝基板和玻璃基板。该铝基板在 加工性高且价格低廉这点上有特长，另一方面，玻璃基板在强度、表面的平滑性、平坦性优 异这点上有特长。特别是最近，盘式基板的小型化和高密度化的要求显著提高，从而基板的 表面的粗糙度小且能够实现高密度化的玻璃基板的关注度变高。在这种圆盘状基板的制造工序中，有时将圆盘状基板收纳于托架(carrier)的开 口中，并使用上磨削盘和下磨削盘进行磨削。然而，针对该磨削工序提出各种改进，作为公报记载的现有技术，例如提出有如下 的技术在设于托板(carrier plate)的收纳孔的内壁部设置环状的槽，并在该槽中填充 软质的树脂(例如参照专利文献1)。并且，例如还提出有如下的技术在托架的工件保持孔的内周面整周嵌入环状的 缓冲部件，并使工件位于由该缓冲部件包围的空间内，所述缓冲部件由材质比玻璃基板的 材质软的树脂材料等形成。日本特开2000-280167号公报日本特开2000-198064号公报然而，在使用托架进行圆盘状基板的磨削的情况下，需要将圆盘状基板放置于设 于托架的开口中，但是，此时，有时会出现托架和例如圆盘状基板的外周部接触从而在托架 或圆盘状基板产生损伤等的情况。并且，也有时通过使处于与托架的表面面接触的状态的 圆盘状基板朝开口滑动移动来将圆盘状基板放置于开口中。进而，在该情况下，也有可能在 托架的表面或圆盘状基板产生损伤等。
技术实现思路
本专利技术的目的在于降低放置圆盘状基板时产生的损伤等。根据上述目的，应用本专利技术的将托架载置于上下一对磨削 盘中的下磨削盘，将圆盘状基板放置于托架的开口中，利用一对磨削盘对圆盘状基板的表 面和背面进行磨削，其特征在于，在托架上放置与托架的开口对应地形成有开口且柔软性 比该托架的柔软性高的托架附件，并经由托架附件的开口将圆盘状基板放置于托架的开口 中。此处，本专利技术的可以具有以下特征以托架附件的开口与 托架的开口重合的方式对托架附件进行定位并将该托架附件放置在托架上。并且，可以具 有以下特征，托架附件和托架具有作为定位时的标识的标识部。还可以具有以下特征托架 的标识部设于形成为圆盘状的托架的外周部侧，托架附件的标识部设于形成为圆盘状的托架附件的外周部侧。从其他的观点出发，应用本专利技术的将托架载置于上下一对 磨削盘中的下磨削盘，将圆盘状基板放置于托架的开口中，利用一对磨削盘对圆盘状基板 的表面和背面进行磨削，其特征在于，在利用能够相对于托架进行装卸的覆盖部件覆盖托 架的表面之后，将圆盘状基板放置于托架的开口中。 此处，还具有以下特征在所述覆盖部件中安装有环状部件，当使用者将所述覆盖 部件从所述托架卸下时，该使用者的手指能够插入所述环状部件中。根据本专利技术，能够降低当将圆盘状基板放置于托架时在托架产生的损伤。附图说明图1-1是示出圆盘状基板(盘式基板)的制造工序的图。图1-2是示出圆盘状基板(盘式基板)的制造工序的图。图2是示出在内周磨光工序中使用的刷(brush)的一例的图。图3是示出抛光机的构造的图。图4是将托架放大进行表示的图。图5是放置工件时的状态图。图6是对托架附件(carrier adapter)进行说明的图。图7是示出将托架附件装配于托架之后的状态的图。标号说明10 工件；21a 下盘；21b 上盘；30 托架；34 孔部；38 标记；50 托架附件；54 孔部；58 第二孔部；59b 环部。具体实施例方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。图1-1 (a) (d)、图1-2 (e) (h)是示出应用本实施方式的圆盘状基板(盘式基 板)的制造工序的图。(1) 一次研磨(lap)工序图l-l(a)示出一次研磨工序。在该工序中，首先，利用研磨机(lapping machine) 40进行第一次研磨，平滑地磨削圆盘状基板的原材料即工件10的表面11。另外， 研磨机40具备下盘21a和上盘21b，该下盘21a用于载置工件10，该上盘21b从上部按压 工件10并对工件10施加用于进行研磨的压力。另外，本实施方式中的研磨能够使用磨削剂进行。作为磨削剂并无特殊限定，例如 能够将由氧化铝或金刚石构成的磨削剂浆液(slurry)化进行使用。并且，也可以在上盘 21b或下盘21a设置分散含有这些磨削剂的磨石。(内外周磨削工序)图l-l(b)示出内外周磨削工序。在该工序中，进行作为工件10的开孔12的内周 面以及工件10的外周13的外周面的粗加工的磨削。并且，在本实施方式中，同时进行内周 面和外周面的磨削。具体地说，利用内周磨石22对设于工件10的中心的开孔12进行磨削， 利用外周磨石23对工件10的外周13进行磨削。此时，利用内周磨石22和外周磨石23夹着工件10同时进行加工。由此，容易确保工件10的内径和外径的同轴度。并且，在本实施方式中，内周磨石22和外周磨石23的表面形状形成为波形状。附 带地说，内周磨石22和外周磨石23在表面具有形成山部的凸部和形成谷部的凹部。此处， 凸部和凹部设有多个，并且沿着内周磨石22、外周磨石23的轴向交替设置。因此，在本实施 方式中，不仅能够对工件10的开孔12的内周面和外周13的外周面进行磨削，而且能够一 并对开口 12和外周13的边缘部进行倒角。 (内周磨光工序)图l-l(c)示出内周磨光工序。在该工序中，进行使利用图1-1 (b)所示的内外周 磨削工序进行了磨削后的工件10的内周面更平滑的磨光。具体地说，首先层叠工件10，并将其放置于未图示的保持器中。然后，将刷24插入 放置于该保持器的工件10的开口 12。进而，使磨光液流入工件10的开孔12，并使刷24高 速旋转。由此，利用刷24对工件10的内周面进行磨光。在本实施方式中，如上所述，由于 使用刷24，因此能够对工件10的内周面进行磨光，并且还能够对在上述内外周磨削工序中 倒角的部分进行磨光。另外，作为磨光液例如可以使用将氧化铈磨粒分散于水中从而浆液 化而成的磨光液。此处，图2是示出在内周磨光工序中使用的刷24的一例的图。该刷24具备刷部 61和轴62，刷部61的毛尖排列成螺旋状，轴62连续地形成于刷部61的两端部，从而形成 一端和另一端。例如在对0. 85英寸等小径盘的内周面进行磨光这样的情况下，需要使刷 24的芯较细。因此，在本实施方式中，例如能够通过将刷的毛(材质例如尼龙(杜邦公司 的商品名))夹在多根金属丝(材质例如软钢线材(SWRM)、硬钢线材(SWRH)、不锈钢线材 (SUSW)、黄铜线(BSW)等)之间，并扭转该夹有毛的金属丝来形成刷部61。此处，通过扭转 金属丝来形成刷部61，能够使形成于刷部61的刷的毛尖形成螺旋状。并且，通过将形成于 刷部61的刷的毛尖形成螺旋状，能够使磨光液在该刷所插入的工件10的开孔12中沿轴向 流动。结果，能够良好地输送磨光液。( 二次研磨工序)图1-1 (d)示出二次研磨工序。在该工序中，通过再次对在图1-1 (a)所示的一次 研磨工序中进行了研磨后的工件10的表面11进行研磨从而将该表面11研磨得更加平滑。 更具体地说，利用具有下盘2I本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种圆盘状基板的制造方法，该制造方法将托架载置于上下一对磨削盘中的下磨削盘，将圆盘状基板放置于该托架的开口中，利用这一对磨削盘对该圆盘状基板的表面和背面进行磨削，其特征在于，在所述托架上放置与该托架的所述开口对应地形成有开口且柔软性比该托架的柔软性高的托架附件，并经由该托架附件的开口将所述圆盘状基板放置于该托架的开口中。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小泉壮一，
申请(专利权)人：昭和电工株式会社，西铁城精密株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]