本发明专利技术公开一种激光加工装置（１）。在设置有位于激光振荡部（１０）中的激光化学汽相淀积用激光振荡器（１１）和激光修理用激光振荡器（１２）的激光加工装置（１）中，通过本体部（１０００）的激光振荡器切换程序（５１０Ａ）切换激光振荡器（１１）或（１２）而发射的激光光束通过光路形成部（３０）而沿着同一缝部到达样本并进行激光加工。此外，物镜配置成通过物镜部（６０）的物镜切换部（６１）而切换为具有对应于从激光振荡部（１０）发射的激光光束的波长的倍率的物镜。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光加工装置。
技术介绍
至今，作为修正发生在光掩模或平板显示器(Flat Panel Display )中的 被称作白缺陷或黑缺陷等缺陷的方法，激光化学汽相淀积(Chemical Vapor Deposition)方法用于修正白缺陷，而使用激光光束来去除不必要的残余缺 陷的激光修理(laser repair )方法用于修正黑缺陷。同，所以在修正上述两种缺陷的情况下，使用发射具有不同波长的激光光 束的激光振荡器以及包括所述激光振荡器的单独的激光加工装置。然而，在同一样本中同时存在白缺陷和黑缺陷或者必须修正这两种缺 陷等情况下，例如，有必要首先将样本安装在修正白缺陷的激光加工装置 上，然后再将样本安装在修正黑缺陷的激光加工装置上。这牵涉诸如安装 样本、调节位置等大量工作，成为妨碍改善工作效率的原因之一。此外， 由于有必要为每种缺陷修正准备激光加工装置，所以不能忽视修正缺陷所 需的相应成本。因此，希望使一个激光加工装置设置有两个发射不同波长的激光光束 的激光振荡器。例如，已知一种激光成膜装置，该装置设置有第一和第二 激光光束发射器件，并且能够去除膜互连线(film interconnection)以及形 成新膜(例如，参考日本未审查专利申请H7-66204号公报)。然而，在上述专利所描述的激光成膜装置中，由于第一和第二激光光 束发射器件所发射的第一和第二激光光束在到达设置于样本近前的物镜前 采取不同光路，所以设计激光加工装置时，有可能存在例如增加壳体的尺 寸等不利缺点。此外，必须为每条光路准备缝部，因此，在只需公用缝部 就能进行多种缺陷修正的情况下，存在不能降低用于多余缝部的成本的问 题。4此外，由于分别由第 一和第二激光光束发射器件发射的具有不同波长 的激光光束穿过同一物镜的不同位置，所以必需这样一种特性,.即在每条 激光光束穿过的位置，必须使用具有适应于各种波长的高透射性的薄膜来 形成物镜。因此，还需关注物镜的制造成本。
技术实现思路
本专利技术的课题是，在激光光束的光路中无需特殊光学系统的情况下， 能使用一个激光加工装置来完成不同类型的激光加工，以降低激光加工装 置的尺寸，并且以低成本提供该装置。为解决上述问题，本专利技术的第一方面涉及一种通过照射激光光束来加工样本的激光加工装置，该激光加工装置包括分别发射波长彼此不同的第一激光光束和第二激光光束的第 一激光振 荡器和第二激光振荡器；切换所述第一激光振荡器或所述第二激光振荡器以发射所述第一激光光束或所述第二激光光束中任一个的切换器件；设置在光路中用于将分别从所述第一激光振荡器或所述第二激光振荡 器发射的所述第一激光光束或所述第二激光光束中的任一个引导至所述样 本的缝部，所述第一激光振荡器或所述第二激光振荡器被所述切换器件切换；设置成使分别从所述第一激光振荡器或所述第二激光振荡器发射的所 述第一激光光束或所述第二激光光束穿过所述缝部的光路形成构件；和将设置在所述光路中所述缝部和所述样本之间的物镜切换为具有预定 倍率的透镜的物镜切换器件，所述预定倍率对应于所述第一激光光束或所 述第二激光光束的激光波长。本专利技术的第二方面引用第一方面的激光加工装置，其中，所述第一激 光光束是激光化学汽相淀积用激光光束，而所述第二激光光束是激光修理 用激光光束。本专利技术的第三方面引用第一方面或第二方面的激光加工装置，包括 第一光学元件，该第一光学元件位于所述第一激光光束的光路中以反 射所述第一激光光束，并且能够撤回到离开所述第一激光光束的光路的位置；第二光学元件，该第二光学元件位于所述第二激光光束的光路中以反 射所述第二激光光束，并且能够撤回到离开所述第二激光光束的光路的位置；所述激光加工装置还包括反射光束获得器件，该反射光束获得器件用于分别获得所述第一激光 光束或所述第二激光光束的反射光束，所述反射光束被所述第一光学元件 或所迷第二光学元件反射，所述第一光学元件和所述第二光学元件两者根 据从被所述切换器件切换的所述第一激光振荡器或所述第二振荡器发射的 激光光束的类型被设置在光路中；和输出状态检查器件，该输出状态检查器件基于所述反射光束获得器件 所获得的反射光束来检查所述第一激光振荡器或所述第二激光振荡器的输 出状态。本专利技术的第四方面引用第一方面到第三方面中任一方面的激光加工装 置，包括光源，该光源用于将与所述激光光束的光束轴一致的光照射到所述缝 部'，和观察部，该观察部用于观察从所述光源发射的透过所述缝部并从样本 表面反射的光。根据本专利技术，激光加工装置设置有分别发射第一和第二激光光束的第 一和第二激光振荡器，所述第一和第二激光光束的波长彼此不同，而所述 激光加工装置配置成使通过切换第一或第二激光振荡器中任一个而发射的的光路，并在穿过同一缝部后到达样本，以在样本上进行激光加工。因此， 能通过一个激光加工装置使用公用缝部来进行不同类型的激光加工，并且 能获得激光加工装置的小型化和低成本化。此外，由于激光加工装置配置 成将物镜切换为具有对应于第一或第二激光光束的激光波长的预定倍率的 物镜，所以在不使用特殊光学系统的情况下，通过将物镜切换为具有不同 倍率的物镜，就能轻松地将第一或第二激光光束中任一个激光光束照射到样本。因此，本专利技术能在激光光束的光路中不需要特殊光学系统的情况下， 使一个激光加工装置进行不同类型的激光加工，并且降低激光加工装置的尺寸，并且还能以较低成本提供装置。 附图说明图1是示出本专利技术的激光加工装置1的示意性构造的视图，其中(A)是正面图，(B)是侧面图。图2是主体部分的放大图，示出激光化学汽相淀积用或激光修理用激 光光束照射到本专利技术的激光加工装置1的可动部24的状态，其中(A)示 出透射激光化学汽相淀积用或激光修理用激光光束的状态，(B)示出反射 激光修理用激光光束的状态，而(C)示出反射激光化学汽相淀积用激光光 束的状态。图3是本专利技术的激光加工装置1的框图。其中，引用标号1:激光加工装置10:激光振荡部(切换器件)11:激光化学汽相淀积用激光振荡器(第一激光振荡器) 12:激光修理用激光振荡器(第二激光振荡器) 20: 测量部21a、 21b: 第一光学元件22a、 22b:第二光学元件24:可动部(获得反射光束的器件)25:测量仪器(检查输出状态的器件)30: 光^各形成部31:镜子(光路形成构件)32:半透明反射镜(光路形成构件)40: 缝部60: 物镜部61:物镜切换部(切换物镜的器件)62: 物镜70: 观察部72: 缝部照明(光源)500: 控制部501: CPU(切换器件、物镜切换器件、反射光束获得器件) 510: ROM51 OA:激光振荡器切换程序(切换手段) 510B:物镜切换程序(切换物镜的手段) 510C:可动部位置控制程序(获得反射光束的手段)具体实施方式下面将参考附图详细说明本专利技术的激光加工装置的具体实施方式。然 而，本专利技术的范围并不局限于所示例子。图1示出本专利技术的激光加工装置1的示意性构造，图1 (A)是正面图， 图1 (B)是侧面图。图2示出激光化学汽相淀积用或激光修理用激光光束 进入本专利技术的激光加工装置1的可动部24时的状态。图2 (A)是示出激 光化学汽相淀积用激光光束或激光修理用激光光束的透射状态的主体部分本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种通过将激光光束照射到样本来加工所述样本的激光加工装置，包括： 分别发射波长彼此不同的第一激光光束和第二激光光束的第一激光振荡器和第二激光振荡器； 切换所述第一激光振荡器或所述第二激光振荡器以发射所述第一激光光束或所述第二激光 光束中任一个的切换器件； 设置在光路中用于将分别从所述第一激光振荡器或所述第二激光振荡器发射的所述第一激光光束或所述第二激光光束中的任一个引导至所述样本的缝部，所述第一激光振荡器或所述第二激光振荡器被所述切换器件切换； 设置成使 分别从所述第一激光振荡器或所述第二激光振荡器发射的所述第一激光光束或所述第二激光光束穿过所述缝部的光路形成构件；和 将设置在所述光路中所述缝部和所述样本之间的物镜切换为具有预定倍率的透镜的物镜切换器件，所述预定倍率对应于所述第一激光光 束或所述第二激光光束的激光波长。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：冈部宪嗣，田中祥一，黑川昌史，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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