【技术实现步骤摘要】
本文描述的实施例的特定方面涉及导电图案的制造方法。
技术介绍
1、传统上,已知有用于测量待测量物体的在一个方向上的各种尺寸(例如,高度、高低差、孔径等)的一维测量机(例如,参见日本特开2002-221414)。一维测量机包含光电编码器以测量待测量物体的在一个方向上的各种尺寸。作为光电编码器,已知有如下配置:该配置包括具有沿着一个方向布置的刻度的标尺、用于发射光的光源以及用于接收从光源发射并通过标尺的光的光接收部分(例如,参见日本特开2018-44782)。
技术实现思路
1、在一个方面,本专利技术的目的是提供可以检测内置于一维测量机中的标尺的污染程度的一维测量机。
2、根据本专利技术的方面,提供一种一维测量机,包括:标尺,其具有刻度;移动器,其能够沿着所述标尺移动,并且具有光源和光接收元件,所述光源被配置为向所述标尺的刻度发射光,所述光接收元件被配置为接收来自所述光源的已经通过所述标尺的光;光量信息检测器,用于检测与光的光量有关的信息,其中该光是在所述移动器沿着所述标尺移动的同
...【技术保护点】
1.一种一维测量机,包括:
2.根据权利要求1所述的一维测量机,
3.根据权利要求2所述的一维测量机,
4.根据权利要求1所述的一维测量机,
5.根据权利要求4所述的一维测量机,
6.根据权利要求1或2所述的一维测量机,还包括:
7.根据权利要求6所述的一维测量机,
8.根据权利要求6所述的一维测量机,
9.根据权利要求6所述的一维测量机,
10.一种一维测量机的控制方法,
11.一种计算机可读存储介质,其存储用于使计算机执行根据权利要求10所述的控
...【技术特征摘要】
1.一种一维测量机,包括:
2.根据权利要求1所述的一维测量机,
3.根据权利要求2所述的一维测量机,
4.根据权利要求1所述的一维测量机,
5.根据权利要求4所述的一维测量机,
6.根据权利要求1或2所述的一维测量机,还包括:
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