System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 光学装置制造方法及图纸_技高网

光学装置制造方法及图纸

技术编号:41202552 阅读:3 留言:0更新日期:2024-05-07 22:28
本发明专利技术提供一种能够实现小型、轻量化的光学装置。光学装置具备:成像透镜,其设置于物镜与摄像装置之间的光路,并且将经由物镜而入射的光成像于摄像装置的摄像面;分束器,其设置于物镜与成像透镜之间的光路;第一透镜组,其设置于物镜与分束器之间的光路并且具有正屈光力;同轴落射照明光学系统,其构成为能够经由分束器、第一透镜组以及物镜对摄像对象进行照明,并且配置于与配置有成像透镜的光路不同的光路。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在显微镜、图像测定装置、图像测定探针等中使用的光学装置


技术介绍

1、已知一种光学装置,具备:成像透镜,其设置于物镜与摄像装置之间的光路;分束器,其设置于物镜与成像透镜之间的光路;同轴落射照明光学系统,其构成为经由分束器和物镜对摄像对象进行照明(例如,专利文件1、2、3)。这样的光学装置例如以在加工装置附近对加工后的部件进行检查、测定为用途而存在搬运、相对于加工装置装卸、悬吊使用的情况,因而期望小型、轻量化。然而,在物镜的内侧设有出射光瞳的情况下,来自与大的物高对应的位置的主光线、即来自远离光轴的位置的主光线越远离物镜则越从光轴离开。因此,分束器变得大型化,进而分束器与摄像装置之间的光学系统以及同轴落射照明光学系统也大型化、重量化。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1:(日本)特开2020-86298号公报

5、专利文献2:(日本)特开2015-127776号公报

6、专利文献3:(日本)特开2000-186999号公报


技术实现思路

1、专利技术所要解决的技术问题

2、本专利技术的目的在于提供一种能够实现小型、轻量化的光学装置。

3、用于解决技术问题的技术方案

4、本专利技术实施方式的光学装置具备:成像透镜,其设置于物镜与摄像装置之间的光路,并且将经由所述物镜而入射的光成像于所述摄像装置的摄像面;分束器,其设置于所述物镜与所述成像透镜之间的光路;第一透镜组,其设置于所述物镜与所述分束器之间的光路并且具有正屈光力;同轴落射照明光学系统,其构成为能够经由所述分束器、所述第一透镜组和所述物镜对摄像对象进行照明,并且配置于与配置有所述成像透镜的光路不同的光路。

5、根据本专利技术,能够提供一种能够实现小型、轻量化的光学装置。

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【技术保护点】

1.一种光学装置,具备:

2.根据权利要求1所述的光学装置,

3.根据权利要求1所述的光学装置,

4.根据权利要求3所述的光学装置,

5.根据权利要求1所述的光学装置,

6.根据权利要求5所述的光学装置,

7.根据权利要求5所述的光学装置,

8.根据权利要求7所述的光学装置,

9.根据权利要求1所述的光学装置,

10.根据权利要求1所述的光学装置,

【技术特征摘要】

1.一种光学装置,具备:

2.根据权利要求1所述的光学装置,

3.根据权利要求1所述的光学装置,

4.根据权利要求3所述的光学装置,

5.根据权利要求1所述的光学装置,

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【专利技术属性】
技术研发人员:村田佳史
申请(专利权)人:株式会社三丰
类型:发明
国别省市:

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