配线图案的形成方法、配线图案、电子仪器技术

本发明专利技术提供一种适合于导通接线柱的配线图案形成方法。一边向所定方向（Ｙ方向）相对移动具有多个喷嘴（９１）的喷头（２０）和基板（３１），一边从多个喷嘴（９１）的所定喷嘴喷出液滴而形成多个导通接线柱（３４）。对垂直于所定方向（Ｙ方向）的方向（Ｘ方向），设多个喷嘴９１的间隔设为ａ、多个导通接线柱（３４）的间隔设为ｂ时，设定了满足ｂ＝ｍ×ａ（ｍ是正的整数）关系的条件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及配线图案的形成方法、配线图案、以及电子仪器。
技术介绍
在构成电子仪器的配线图案的形成方法中，例如，利用光刻法(lithography)。但是，光刻法是不仅需要真空装置等的大规模设备和复杂的工序，还存在材料使用效率只不过为白分之几(几％)左右而不得不废弃大部分材料，而制造成本高。并且，配线图案的微细化方面有限度。因此，作为替代光刻法的工序，正在研讨向基本材料喷出其包含功能性材料的液滴而直接绘图形成配线图案的方法(液滴喷出方法)。该方法是，首先，从液滴喷头向基板喷出其分散导电性微粒子的液体，而形成液状线。其次，利用热处理或照射激光的方法，烧成液状线而形成配线图案的方法(例如，参照专利文献1)。根据这种液滴喷出方式，制造工序被简化、材料使用效率高，所以，可以降低制造成本。并且，容易实现配线图案的微细化。美国专利第5132248号说明书为了实现电子仪器的小型化，配线图案的微细化且多层化变为重要。为了配线图案的小型化，通过层间绝缘层层叠布置电配线之后，用导通接线柱来导通连接上、下层的电配线。上述的导通接线柱是有必要形成为应该贯通层间绝缘膜的相当高度。为此，有必要利用液滴喷出方式来喷出多个的液滴，而形成相当高度的接线柱(post)。但是，即使一次喷出多个的液滴，也很难确保接线柱高度，相反，接线柱的直径变大而存在邻接电配线或导通接线柱短路的危险。因此，希望确立利用液滴喷出方法来形成相当高度的导通接线柱的方法。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述的问题而进行的，其目的在于，提供适于导通接线柱形成的配线图案的形成方法。本专利技术的其他目的还在于，提供低成本化和电连接可靠性优越的配线图案和电子仪器。为了达到上述的目的，本专利技术的配线图案形成方法是把基板上层叠布置的多个电配线，由多个导通接线柱互相导通连接而构成配线图案的形成方法，其特征在于，具有一边使具有多个喷嘴的喷头和所述基板向所定方向相对移动，一边从所述多个喷嘴中的所定喷嘴喷出液滴而形成所述多个导通接线柱的工序；对垂直于所述所定方向的方向，将所述多个喷嘴的间隔设为a、所述多个导通接线柱的间隔设为b时，设定了满足b＝m×a(m是正的整数)的条件。依据这种方法，多个的导通接线柱的间隔设定为多个喷嘴间隔的整数倍的条件，可以谋求液滴喷出处理的简单化。即，通过上述条件的设定，喷头与基板之间作相对移动时，如果在多个喷嘴中的一个喷嘴的移动轴上，布置导通接线柱的形成位置，则导通接线柱的形成位置也布置在其他喷嘴的移动轴上，所以，在一次相对移动期间，对多个导通接线柱的形成位置可以分别布置液滴也成为可能。其结果，上述的相对移动中减少了无用移动，可以谋求液滴喷出处理的简单化。在上述的配线图案形成方法中，重复进行所述液滴喷出和临时干燥，而层叠形成所述多个导通接线柱就可以。通过重复进行液滴喷出和临时干燥，形成层叠结构的接线柱。于是，由层叠结构来可以可靠地形成相当高度的接线柱。并且，在这种方法中，如上所述，喷头和基板之间的相对移动中无用相对移动少，所以，可以抑制伴随反复的液滴喷出而导致的处理时间的增加。此种情况下，也可以是，具有其形成所述多个电配线用的液状线的工序，在所述液状线上，层叠形成所述多个导通接线柱。在液状线上，形成接线柱的方法，使两者的界面上容易熔合成为可能。通过总括烧成已经熔合的液状线和接线柱，可以一体形成电配线和导通接线柱。其结果，能够防止电配线与导通接线柱之间界面的裂缝的产生。而可以形成导通连接的可靠性优越的配线图案。另外，在上述的配线图案形成方法中，也可以是包括在所述基板上，设定其用于决定所述液滴的喷出位置的、已经格子状划区的多个单元区域的工序；对垂直于所述所定方向的方向，将所述多个喷嘴的间隔设为a、所述单元区域的宽度设为c时，成立c＝a/(n是正的整数)的关系来设定所述多个单元区域。由此，可以谋求图案设计的容易化。本专利技术的配线图案，其特征在于利用上述的配线图案的形成方法来形成的。这种配线图案是成为低成本化和电连接可靠性优越的配线图案。本专利技术的电子仪器，其特征是具备上述的配线图案。根据这种电子仪器，具备了低成本化和电连接可靠性优越的、且微细化的配线图案，所以，可以提供低成本化和电连接可靠性优越的小型的电子仪器。附图说明图1是COF结构的液晶模块的分解立体图。图2是有关实施方式的配线图案说明图。图3是有关实施方式的配线图案的形成方法的工序表。图4是有关实施方式的配线图案形成方法的说明图。图5是有关实施方式的配线图案形成方法的说明图。图6是模式性地表示在基板的表面喷出液滴时的液滴的布置例的图。图7是模式性地表示形成导通接线柱时的液滴的布置例的图。图8是液滴喷出装置的立体图。图9是液滴喷头的侧面截面图。图10是移动电话机的立体图。图中2-液滴喷头，31-薄膜基板(基板)，32-电配线，32p-液状线，34-导通接线柱，34p-液状接线柱，36-电配线，91-喷嘴。具体实施例方式下面，结合附图来说明本专利技术的实施方式。另外，在下面的说明中所使用的每一个附图是为了认识每一个部件的大小，其每一个部件的比例是适当变更的。图1是COF(Chip On Film薄膜上芯片)结构的液晶模块的分解立体图。在本实施方式中，挠性印刷配线基板(Flexible Printed Circuit以下称「FPC」)30中的配线图案的形成方法为例进行说明。FPC30是在具有可挠性的薄膜基板31的表面上，形成电配线图案39a、39b的部件。虽然后面要叙述详细，图1所示的COF结构的液晶模块1中，FPC30连接在液晶板2的端部，液晶驱动用IC100安装在FPC30的表面。于是，从该液晶驱动用IC100，通过FPC30，向液晶板2输出驱动信号的方法，在液晶板2进行图像显示的结构。图2是说明有关实施方式的配线图案的说明图，是FPC的配线形成部分的放大图。另外，图2(a)是图2(b)的B-B线的平面截面图，图2(b)是图2(a)的A-A线的侧面截面图。如图2(b)所示，本实施方式的配线图案是下层的电配线32和上层的电配线36是通过层间绝缘层54而层叠构成的。另外，下面所说明的配线图案只不过是一例，也可以在其他的配线图案上应用本专利技术。如图2(b)所示，FPC30备有用聚酰亚胺所构成的具有可挠性的挠性基板31。在其挠性基板31的表面，形成有基底绝缘膜51。此基底绝缘膜51是混合丙烯等的紫外线固化性树脂和环氧树脂等的热固化性树脂的、电绝缘性材料所构成。在其基底绝缘膜51的表面，形成有多个电配线32。此电配线32是用Ag等的导电性材料以所定图案所构成的。另外，在基底绝缘膜51表面的电配线32的非形成区域，形成有层内绝缘膜52。并且，通过采用后面要叙述的液滴喷出方式，使电配线32的线×间隙，微细化为例如30μm×30μm左右。并且，以主要覆盖电配线32的方式形成有层间绝缘膜54。此层间绝缘膜54也和基底绝缘膜51同样的树脂材料所构成。并且，以从电配线32的一部分贯通层间绝缘层54的方式形成有相当高度的导通接线柱34。此导通接线柱34是和电配线32相同的Ag等导电性材料以圆柱状形成的。如果举一例的话，电配线32的厚度为32μm左右、导通接线柱34的高度为8μm左右来形成的。在该层间绝缘层54的表面，形成有上层的电配线3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种配线图案形成方法，是由多个导通接线柱互相导通连接基板上层叠布置的多个电配线而构成的配线图案形成方法，其特征在于，具有：一边使具有多个喷嘴的喷头和所述基板向所定方向相对移动，一边从所述多个喷嘴中的所定喷嘴喷出液滴，以形成所述多个导 通接线柱的工序；　对与所述所定方向垂直的方向，将所述多个喷嘴的间隔设为ａ、所述多个导通接线柱的间隔设为ｂ时，设定满足下列式（１）的条件：ｂ＝ｍ×ａ，……（１）式中，ｍ是正的整数。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：桜田和昭，上原昇，新馆刚，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]