配线图案的形成方法、配线图案、电子仪器技术

本发明专利技术提供一种适合于导通接线柱的配线图案形成方法。一边向所定方向（Ｙ方向）相对移动具有多个喷嘴（９１）的喷头（２０）和基板（３１），一边从多个喷嘴（９１）的所定喷嘴喷出液滴而形成多个导通接线柱（３４）。对垂直于所定方向（Ｙ方向）的方向（Ｘ方向），设多个喷嘴９１的间隔设为ａ、多个导通接线柱（３４）的间隔设为ｂ时，设定了满足ｂ＝ｍ×ａ（ｍ是正的整数）关系的条件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及配线图案的形成方法、配线图案、以及电子仪器。
技术介绍
在构成电子仪器的配线图案的形成方法中，例如，利用光刻法(lithography)。但是，光刻法是不仅需要真空装置等的大规模设备和复杂的工序，还存在材料使用效率只不过为白分之几(几％)左右而不得不废弃大部分材料，而制造成本高。并且，配线图案的微细化方面有限度。因此，作为替代光刻法的工序，正在研讨向基本材料喷出其包含功能性材料的液滴而直接绘图形成配线图案的方法(液滴喷出方法)。该方法是，首先，从液滴喷头向基板喷出其分散导电性微粒子的液体，而形成液状线。其次，利用热处理或照射激光的方法，烧成液状线而形成配线图案的方法(例如，参照专利文献1)。根据这种液滴喷出方式，制造工序被简化、材料使用效率高，所以，可以降低制造成本。并且，容易实现配线图案的微细化。美国专利第5132248号说明书为了实现电子仪器的小型化，配线图案的微细化且多层化变为重要。为了配线图案的小型化，通过层间绝缘层层叠布置电配线之后，用导通接线柱来导通连接上、下层的电配线。上述的导通接线柱是有必要形成为应该贯通层间绝缘膜的相当高度。为此，有必要利用液滴喷出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种配线图案形成方法，是由多个导通接线柱互相导通连接基板上层叠布置的多个电配线而构成的配线图案形成方法，其特征在于，具有：一边使具有多个喷嘴的喷头和所述基板向所定方向相对移动，一边从所述多个喷嘴中的所定喷嘴喷出液滴，以形成所述多个导 通接线柱的工序；　对与所述所定方向垂直的方向，将所述多个喷嘴的间隔设为ａ、所述多个导通接线柱的间隔设为ｂ时，设定满足下列式（１）的条件：ｂ＝ｍ×ａ，……（１）式中，ｍ是正的整数。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：桜田和昭，上原昇，新馆刚，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]