热处理方法、配线图案的形成方法、电光学装置及其制法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种不对被处理材料的材质产生影响，而可以有效对该被处理材料进行热处理的热处理方法。将具有可以使光能转变成热能的光热转变层（４）和基质材料（５）的热处理片（７）与被处理材料（１）相对向，并向热处理片（７）照射光线，使用由光热转变层（４）生成的热能，对被处理材料（１）进行热处理。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于对被处理材料进行热处理的热处理方法、配线图案的形成方法、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子机器。
技术介绍
多年来，例如，在基板上形成导电性薄膜，并对该导电性薄膜进行改质热处理。下述专利文献1中公开了一种有关技术，即，对于在基板上形成的金属薄膜，通过照射激光，对金属薄膜进行改质的激光退火处理技术。在基板上涂布含有导电性材料的功能液后，为实现导电性而进行热处理(烧成处理)，例如，至少在300℃以上，必须热处理30分钟以上，热处理需要很长时间，从而妨碍了生产效率的提高。另外，在基板由塑料等制成，不具有耐热性时，高温下长时间热处理，会引起基板变形等不良现象。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于这种问题而进行的，其目的是提供一种对被处理材料(基板)的材质不产生影响，并可以有效热处理被处理材料的热处理方法。再一个目的是提供一种使用该热处理方法形成配线图案的方法，以及电光学装置的制造方法，电光学装置和电子机器。为了解决上述课题，本专利技术的热处理方法，其特征在于，在含有将光能转变成热能的光热转变材料的基质材料和被处理材料相对向的状态下，向上述基质材料照射光线，使用上述光热转变材料对上述被处理材料进行热处理。根据本专利技术，通过基质材料中含有光热转变材料，有效地将照射光的光能转变成热能，可以向被处理材料提供对被处理材料进行热处理的足够的热能。而且，在本专利技术中，由于其构成是向光热转变材料照射光线，可瞬间产生高温，所以可在短时间内对被处理材料进行热处理。另外，在本专利技术中，由于其构成是对被处理材料瞬间提供热能，所以即使是含有如塑料等不具有耐热性材料的情况下，仍可以抑制对该被处理材料的影响。本专利技术的热处理方法中，最好在基质材料与被处理材料紧密结合的状态下照射光线。这样可以有效地将基质的光热转变材料产生的热能供与被处理材料。本专利技术的热处理方法中，上述含有光热转变材料的光热转变层，能够采用单独在上述基质材料上设置该基质材料的构成，也能够采用将上述光热转变材料混合在上述基质材料中的构成。任何一种构成，都可以将光热转变材料生成的热能供与被处理材料，对该被处理材料进行热处理。上述含有光热转变材料的光热转变层，其构成是单独在基质材料上设置该基质材料时，最好在使光热转变层与被处理材料相对向的状态下，照射上述光线，更好是在光热转变层与被处理材料密接的状态下照射光线。这样可有效地将光热转变层生成的热能供与被处理材料。本专利技术的热处理方法中，上述热处理至少包括干燥处理和烧成处理中的任何一种，即，使用光热转变材料对被处理材料进行干燥处理中烧成处理，可以提供足够的热能。本专利技术的热处理方法中，其特征在于，上述被处理材料，含有导电性材料，并对该导电性材料进行热处理。由此，例如对含有导电性材料的材料层进行烧成处理，可以呈现导电性。材料层的构成，例如包括有机EL(电致发光)显示装置形成用材料、液晶显示装置形成用材料，或等离子体显示装置形成用材料时，制造各种显示装置工序中的干燥处理或烧成处理，可以适用本专利技术的热处理方法。本专利技术的热处理方法中，其特征在于，上述光为激光，按照上述光热转变材料照射具有相应波长的光。由此可以有效地将照射光热转变材料的光能转变成热能。本专利技术的配线图案的形成方法，其特征在于，通过上述记载的热处理方法，对设在被处理材料上的导电性材料层进行热处理的工序。根据本专利技术，对被处理材料的材质不会产生影响，短时间内烧成导电性材料层而呈现导电性，并可以形成配线图案。本专利技术的电光学装置制造方法，其特征在于，具有通过上述记载的热处理方法，对设在被处理材料上的功能性材料层进行热处理的工序。根据本专利技术，在电光学装置的制造工序中，存在热处理工序时，通过在该热处理工序中适用本专利技术的热处理方法，不会对被处理材料的材质产生影响，并可以在短时间内热处理功能性材料层，并可以提高生产效率。本专利技术的电光学装置，其特征在于，具有通过上述记载的配线图案形成方法形成的配线图案。另外，本专利技术的电光学装置，其特征在于，通过上述记载的电光学装置制造方法制造的。本专利技术的电子机器，其特征在于，具有上述记载的电光学装置。根据本专利技术，可以优良的生产效率进行制造可以发挥所要性能的电光学装置，以及可以提供具有该装置的电器设备。作为电光学装置，例如有液晶显示装置，有机EL(电致发光)显示装置，及等离子体显示装置等。将上述材料层(导电性材料层、功能性材料层)设置在被处理材料上时，可使用液体喷出法，将功能液的液滴喷出在被处理材料(基板)上，进行配置。液滴喷出法，使用具有喷头的液滴喷出装置即可实现，该液滴喷出装置包括具有喷墨喷头的喷墨装置。喷墨装置的喷墨喷头，利用喷墨法可定量地喷出含有功能液的液体状材料液滴，例如是可定量地连续滴下每1个点为1～300纳克液体状材料的装置。作为液滴喷出装置也可以是分配器装置。所谓液体状材料是指具有能够从液滴喷出装置喷头的喷嘴喷出(可滴下)粘度的介质。不管是水性的，还是油性的，都可以。只要具有可从喷嘴喷出的流动性(粘度)，就足以，即使混入固体物质，作为整体，只要是流动体就可以。液体状材料中所含的材料，可以是加热到熔点以上可溶解的，也可以是作为微粒子在熔剂中搅拌的，除了溶剂外，还可以添加染料、颜料及其他功能性材料的。所谓上述功能液，是在含有功能性材料的液体状材料中，通过配置在基板上可以发挥所定功能的。作为功能性材料，例如有为形成含有彩色滤光片的液晶显示装置，液晶显示装置形成用材料、为形成有机EL(电致发光)显示装置，有机EL显示装置形成用材料、为形成等离子体显示装置，等离子体显示装置形成用材料、以及为形成流通电流的配线图案，含金属的配线图案形成用材料等。附图说明图1是表示使用本专利技术的热处理方法的热处理装置之一实施方式简要构成图。图2是表示本专利技术热处理方法之一实施方式模式图。图3是表示形成本专利技术配线图案用的喷头的简要构成图。图4是表示本专利技术配线图案形成方法之一实施方式的流程图。图5是表示本专利技术配线图案形成方法之一实施方式的模式图。图6是表示本专利技术配线图案形成方法之一实施方式的模式图。图7是表示通过本专利技术的热处理方法对导电性材料层进行热处理形式的模式图。图8是表示具有通过本专利技术配线图案形成方法形成配线图案之一例电光学装置的等离子体显示装置的分解立体图。图9是表示作为本专利技术电光学装置制造方法之一个实例，制造液晶显示装置的彩色滤光片工序的模式图。图10是表示通过本专利技术热处理方法对彩色滤光片材料进行热处理形式的模式图。图11是表示作为本专利技术电光学装置制造方法之一例，有机EL显示装置制造工序之一例模式图。图12是表示作为本专利技术电光学装置制造方法之一例，有机EL显示装置制造工序之一例模式图。图13是表示作为本专利技术电光学装置制造方法之一例，有机EL显示装置制造工序之一例模式图。图14是表示通过本专利技术的热处理方法，对有机EL元件材料进行热处理形式的模式图。图15是表示具有本专利技术电光学装置的电子机器之一例示图。图16是表示微透镜制造工序之一例模式图。图中，1-被处理材料，2-材料层，4-光热转变层，5-基体材料，7-热处理板具体实施方式(热处理方法)以下参照附图，对本专利技术的热处理方法进行说明。图1是本专利技术热处理方法中使用的一种热处理装置实施方式的简要构成图。图1中，热处理装置10备有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热处理方法，其特征在于，在将含有可以将光能转变成热能的光热转变材料的基质材料与被处理材料相对向的状态下，向上述基质材料照射光，使用上述光热转变材料对上述被处理材料进行热处理。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：丰田直之，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]