电致发光基板的制造方法及制造装置与电子装置制造方法及图纸

利用喷墨头的扫描制造滤色片等光学构件时，使得喷墨头的全部喷嘴能准确地通过像素的形成区域，提高来自喷嘴的喷墨位置的精度，提高喷嘴的使用效率（从而描绘效率），防止每个像素的颜色离散，使光学构件的光学特性在平面上均匀化。本发明专利技术的课题是一种利用备有喷嘴（２７）的多个喷墨头（２２）对基板（２）进行主扫描及副扫描的滤色片（１）的制造方法。假设多个喷墨头（２２）中相邻的喷墨头（２２）位于各自最端部的喷嘴（２７）之间的相互间隔为Ｗ，喷嘴（２７）的恒定的排列间距为Ｄ时，Ｗ＝ｍＤ（式中，ｍ为２以上的整数）另外，假设喷头２２的副扫描移动间距为Ｐ时，Ｐ＝ｎＤ（式中，ｎ为１以上的整数）。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本申请属分案申请，其母案的申请号为02141207.3，最早的在先申请号为JP01-203807，最早的优先权日为2001年7月4日。本专利技术涉及滤色片的制造方法及制造装置、液晶显示装置的制造方法及制造装置、电致发光发光层配置基板的制造方法及制造装置、电致发光装置的制造方法及制造装置。另外，本专利技术涉及利用喷头对基板一边进行扫描，一边将喷出物喷射到该基体材料上的喷头的扫描方法及喷头的扫描装置。另外，本专利技术涉及在基板上形成膜的成膜方法及成膜装置。另外，本专利技术涉及电光装置及其制造方法、以及电子装置。近年来，液晶显示装置、电致发光装置等显示装置被广泛地用于移动电话机、便携型计算机等电子装置的显示部中。另外，多半使用这样的显示装置使电子装置的显示部进行全色显示。例如，通过使由液晶层调制的光通过滤色片，进行液晶显示装置的全色显示。通过将R(红)、G(绿)及B(蓝)色的呈点状的各色滤色元按照条形排列、三角形排列或镶嵌形排列等规定的排列方法，配置在由玻璃、塑料等构成的基板的表面上，形成这样的滤色片。另外，能通过这样的方法进行电致发光装置的全色显示例如将R(红)、G(绿)、B(蓝)色的呈点状的各色发光层按照条形排列、三角形排列或镶嵌形排列等规定的排列方法，配置在由玻璃、塑料等构成的基板的表面上，形成电致发光基板，用一对电极夹持该电致发光基板的发光层，形成多个显示点，对每个显示点控制加在这些电极上的电流或电压，使显示点发出所希望颜色的光。迄今，在对滤色片的R(红)、G(绿)、B(蓝)各色滤色元进行构图的情况下，或者在对电致发光基板的R(红)、G(绿)、B(蓝)色的各发光层进行构图的情况下，能采用光刻法。可是，在该光刻法中，需要对每个显示点使用不同图形的掩模，进行曝光、显影、清洗等繁杂的工序，同时由于消耗大量的各色材料及光致抗蚀剂，所以存在成本增高等问题。为了解决该问题，提出了采用喷墨法呈点状地喷射滤色材料或发光层形成材料等，形成滤色元或发光层等方法。该喷墨法例如能用备有压电体薄膜元件的喷墨头进行。在该喷墨法中，将像素形成用的油墨存储在喷墨头的加压室中，利用上述的压电体元件的振动引起的加压室的体积变化，喷射该油墨，因此，在滤色片的基板上形成像素。如果采用该喷墨法，则能提高滤色片等的生产效率。另外，在该喷墨法中由于能控制墨量的高度，所以能有效地制造高精细的滤色片。在图25及图26中示出了通过采用喷墨法呈点状地喷射滤色材料或发光层形成材料等，形成呈点状排列的滤色元或发光层等的方法之一例。使用备有将图25(c)所示的多个喷嘴304排列成列状的喷嘴列305的喷墨头306，按照喷墨法，如图25(a)所示，在由玻璃、塑料等构成的大面积的基板(所谓的母板)301的表面上形成的多个面板区域302的内部区域中，如图25(b)所示，形成呈点状排列的多个滤色元303。在此情况下，如图25(b)所示，例如使喷墨头306沿着箭喷头A1及箭喷头A2所示的方向，对一个面板区域302进行多次主扫描，在图25(b)所示的情况下为两次主扫描，同时在这些主扫描之间有选择地从多个喷嘴304喷墨、例如喷射滤色材料，在所希望的位置形成滤色元303。这里，通过使R(红)、G(绿)及B(蓝)各色呈条形排列、三角形排列或镶嵌形排列等形态排列，形成滤色元303。因此，用图25(b)所示的喷墨头306形成滤色元303按如下方法进行对应于R(红)、G(绿)、B(蓝)三种颜色，预先准备三种只喷射R(红)、G(绿)、B(蓝)中的一种颜色的喷墨头306，对应于三种颜色依次反复使用这些喷墨头306，能在一块母板301上形成R(红)、G(绿)、B(蓝)三色排列。可是，在喷墨头306中，一般说来，构成喷嘴列305的多个喷嘴304的喷墨量有离散。例如，如图26(a)所示，喷墨头306往往有下述的喷墨特性Q对应于喷嘴列305的两端部的位置的喷射量多，其中央部次多，它们的中间部的喷射量少。另外，在图26(a)中示出了喷嘴304的个数为180个的情况。如果考虑这样的喷墨量的离散，则如图25(b)所示，在由喷墨头306形成了滤色元303的情况下，如图26(b)所示，在与位于喷墨头306的两端部的喷嘴对应的滤色元303的形成区域P1或与位于中央部的喷嘴对应的滤色元303的形成区域P2中，形成浓度大的条纹，存在滤色片的平面光透射特性或反射特性不均匀的问题。另外，根据不同情况，有时在形成区域P1及P2两个区域中形成浓度大的条纹。另外，在采用这样的喷墨法制造滤色片的情况下，要求准确地移动喷墨头，以便喷墨头的喷嘴准确地在像素的、即显示点的形成区域上通过，而且在适当的位置喷墨。可是，现状是未必找到充分地解决该问题的途径。下面具体地说明该问题。即，通过喷墨形成滤色元或发光层时、即形成像素时，为了防止应进入一个像素形成区域的油墨漏到了相邻的另一像素形成区域中而发生混色，有必要使喷嘴从像素形成区域的正上方通过，使墨滴尽可能附着在像素的中心。假设喷嘴不在像素形成区域的正上方时，不能从喷嘴喷墨。这是一种理想情况，另一方面，喷头换行方向(即，副扫描方向)的像素的相互排列间隔(即，滤色元间距或像素间距)、以及副扫描方向的喷嘴的相互排列间隔(即，喷嘴间距)通常不一致。在该状态下，使喷墨头只进行主扫描时，出现不通过像素形成区域的正上方的喷嘴、即出现不能使用的喷嘴，存在喷嘴的使用效率(即，扫描效率)低的问题。迄今对该问题未必找到充分的解决途径。本专利技术就是鉴于上述的问题而完成的，目的在于制造滤色片或电致发光基板时喷墨头进行扫描时，通过使该喷墨头的全部喷嘴能准确地通过形成像素的区域，提高喷嘴的使用效率(即，描绘效率)。另外，本专利技术的目的在于通过使喷墨头准确地相对于对象物移动，能将油墨喷射到对象物上的适当位置，由此防止每个像素的色离散，使液晶显示装置的彩色显示特性、发光层的发光特性等光学构件的光学特性实现平面上的均匀化。本专利技术人等为了达到上述目的而锐意研究的结果，发现通过使多个喷墨头中相邻的喷墨头位于各自最端部的喷嘴即互相最接近的喷嘴之间的相互间隔(W)、以及使打印头(液滴材料喷射机构)沿喷头扫描方向及喷头换行方向(即，纵横方向)进行主扫描及副扫描时换行方向的副扫描移动间距(P)特别指定为喷嘴的恒定的排列间距(D)的实际上的整数倍，能达到上述目的，完成本专利技术。即，按照本专利技术，提供以下的滤色片的制造方法及制造装置、液晶显示装置的制造方法及制造装置、电致发光基板的制造方法及制造装置、电致发光装置的制造方法及制造装置、成膜方法及成膜装置、电光装置及其制造方法、以及电子装置。(1)本专利技术的滤色片的制造方法的特征在于包括使按照规定的间距排列了多个喷嘴的多个喷头沿着喷头扫描方向移动，对基板进行主扫描的工序；沿着与上述喷头扫描方向交叉的喷头换行方向按照规定的移动间距移动，对上述基板进行副扫描的工序；以及从上述多个喷嘴将滤色材料喷射到上述基板上的滤色元形成区域的工序，上述多个喷头中相邻的喷头位于各自最端部的上述喷嘴相互之间的间隔(W)及上述喷嘴的恒定的排列间距(D)实际上满足以下关系式W＝mD(式中，m为2以上的整数)上述喷头的副扫描移动间距(P)及上述喷嘴的恒定的排列间距(D)实际上满足以下关系式P＝nD(式中，n为1以上的整数)利用该本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电致发光基板的制造方法，其特征在于：包括：使按照规定的间距排列了多个喷嘴的多个喷头沿着喷头扫描方向移动，对基板进行主扫描的工序；沿着与上述喷头扫描方向交叉的喷头换行方向按照规定的移动间距移动，对上述基板进行副扫描 的工序；以及从上述多个喷嘴将功能层形成材料喷射到上述基板上的功能层形成区域的工序，上述多个喷头中相邻的喷头位于各自最端部的上述喷嘴相互之间的间隔Ｗ及上述喷嘴的恒定的排列间距Ｄ实际上满足以下关系式：Ｗ＝ｍＤ式中，ｍ为２ 以上的整数，上述喷头的副扫描移动间距Ｐ及上述喷嘴的恒定的排列间距Ｄ实际上满足以下关系式：Ｐ＝ｎＤ式中，ｎ为１以上的整数。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤达也，有贺久，片上悟，川濑智己，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]