硅片干燥设备制造技术

本实用新型专利技术一种硅片干燥设备，包含一处理槽、一液体注入装置、一底部排液装置、一侧边排液装置与一排气装置设于处理槽单边、一硅片承载装置包含一顶持件、一外围固持件与一驱动装置用以驱动该顶持件，外围固持件可分离地与顶持件连动；以及一上盖体可容纳至少一硅片于其中，并且设有至少一卡持件可松开地（ｒｅｌｅａｓａｂｌｙ）卡持该硅片。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种硅片清洗制程的装置，特别是一种用于硅片干燥 的装置。
技术介绍
本技术与硅片片在清洗制程中的干燥步骤有关。硅片表面清洗工 作为整个生产过程的关键步骤，若清洗过程有瑕疵，特别是对于具有细微 结构的半导体元件制程，微粒若附着于硅片上，将对整体制程及硅片质量有极大的影响；而干燥处理，更是决定了清洗制程的质量。请参见图1，所显示的是一现有的硅片清洗干燥设备100，包含上盖 体部10、处理槽部20，以及硅片承载装置30(图未显示)。上盖体部10 为一可开阖的元件，包含了气体注入装置ll，上盖体部10可与处理槽部 20结合形成一密闭空间。处理槽部20包含了一处理槽21、液体注入装置 22、液体排液装置23、以及排气装置24。硅片承载装置30使硅片1在移 动中可以稳固。值得注意的是，现有的硅片清洗干燥设备其排液以及排气装置都在双 边，当硅片完成清洗，水流由两边排出，带走硅片上的污物，但由于中央 水流最弱，对于硅片中间部的污物较不易带走，因而降低清洁效果。当清 洗完成时干燥气体由上方排入由两边排出，中间气流亦较弱，对硅片中间 部的干燥效果亦较不理想。此外，当硅片经过清洗升至上盖部进行干燥，为使硅片各部皆能接触 干燥气体，硅片与载具分离，仅由一顶持棒支撑，除此顶持棒之外并没有 其它的固定零件，使得硅片在干燥气流吹拂下容易摇晃震动，对硅片的质 量产生负面影响。有鉴于此，本技术提出一种新型硅片干燥设备，针对上述现有技术的问题进行改良，并提高运作效率。基于前述现有硅片干燥设备所产生无法完全清洁干燥的问题，本实用 新型遂提出一种新型的硅片干燥设备。
技术实现思路
本技术的一 目的在于提供一硅片清洁及干燥装置，其能够彻底清 洁及干燥硅片各部，达到较好的清洁及干燥效果。本技术的另一目的在于提供一种硅片干燥装置，其能够让硅片在 干燥过程中固定不晃动，且不会产生吹不到的死角。本技术的另一目的在于提供一种硅片干燥装置，其能够提高整体 器械的运作功效。本技术的硅片干燥设备包含有一处理槽、 一液体注入装置、 一底 部排液装置、 一侧边排液装置、及一排气装置。液体注入装置用以将一处 理液注入该处理槽；侧边排液装置用以在硅片清洗时快速地将该处理液排 出该硅片干燥设备，设于该处理槽的单一边，使得该处理液朝向单一方向 流动；排气装置用以将干燥气体排出硅片干燥设备外，亦装设于该处理槽 的单一边，使得该气体朝向单一方向流动，底部排液装置用以硅片干燥完 成后，将处理液完全地排出硅片干燥装置外。本技术的硅片干燥设备另包含一上盖体，大致覆盖该处理槽，其 中该上盖于该处理槽上方界定出一内部空间，可容纳至少一硅片于其中； 上盖体内设有至少一卡持件及至少一喷嘴端口，当硅片被容纳于该上盖体 内时，此卡持件可松开地(releasably)卡持住该硅片，意即指，当硅片须 被固定时，该卡持件将卡住该硅片使之不能移动；而当该硅片须被移开时， 该卡持件可松开该硅片，使该硅片可移动。喷嘴端口则用以提供一气体以 干燥该硅片。本技术的硅片干燥设备另包含一硅片承载装置，用以移动该硅 片，该硅片承载装置包含一顶持件、 一驱动装置驱动该顶持件，以及一外 围固持件，可分离地与该顶持件连动。由于该顶持件与该外围固持件可连 动亦可分离式作动，此硅片承载装置仅需一驱动装置，不需有另一驱动装 置在控制固持件的移动。本技术相较于现有硅片干燥装置，具有下列优点第一、本技术的侧边单边排液及单边排气装置可使水气流朝单一 方向流动，解决现有技术中水气流由两边排出，中央流速较弱的缺点，水 气流能均匀地经过硅片各部，提高干燥与清洁的效果；第二、本技术上盖体内的卡持具设计，可使硅片被容纳于上盖体 内进行干燥的过程中，固定不晃动，且卡持件与硅片的接触面极小，可达 到固定的作用，却又不会产生干燥气体吹不到的死角；第三、本技术在硅片载体的设计上使顶持件与周边固持装置可连 动，因此只需一个驱动装置即能驱动两组元件的作动，有别于现有技术将 两个驱动装置分别装设控制顶持件与周边固持装置的设计，提高整体器械 的运作功效。附图说明图1是一示意图，显示一现有硅片干燥设备；图2是一透视图，显示本技术一实施例的硅片干燥设备的透视图3是一立体图，显示本技术一实施例的硅片干燥设备的硅片载 具装置；图3A是一侧视图，显示本技术一实施例的硅片干燥设备中的硅 片载具的一侧面，以及其上用以驱动顶持件移动的驱动装置；图3B是一侧视图，显示本技术一实施例的硅片干燥设备的硅片 载具装置的一侧面；图3C是一透视图，显示本技术一实施例的硅片干燥设备中的硅 片载具上，使顶持件与周边固持件能连动的固定件；图4A-图4H是透视图，显示本技术较佳实施例的流程。主要元件符号说明1硅片100硅片干燥设备10上盖体部11气体注入装置20处理槽部21处理槽 22液体注入装置 23液体排液装置 24排气装置 30硅片承载装置 31顶持件 32硅片固持件 200硅片干燥设备 202处理槽 204液体注入装置 205底部排液装置 206侧边排液装置 208排气装置 210上盖体 212卡持件 214喷嘴端口 300硅片承载装置 302顶持件 304驱动装置 306外围固持件 308臂 310固定件 402进气装置具体实施方式请参见图2及图3。根据本技术的一实施例的硅片干燥设备200， 其包含有一处理槽202、 一液体注入装置204、 一侧边排液装置206、及一 排气装置208。液体注入装置204用以将一处理液注入该处理槽202;侧 边排液装置206用以将该处理液排出该硅片干燥设备200，设于该处理槽202的单一边，使得该处理液朝向单一方向流动；排气装置208用以将干 燥气体排出硅片干燥设备200外，亦装设于该处理槽202的单一边，使得 该气体朝向单一方向流动。本技术的硅片干燥设备200另包含一上盖体210，大致覆盖该处理 槽202，其中该上盖体210于该处理槽202上方界定出一内部空间，可容 纳至少一硅片于其中；上盖体210内设有至少一卡持件212及至少一喷嘴 端口 214，当硅片被容纳于该上盖体内时，此卡持件212可松开地 (releasably)卡持住该硅片，喷嘴端口 214则用以提供一气体以干燥该硅 片。请参见图3与图3A。本技术的硅片干燥设备200(请参见图2)另 包含一硅片承载装置300，用以移动该硅片，该硅片承载装置300包含一 顶持件302、 一驱动装置304用以驱动机械手臂308以控制该顶持件302 的移动，以及一外围固持件306，可分离地与该顶持件302连动。由于该 顶持件302与该外围固持件306可连动亦可分离式作动，此硅片承载装置 300仅需一个驱动装置，不需在外围固持件306上装置另一驱动装置。本技术所提供的硅片干燥装置的操作方式，请参见图4A至图4H。 如图4A所示，首先将硅片1放置于硅片承载装置300(请参见图3)上。如 图4B所示，硅片1降入处理槽202内清洗，如图4C所示，上盖体210移 往覆盖处理槽202上方形成一密闭空间，喷嘴端口 214开始送出由氮气(N2) 及异丙醇(IPA)混合的气体，由排气装置208将气体排出硅片干本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片干燥设备，包含：　一处理槽；　一液体注入装置，用以将一处理液注入该处理槽；　一侧边排液装置，用以将该处理液排出该硅片干燥设备；　至少一喷嘴端口，用以提供一气体于该硅片通过干燥该硅片；　一排气装置，用以将 该气体排出该硅片干燥设备；以及　一硅片承载装置，用以移动该硅片，　其特征在于该硅片承载装置包括：　一顶持件；　一驱动装置，用以驱动该顶持件；以及　一外围固持件，可分离地与该顶持件连动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：冯传彰，林生海，刘茂林，谢宏亮，许本谐，郑加元，
申请(专利权)人：辛耘企业股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]