【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造设备。更为具体地，本专利技术涉及用于在将卡盒加载于卡盒(cassette)支撑体之后控制其中承载晶片的卡盒的位置的器件。
技术介绍
半导体制造设备通常包括用于在晶片卡盒与其中处理晶片的处理室之间一个接一个地自动传输晶片的机械手。更为具体地，晶片卡盒具有用于分别容纳晶片的狭槽，其晶片卡盒本身被加载于晶片卡盒支撑体上。通过机械手将每一个晶片从晶片卡盒的各狭槽中取出并传送到处理室。一旦晶片被处理，则通过机械手将晶片从处理室移走，然后将其返还到晶片卡盒的狭槽中。安装在晶片卡盒支撑体中的探测器探测晶片卡盒是否处于确保晶片会被机械手平稳传送的位置。探测器使用机械器件，例如接触开关，以物理探测晶片卡盒存在于晶片卡盒支撑体的预定位置处。然而，依赖于机械元件的探测器具有非常有限的操作性。因此，已经开发了一种具有可以以更高的可靠度来探测晶片卡盒存在的探测器的晶片卡盒支撑体。将参考图1至3来描述这种现有技术的晶片卡盒支撑体和探测器、以及晶片卡盒本身。晶片卡盒2具有普通的箱形，该箱的一侧，例如前面，具有通过其将晶片W装载进卡盒或从卡盒中取出的开口2a。晶片卡盒...
【技术保护点】
一种用于在半导体制造设备中对准晶片卡盒的晶片卡盒支撑体器件，该器件包括：包含底座的晶片卡盒支撑体；控制部件，包括：相对于底座定位以便于检测晶片卡盒是否处于晶片卡盒上的稳定支撑位置的位置传感器，和操作连接于位置传感器以便于当位 置传感器检测到晶片卡盒存在于底座上的稳定支撑位置时产生和输出电动驱动信号的控制器；以及卡盒移动部件，包括操作连接于所述控制器，以便于接收来自于其的电动驱动信号的电动机并在接收所述信号时输出驱动力，和连接于所述电动机，以便于被由电动机 所输出的驱动力驱动的可移动第一晶片卡盒导向器。
【技术特征摘要】
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