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用于控制卡盒在半导体制造设备中的位置的方法和器件技术
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下载用于控制卡盒在半导体制造设备中的位置的方法和器件的技术资料
文档序号:3238743
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一种卡盒位置控制器件,在将晶片卡盒装载到卡盒支撑体上时控制其中存储有晶片的卡盒的位置。除了卡盒支撑体之外,该器件还具有卡盒移动部件和控制部件。控制部件检测晶片卡盒在卡盒支撑体上的状态,且产生并输出电动驱动信号以将卡盒移动到卡盒支撑体上的指定...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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