【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
印刷半导体集成制造设备,其特征是包括设备底座(11),设备底座(11)上设有横向位移平台(13)、 移动基座及加热平台(14)和柔性基底卷设备(18)用于印刷半导体柔性基底材料的放卷按尺寸切割并固定且能移动、加热,以及柔性基底材料基上印刷半导体集成制造的平台,设备底座上另设有打印系统及UV灯(12),设有电脑控制系统,用于控制移动基座及加热平台(14)在横向位移平台(13)的移动、定位、工作,打印系统及UV灯(12)的工作。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:武倩,边惠,郭小军,
申请(专利权)人:南京华印半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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